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Cl掺杂对氧化亚铜薄膜载流子浓度及寿命的影响 被引量:4
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作者 文思逸 邹苑庄 +1 位作者 胡飞 文圆 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期3361-3364,共4页
采用三电极体系在硫酸铜-乳酸体系中电化学沉积法制备Cl∶Cu_2O薄膜,通过光电流(I-t)测试、莫特-肖特基(M-s)曲线测试、光电压衰减测试(V-t),研究Cl离子掺杂对氧化亚铜薄膜性能产生的影响。结果表明当p H值为8.5时,可以获得n型氧化亚铜... 采用三电极体系在硫酸铜-乳酸体系中电化学沉积法制备Cl∶Cu_2O薄膜,通过光电流(I-t)测试、莫特-肖特基(M-s)曲线测试、光电压衰减测试(V-t),研究Cl离子掺杂对氧化亚铜薄膜性能产生的影响。结果表明当p H值为8.5时,可以获得n型氧化亚铜。随着CuCl_2的加入,氧化亚铜薄膜的光电流密度先上升后下降。莫特-肖特基曲线测试的载流子浓度与光电流密度的趋势一致,当Cu Cl2为40 mmol/L时达到最高值,光电流密度为0.11 m A/cm2(较纯氧化亚铜提高了247.6%),载流子浓度为3.58×10^(19)cm^(-3)(较纯氧化亚铜的载流子浓度提高了2457%)。将光电压衰减测试结果进行拟合后发现在40 mmol/L Cu Cl_2溶液中得到的薄膜,其载流子的半衰期提高到了8.92 s,说明较纯氧化亚铜薄膜的光稳定性大大提高了。 展开更多
关键词 电化学掺杂 Cu2O薄膜 载流子浓度 光稳定性 载流子寿命
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GaSb基的InAs/GaSbⅡ类超晶格背景载流子浓度的测量 被引量:3
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作者 徐志成 陈建新 何力 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期45-50,共6页
高质量的InAs/GaSbⅡ类超晶格(SLs)材料生长在晶格匹配的GaSb衬底上,由于GaSb衬底具有良好的导电性,传统的霍尔测量难以直接得到外延超晶格材料的载流子浓度等电学参数,所以,如何准确地获得InAs/GaSb超晶格外延材料中的载流子浓度成为... 高质量的InAs/GaSbⅡ类超晶格(SLs)材料生长在晶格匹配的GaSb衬底上,由于GaSb衬底具有良好的导电性,传统的霍尔测量难以直接得到外延超晶格材料的载流子浓度等电学参数,所以,如何准确地获得InAs/GaSb超晶格外延材料中的载流子浓度成为了研究人员关注的焦点之一。主要介绍了InAs/GaSbⅡ类超晶格背景载流子浓度测量的四种典型的方法:低温霍尔技术;变磁场霍尔技术以及迁移率谱拟合;衬底去除技术;电容-电压技术。并给出了各种方法的基本原理,评价了每种方法的优缺点。 展开更多
关键词 InAs/GaSbⅡ类超晶格 背景载流子浓度 GaSb衬底 霍尔测量 迁移率谱 去衬底 电容-电压
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退火对p型GaP和p型AlGaInP载流子浓度的影响 被引量:1
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作者 李述体 范广涵 +4 位作者 周天明 孙慧卿 王浩 郑树文 郭志友 《华南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2004年第1期67-70,共4页
采用LP-MOCVD技术在n-GaAs衬底上生长了AlGaInP/GaInP多量子阱红光LED外延片.相关研究表明退火对p型GaP和p型AlGaInP载流子浓度有重要影响.与未退火样品相比,460℃退火15min,外延片p型GaP层的空穴浓度由5 6×1018cm-3增大到6 5×... 采用LP-MOCVD技术在n-GaAs衬底上生长了AlGaInP/GaInP多量子阱红光LED外延片.相关研究表明退火对p型GaP和p型AlGaInP载流子浓度有重要影响.与未退火样品相比,460℃退火15min,外延片p型GaP层的空穴浓度由5 6×1018cm-3增大到6 5×1018cm-3,p型AlGaInP层的空穴浓度由6 0×1017cm-3增大到1 1×1018cm-3.这可能是由于退火破坏了Mg-H复合体,恢复了Mg受主的活性导致的. 展开更多
关键词 半导体 光致发光 砷化镓 载流子浓度 退火
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ZnSe:Cl,N单晶薄膜中载流子浓度的电学法测量和光学法确认 被引量:1
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作者 王善忠 谢绳武 +7 位作者 庞乾骏 郑杭 夏宇兴 姬荣斌 巫艳 李标 杨建荣 何力 《量子电子学报》 CAS CSCD 2000年第1期85-89,共5页
为了证实某一研究结果的正确性,常常需要采用两种以上相互独立的方法对同一物理量进行测量或计算.本文采用新颖的远红外光谱技术和常用的Hall、C-V等电学测量技术同时对MBE生长的ZnSe:Cl,N薄膜中的载流于浓度进行... 为了证实某一研究结果的正确性,常常需要采用两种以上相互独立的方法对同一物理量进行测量或计算.本文采用新颖的远红外光谱技术和常用的Hall、C-V等电学测量技术同时对MBE生长的ZnSe:Cl,N薄膜中的载流于浓度进行评价研究,发现电学法和光学法测量的结果可以很好地吻合,从而确认了ZnSe宽禁带蓝绿色发光材料中较高的掺杂水平. 展开更多
关键词 单晶薄膜 载流子浓度 电学法测量 光学法测量
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基于二种载流子体系的HgCdTe材料的霍尔电压与载流子浓度关系 被引量:1
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作者 彭曼泽 李东升 +2 位作者 李秋妍 田立萍 吴刚 《红外技术》 CSCD 北大核心 2013年第6期364-367,共4页
利用二种载流子体系的霍尔系数公式导出该体系下霍尔电压与二种载流子浓度p/n之间的公式及曲线。分析了不同p/n值时霍尔电压值与材料导电类型的关系,确定了适合采用一种载流子体系材料及二种载流子体系材料霍尔系数公式的空穴浓度范围。
关键词 霍尔系数 霍尔电压 载流子体系 载流子浓度
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电化学C-V测量AlGaInP LED外延片中载流子浓度的分布 被引量:1
6
作者 文尚胜 王朝阳 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期85-87.9,共4页
在实验的基础上,总结了电化学C-V的一些测试经验,提出了一种适用于测量AIGaInP LED外延片中载流子浓度纵向分布的电解液——0.5 mol HCI溶液.综合利用平带电位值(F.B.P)、耗散因子和测量电流等3个测量判据,合理选取测量电压、腐蚀电流... 在实验的基础上,总结了电化学C-V的一些测试经验,提出了一种适用于测量AIGaInP LED外延片中载流子浓度纵向分布的电解液——0.5 mol HCI溶液.综合利用平带电位值(F.B.P)、耗散因子和测量电流等3个测量判据,合理选取测量电压、腐蚀电流等测量参数,获得了速度快、重复性好和数据准确可靠的测试效果. 展开更多
关键词 载流子浓度 ALGAINP LED外延片 电解液 电化学电容-电压测量法 平带电位值 耗散因子 发光二极管
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硅低温本征载流子浓度的计算 被引量:2
7
作者 郑茳 魏同立 +1 位作者 王曙 黄勤 《电子科学学刊》 CSCD 1992年第3期325-328,共4页
本文提出了低温区高精度的禁带宽度的表达式,获得了低温区本征载流子浓度的简明公式。考虑到禁带变窄效应的作用,本文导出了重掺杂硅中本征载流子浓度与温度和杂质浓度的关系式。与常温情况相比,低温下本征载流子浓度将随杂质浓度的上... 本文提出了低温区高精度的禁带宽度的表达式,获得了低温区本征载流子浓度的简明公式。考虑到禁带变窄效应的作用,本文导出了重掺杂硅中本征载流子浓度与温度和杂质浓度的关系式。与常温情况相比,低温下本征载流子浓度将随杂质浓度的上升更为剧烈地上升。 展开更多
关键词 硅半导体 载流子浓度 低温特性
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电化学C-V法对载流子浓度纵向分布的精确测量
8
作者 李若凡 武一宾 +3 位作者 杨瑞霞 马永强 商耀辉 牛晨亮 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第9期809-811,共3页
电化学C-V法是当前测量化合物半导体载流子浓度纵向分布的非常重要的方法。用电化学C-V测试仪对外高内低、有较大浓度梯度的外延样品进行载流子浓度纵向分布测量时发现,内层低载流子浓度区域测试结果误差较大,主要是由测试系统引起的,... 电化学C-V法是当前测量化合物半导体载流子浓度纵向分布的非常重要的方法。用电化学C-V测试仪对外高内低、有较大浓度梯度的外延样品进行载流子浓度纵向分布测量时发现,内层低载流子浓度区域测试结果误差较大,主要是由测试系统引起的,由此提出了一种对结果的修正算法。通过对MBE制作专用样品测量证实,用该方法可得到数据准确可靠的测试结果。 展开更多
关键词 电化学-CV法 载流子浓度 误差分析 修正算法
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硅中电离率与有效多数载流子浓度的温度关系
9
作者 肖志雄 郑茳 魏同立 《应用科学学报》 CAS CSCD 1996年第3期332-338,共7页
该文研究了重掺杂引起的禁带变窄效应对电离率与有效多数载流子浓度的影响;建立了从77K到300K广为适用的数学模型.获得的计算结果在轻掺杂时与已有的计算数据相一致;而在重掺杂时,解决了已有文献未能解决的难题:杂质电离率... 该文研究了重掺杂引起的禁带变窄效应对电离率与有效多数载流子浓度的影响;建立了从77K到300K广为适用的数学模型.获得的计算结果在轻掺杂时与已有的计算数据相一致;而在重掺杂时,解决了已有文献未能解决的难题:杂质电离率随掺杂浓度的增大而上升的定量计算. 展开更多
关键词 电离率 载流子浓度 温度 杂质 重掺杂
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用迁移率和载流子浓度研究碲镉汞中的深能级
10
作者 李向阳 胡燮荣 +1 位作者 赵建华 方家熊 《红外技术》 CSCD 北大核心 1997年第2期5-8,共4页
获得了一种研究碲镉汞深能级的方法。通过分析迁移率和载流子浓度与温度的关系。
关键词 HGCDTE 深能级 载流子浓度 迁移度 红外光学材料
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基于团簇加连接原子模型定量分析阳离子掺杂ZnO电子载流子浓度 被引量:1
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作者 李军 刘浩 +4 位作者 张鑫 王全 王华林 张爽 丁万昱 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第5期68-74,共7页
目的定量分析阳离子掺杂ZnO材料中最优化阳离子掺杂量及电子载流子浓度。方法基于团簇加连接原子模型,解析并建立阳离子掺杂ZnO材料的团簇式结构,计算最优阳离子掺杂量条件下的电子载流子浓度。根据理论分析结果,设计Sn掺杂ZnO材料,并... 目的定量分析阳离子掺杂ZnO材料中最优化阳离子掺杂量及电子载流子浓度。方法基于团簇加连接原子模型,解析并建立阳离子掺杂ZnO材料的团簇式结构,计算最优阳离子掺杂量条件下的电子载流子浓度。根据理论分析结果,设计Sn掺杂ZnO材料,并利用磁控溅射方法制备Sn掺杂ZnO薄膜。通过紫外可见分光光度计、霍尔效应测试仪等分别评价Sn掺杂ZnO薄膜的透光率和电子载流子浓度。结果以纤锌矿ZnO为研究体系,基于团簇加连接原子模型,建立纤锌矿ZnO的团簇式{[Zn-O4]Zn3}。在此基础上,建立纤锌矿ZnO超团簇结构:{中心团簇式}-{第一近邻团簇式}6-{连接团簇式}={[Zn-O4]Zn3}-{[Zn-O4]Zn3}6-{[Zn-O4]Zn3}=Zn32O32。基于纤锌矿ZnO超团簇结构,建立阳离子掺杂ZnO的超团簇结构{[M-O4]Zn3}-{{[M-O4]Zn3}{[Zn-O4]Zn3}5}-{[M-O4]Zn3}=M3Zn29O32,给出最优化元素配比AM︰AZn=10.34%。根据阳离子掺杂ZnO的超团簇结构M3Zn29O32,定量计算出Al3Zn29O32的最优化电子载流子浓度为3.935×10^21 cm^–3,并分析实际应用的AlZn31O32薄膜的电子载流子浓度仅为最优化理论值1/10的原因。最终,设计并制备SnZn31O32薄膜,其在可见光波段(450~800nm)的平均透光率为80.25%±1.74%,电子载流子浓度为(7.72±1.68)×10^20 cm^–3。结论团簇加连接原子模型能够定量解析阳离子掺杂ZnO材料体系中掺杂量与电子载流子浓度,可为设计高性能阳离子掺杂ZnO材料提供理论指导。基于团簇加连接原子模型设计的SnZn31O32薄膜,具备透明导电性质,通过进一步的研究,有望成为具有高电子载流子浓度的新型透明导电氧化物材料。 展开更多
关键词 团簇加连接原子模型 超团簇结构 透明导电氧化物材料 阳离子掺杂ZnO 掺杂分布 载流子浓度
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基于共振拉曼光谱的ZnO薄膜载流子浓度提取 被引量:1
12
作者 傅聪 潘新花 +1 位作者 陈向阳 叶志镇 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期876-879,885,共5页
研究了共振拉曼散射在ZnO材料载流子浓度探测方面的应用。实验发现在可见光激发下,原有模型受限于激光穿透深度和耦合模强度,并不能很好的进行ZnO薄膜的载流子浓度探测,且在紫外光激发下,1LO模的移动规律出现异常。为此,研究分析了1LO... 研究了共振拉曼散射在ZnO材料载流子浓度探测方面的应用。实验发现在可见光激发下,原有模型受限于激光穿透深度和耦合模强度,并不能很好的进行ZnO薄膜的载流子浓度探测,且在紫外光激发下,1LO模的移动规律出现异常。为此,研究分析了1LO过程的产生机制,并基于级联模型理论将其异常的移动行为归因子晶体缺陷。结合2LO过程不受晶体缺陷浓度影响的特点,研究建立起了运用2LO模分析ZnO载流子浓度的方法,并对各电子浓度的ZnO样品进行测试。拟合结果发现该方法在高载流子范围(>1019cm-3)与霍尔结果吻合较好。 展开更多
关键词 ZNO 拉曼光谱 载流子浓度
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基于肖特基电流输运模型和扫描分布电阻显微术的窄量子阱载流子浓度表征(英文)
13
作者 黄文超 王晓芳 +2 位作者 陈效双 薛玉雄 杨生胜 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期668-672,共5页
目前对于纳米尺度半导体材料的局域电导与对应载流子浓度关系的描述主要以参数拟合为主。其关系模型主要依赖人工拟合参数,例如理想因子。所以无法从测得局域电导分布来推出载流子浓度分布。为此,提出了一种获取量子阱中载流子浓度的模... 目前对于纳米尺度半导体材料的局域电导与对应载流子浓度关系的描述主要以参数拟合为主。其关系模型主要依赖人工拟合参数,例如理想因子。所以无法从测得局域电导分布来推出载流子浓度分布。为此,提出了一种获取量子阱中载流子浓度的模型。通过小于10nm分辨的截面扫描分布电阻显微术,测得了GaAs/AlGaAs量子阱(110)截面的局域电导分布。基于实验设置,提出了只含有掺杂浓度参量的实验描述模型。通过模型,由测得的量子阱(掺杂浓度从10^(16)/cm^3到10^(18)/cm^3)局域电导分布,推导出了其载流子分布。相对误差在30%之内。 展开更多
关键词 载流子浓度 量子阱 扫描分布电阻显微术 肖特基
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应用Mg离子注入获得高表面空穴载流子浓度P-型GaN(英文)
14
作者 龙涛 杨志坚 张国义 《北京大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期701-704,共4页
应用Mg离子注入MOCVD法生长掺杂Mg的GaN中 ,在经过 80 0℃ ,1h的退火后 ,获得高空穴载流子浓度 (8 2 8× 10 17cm-3 )的P 型GaN。
关键词 MOCVD 离子注入 表面空穴载流子浓度 镁掺杂 P-型CaN 半导体 氮化钙
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用Te、Sn双掺杂改善GaAs液相外延层载流子浓度纵向分布均匀性
15
作者 袁炳辉 +1 位作者 杨瑞霞 王林海 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1994年第2期39-41,共3页
探索用Te、Sn双掺杂实现掺杂剂分布正负梯度互补改善杂质纵向分布均匀性的外延工艺,讨论了有关问题,报道了主要结果。
关键词 砷化镓 液相外延 载流子浓度 分布
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红外LED用掺硅HB-GaAs单晶纵向载流子浓度分布研究 被引量:3
16
作者 马英俊 林泉 +4 位作者 于洪国 马会超 许兴 李万朋 许所成 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2020年第8期1555-1561,共7页
GaAs单晶作为一种重要的LED衬底材料在光电器件中应用十分广泛,但载流子浓度(C.C.)分布不均、杂质浓度过高等缺陷会严重影响相关器件的性能。为制备纵向载流子浓度分布均匀的掺硅HB-GaAs单晶,本文探讨了单晶生长过程中熔区长度对纵向载... GaAs单晶作为一种重要的LED衬底材料在光电器件中应用十分广泛,但载流子浓度(C.C.)分布不均、杂质浓度过高等缺陷会严重影响相关器件的性能。为制备纵向载流子浓度分布均匀的掺硅HB-GaAs单晶,本文探讨了单晶生长过程中熔区长度对纵向载流子浓度分布的影响。以高纯GaAs多晶为原料,设定不同的拉晶温度曲线,采用窄熔区技术进行晶体生长研究,最终生长出C.C.值分布更均匀、位错密度低(EPD≤10000 cm^-2)的<111>向N型掺硅GaAs单晶。利用辉光放电质谱法(GDMS)和范德堡法霍尔效应测试对晶体进行了表征,单晶纯度达到5N且无硼杂质沾污。 展开更多
关键词 砷化镓 水平布里奇曼法 位错密度 熔区长度 窄熔区技术 载流子浓度分布
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一种复合掺杂方式对石墨烯载流子浓度的调制 被引量:1
17
作者 唐静 范晓东 曾长淦 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期839-843,共5页
石墨烯显著的优点是其载流子浓度极易调控.目前已经发展出很多载流子浓度调控方法,其中栅压调节是应用最广的一种手段.但是在实际应用中,栅压也有一定的局限性.例如一些设计电路、测试仪器并不能承受几十甚至上百伏的高压.最近出现一种... 石墨烯显著的优点是其载流子浓度极易调控.目前已经发展出很多载流子浓度调控方法,其中栅压调节是应用最广的一种手段.但是在实际应用中,栅压也有一定的局限性.例如一些设计电路、测试仪器并不能承受几十甚至上百伏的高压.最近出现一种电子束辐照掺杂的方式,可以局域、连续地调控石墨烯载流子浓度,但调控范围较小.这里应用硝酸掺杂结合电子束辐照的复合方式,实现了石墨烯载流子浓度的大范围、连续调控.通过分析扫描近场光学显微镜和电输运测试结果,发现此复合方式可以将石墨烯载流子浓度从2.15×10^(13) cm^(-2)调控至-1.49×10^(12) cm^(-2),效果相当于常用的300 nm二氧化硅介电层320 V的栅压变化.另外,通过电子束曝光可以将石墨烯加工成预设的电子图案.这种简单、高效的复合掺杂方式有着非常广泛的应用前景. 展开更多
关键词 电子束照射 硝酸掺杂 局域掺杂 复合掺杂 载流子浓度
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电化学C-V法研究掺硅GaAs材料载流子浓度的分布
18
作者 徐继平 程凤伶 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期2347-2351,共5页
电化学C-V法是当前测量化合物半导体载流子浓度纵向分布的非常重要的方法。本文采用电化学C-V法研究了MOCVD生长的掺硅GaAs多层薄膜的载流子浓度的面分布和纵向分布,并对测试结果进行分析。研究表明电化学C-V法测得的载流子浓度数据可... 电化学C-V法是当前测量化合物半导体载流子浓度纵向分布的非常重要的方法。本文采用电化学C-V法研究了MOCVD生长的掺硅GaAs多层薄膜的载流子浓度的面分布和纵向分布,并对测试结果进行分析。研究表明电化学C-V法测得的载流子浓度数据可以为研究掺硅GaAs半导体材料载流子浓度工艺优化和改进提供重要指导依据。 展开更多
关键词 电化学C-V MOCVD GAAS 载流子浓度
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Bi_(2)Te_(3)基热电材料中的载流子工程
19
作者 马俊杰 刘志愿 +4 位作者 马妮 李周 巴倩 管希成 夏爱林 《功能材料》 北大核心 2025年第3期3095-3105,共11页
Bi_(2)Te_(3)合金因其较窄带隙和独特的层状晶体结构而具有较高的塞贝克系数和较低的热导率,在低温区热电材料中备受关注。然而由Bi_(2)Te_(3)基合金制造的热电发电或制冷器件转化效率仍较低,因此进一步提升Bi_(2)Te_(3)基材料的无量纲... Bi_(2)Te_(3)合金因其较窄带隙和独特的层状晶体结构而具有较高的塞贝克系数和较低的热导率,在低温区热电材料中备受关注。然而由Bi_(2)Te_(3)基合金制造的热电发电或制冷器件转化效率仍较低,因此进一步提升Bi_(2)Te_(3)基材料的无量纲热电优值zT是关键。通过纳米改性、超晶格结构、纳米复合、掺杂和引入位错阵列等声子工程可以显著降低Bi_(2)Te_(3)基材料的热导率,优化热输运性能从而显著提高其zT值。然而,电输运性能并没有明显的优化。载流子工程是协同优化Bi_(2)Te_(3)基材料电和热输运性能的重要手段之一。主要综述了近年来通过能带工程、载流子能量过滤效应、载流子迁移率和浓度优化等载流子工程提升Bi_(2)Te_(3)基材料电输运性能的主要研究进展。这些载流子工程策略是提高热电材料性能的重要手段,为开发高效热电材料提供了新的研究思路。 展开更多
关键词 Bi_(2)Te_(3)基热电材料 能带工程 载流子迁移率 载流子浓度 热电性能
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Te掺杂的GaSb材料载流子特性研究 被引量:2
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作者 金姝沛 胡雨农 +2 位作者 刘铭 孙浩 王成刚 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期561-568,共8页
非故意掺杂的GaSb材料呈现p型导电,限制了GaSb材料在InAs/GaSb超晶格红外探测器等领域的应用。探究N型GaSb薄膜电学特性对估算超晶格载流子浓度以及制备超晶格衬底、缓冲层、电极接触层等提供了一定的理论依据。Te掺杂能够以抑制GaSb本... 非故意掺杂的GaSb材料呈现p型导电,限制了GaSb材料在InAs/GaSb超晶格红外探测器等领域的应用。探究N型GaSb薄膜电学特性对估算超晶格载流子浓度以及制备超晶格衬底、缓冲层、电极接触层等提供了一定的理论依据。Te掺杂能够以抑制GaSb本征缺陷的方式实现N型GaSb薄膜的制备,利用分子束外延(Molecular Beam Epitaxy,MBE)技术,设置GaTe源温分别为420℃、450℃、480℃,分别在GaSb衬底与GaAs衬底上生长不同GaTe源温度下掺杂的GaSb薄膜,通过霍尔测试探究GaSb薄膜的电学特性。在77 K的霍尔测试中,发现在GaAs衬底上生长的GaSb薄膜均显示为N型半导体,载流子浓度随源温升高而增加。与非故意掺杂的GaSb相比,源温为420℃、450℃时由于载流子浓度增加而导致的杂质散射,迁移率大幅提高,且随温度升高而增加,但在480℃时,由于缺陷密度减小,迁移率大大减小。在GaSb衬底上生长7000ABe掺杂的GaSb缓冲层,再生长5000ATe掺杂的GaSb薄膜。结果发现,由于P型缓冲层的存在,当源温为420℃时,薄膜显示为P型半导体,空穴载流子的存在导致薄膜整体载流子浓度增加,且空穴和电子的补偿作用使迁移率大幅降低。源温为450℃、480℃时,薄膜仍为N型半导体,载流子浓度随温度增加,且为GaAs衬底上生长的GaSb薄膜载流子浓度的2~3倍;迁移率在450℃时最高,480℃时减小。设置GaTe源温为450℃时GaSb薄膜的载流子浓度较高且迁移率较高,参与超晶格材料的制备能够使整个材料的效果最佳。 展开更多
关键词 GaTe掺杂 GASB 载流子浓度 霍尔测试
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