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小型高精度软X射线-极紫外反射率计 被引量:7
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作者 尼启良 刘世界 陈波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1886-1890,共5页
针对探月二期工程中的有效载荷之一极紫外相机中的多层膜光学元件反射率测量的需要,搭建了一台使用液体靶激光等离子体光源的小型软X射线一极紫外波段反射率计。该反射率计主要由激光等离子体光源、Mcpherson247动狭缝掠入射单色仪及... 针对探月二期工程中的有效载荷之一极紫外相机中的多层膜光学元件反射率测量的需要,搭建了一台使用液体靶激光等离子体光源的小型软X射线一极紫外波段反射率计。该反射率计主要由激光等离子体光源、Mcpherson247动狭缝掠入射单色仪及相关的数据采集系统组成。单色仪工作波段为1~125nm,光谱分辨率〈0.08nm。无碎屑的液体靶激光等离子体光源的使用避免了光学元件的损坏,而动狭缝掠入射单色仪的使用则提高了光谱分辨率和波段范围。使用该反射率计实测了工作波长为13.5nm和30.4nm的Mo/Si多层膜的反射率,测量结果表明测量重复性优于±0.5%,实现了对多层膜反射率的高精度测量。 展开更多
关键词 软x射线-极紫外反射率计 多层膜 液体靶激光等离子体光源
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软X射线—真空紫外反射率计
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作者 陈波 马玲 李福田 《光学机械》 CSCD 1991年第6期21-25,共5页
软X射线-真空紫外反射率计系统由光源、单色仪、反射率计、电子学及微机控制系统等几部分组成。可完成各种光学镜面、光栅、成像系统等的性能评价工作,反射率计真空室直径φ800mm,长1200mm,工作波段25~100nm,更换光源和探测器可扩展到1... 软X射线-真空紫外反射率计系统由光源、单色仪、反射率计、电子学及微机控制系统等几部分组成。可完成各种光学镜面、光栅、成像系统等的性能评价工作,反射率计真空室直径φ800mm,长1200mm,工作波段25~100nm,更换光源和探测器可扩展到1~250nm,角分辨率0.03°,扫描范围0~90°。 展开更多
关键词 x射线 真空紫外光学 性能评价 反射率 光栅效率
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极紫外和软X射线多层膜光学 被引量:2
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作者 王占山 吴永刚 陈玲燕 《同济大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期510-515,共6页
综述了极紫外和软X射线多层膜光学及其应用 ,指出了极紫外和软X射线光学的优点和难点 .在软X射线激光诊断高温高密度等离子体的干涉实验中 ,迫切需要既有一定反射率、又有一定透过率 ,同时具有很高面形精度的半反半透多层膜和高反射率... 综述了极紫外和软X射线多层膜光学及其应用 ,指出了极紫外和软X射线光学的优点和难点 .在软X射线激光诊断高温高密度等离子体的干涉实验中 ,迫切需要既有一定反射率、又有一定透过率 ,同时具有很高面形精度的半反半透多层膜和高反射率多层膜组成的软X射线激光干涉仪 ,以实现对高温等离子体临界面附近电子密度的诊断 .在分析软X射线多层膜偏振特性基础上 ,设计了类镍银软X射线激光干涉仪用半反半透多层膜 ,并用离子束溅射方法制备了这样的元件 。 展开更多
关键词 紫外 x射线 多层膜 光学 反射率 透过率 同步辐射 干涉实验
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23.4nm软X射线多层膜反射镜研制 被引量:1
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作者 刘震 李旭 +2 位作者 马月英 陈波 曹健林 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期1138-1141,共4页
为了满足类氖-锗X射线激光研究的需要,设计制备了23.4 nm软X射线多层膜反射镜。依据多层膜选材原则并考虑材料的物理化学特性选择新的材料Ti与Si组成材料对。设计优化材料多层膜的周期厚度(d),材料比例(Γ),周期数(N),计算出Ti/Si反射... 为了满足类氖-锗X射线激光研究的需要,设计制备了23.4 nm软X射线多层膜反射镜。依据多层膜选材原则并考虑材料的物理化学特性选择新的材料Ti与Si组成材料对。设计优化材料多层膜的周期厚度(d),材料比例(Γ),周期数(N),计算出Ti/Si反射率曲线。通过实验优化各种镀膜工艺参数,制备出了23.4 nm的Ti/Si多层膜反射镜。利用X射线衍射仪和软X射线反射率计对Ti/Si多层膜结构和反射率进行检测,测量结果为Ti/Si多层膜反射镜中心波长0λ=23.2nm,正入射峰值反射率为R=25.8%。将Ti/Si多层膜反射镜与软X射线波段常用的Mo/Si多层膜反射镜相比,在23.4 nm处,Ti/Si多层膜反射镜的反射率提高10%,而带宽减小1.8 nm,光学性能显著提高。 展开更多
关键词 紫外 多层膜反射 磁控溅射 x射线衍射仪 反射率
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基于多层膜的软X射线偏振测量(英文)
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作者 Franz Schaefers 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1850-1861,共12页
综述了过去10年中德国BESSY同步辐射装置在软X射线偏振测量方面所做的工作。在BESSY同步辐射装置中,有10条椭圆波动器光束线,这可使同步加速器辐射的偏振态从线偏振光(水平或者垂直)转变为左旋或右旋圆偏振光。由于很多偏振敏感实验(例... 综述了过去10年中德国BESSY同步辐射装置在软X射线偏振测量方面所做的工作。在BESSY同步辐射装置中,有10条椭圆波动器光束线,这可使同步加速器辐射的偏振态从线偏振光(水平或者垂直)转变为左旋或右旋圆偏振光。由于很多偏振敏感实验(例如,MCD光谱测量)需要归一化量,因此对偏振度进行量化非常重要。对于偏振实验,即对光的偏振态测量来说,需要两个光学元件分别起相位片和检偏器作用。因此,专门研制了在软X射线区有透射和反射功能的多层膜,并对其做了优化。通过使多层膜参数(周期,厚度比)与构成材料的吸收边相匹配,即可获得共振加强的偏振灵敏度。由此可知,基于多层膜的偏振测量与这些偏振光学元件工作波长处性能测量密切相关,文中对仪器的设置和测试结果做了介绍,同时给出了磁性薄膜或光活化物质的磁光光谱测量和偏振测量的示例(法拉第和克尔效应)。 展开更多
关键词 多层膜 x射线 紫外辐射 同步磕射 偏振测量 检偏器 相位片 反射率 磁光效应
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