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大面积纳米压印光刻晶圆级复合软模具制造被引量：9: 1; 作者兰红波郭良乐 +1 位作者许权钱垒《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期894-905,共12页; 为了解决大面积纳米压印所面临的大尺寸晶圆级复合软模具低成本制造的难题,对于当前广泛使用的大尺寸晶圆级双层复合软模具开展了理论分析、数值模拟和制造方法的系统研究。提出并建立了复合软模具脱模过程和气泡缺陷理论模型;利用ABAQU... 展开更多; 关键词大面积纳米压印复合软模具抗粘附揭开式脱模晶圆级; 在线阅读下载PDF 职称材料

软紫外光压印光刻的模具制造研究: 2; 作者秦歌丁玉成刘红忠《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期880-884,共5页; 在软紫外光压印光刻中,提出以光刻胶为母版材料翻制聚二甲基硅氧烷软模具的工艺方法,并把图型母版材料对软模具制造过程的影响进行了实验研究.研究表明,软模具图型质量仅和浇铸过程的充型压力有关,在0.05 Pa的真空压力下充型,光刻胶母... 展开更多; 关键词光刻胶母版材料软模具; 在线阅读下载PDF 职称材料

面向大面积微结构批量化制造的复合压印光刻被引量：4: 3; 作者兰红波刘明杨 +1 位作者郭良乐许权《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第7期1516-1527,共12页; 为了解决在大尺寸非平整刚性衬底和易碎衬底上高效低成本批量化制造大面积微纳结构这一难题,提出一种面向大面积微结构批量化制造的复合微纳压印光刻工艺。阐述了复合压印光刻的基本原理和工艺流程,通过实验揭示了主要工艺参数(覆模速... 展开更多; 关键词复合微纳米压印光刻大面积纳米压印复合软模具非平整衬底大面积微结构; 在线阅读下载PDF 职称材料

东华大学推出三维复合材料预制件的模塑成型方法: 4; 《塑料工业》 CAS CSCD 北大核心 2010年第10期66-66,共1页; 关键词复合材料预制件三维机织物成型方法东华大学模塑微带天线密封胶带软模具; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名大面积纳米压印光刻晶圆级复合软模具制造被引量：9: 1; 作者兰红波郭良乐许权钱垒; 机构青岛理工大学纳米制造与纳光电子实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期894-905,共12页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.51375250,No.51775288) 青岛市创新领军人才资助项目(No.13-CX-18); 文摘为了解决大面积纳米压印所面临的大尺寸晶圆级复合软模具低成本制造的难题,对于当前广泛使用的大尺寸晶圆级双层复合软模具开展了理论分析、数值模拟和制造方法的系统研究。提出并建立了复合软模具脱模过程和气泡缺陷理论模型;利用ABAQUS工程模拟软件,揭示了大尺寸复合软模具影响脱模的因素和内在规律;提出一种大尺寸晶圆级双层复合软模具低成本制造方法,并完成了10.16cm(4inch)满片双层复合软模具复制的实验验证。研究结果为大尺寸复合软模具制造奠定了理论基础,并提供了一种低成本高质量制造大尺寸晶圆级双层复合软模具切实可行的方法。; 关键词大面积纳米压印复合软模具抗粘附揭开式脱模晶圆级; Keywords large area nanoimprint lithographt composite flexible mold anti-adhesion peel off demolding wafer-level; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名软紫外光压印光刻的模具制造研究: 2; 作者秦歌丁玉成刘红忠; 机构西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室; 出处《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期880-884,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(50505037) 国家高技术研究发展计划资助项目(2006AA04Z322 +4 种基金 2006AA05Z411) XA-AM-2006609); 文摘在软紫外光压印光刻中,提出以光刻胶为母版材料翻制聚二甲基硅氧烷软模具的工艺方法,并把图型母版材料对软模具制造过程的影响进行了实验研究.研究表明,软模具图型质量仅和浇铸过程的充型压力有关,在0.05 Pa的真空压力下充型,光刻胶母版图型强度足够抵抗充型压力,所翻制的软模具复型精度为(97.24±0.60)%,复型精度方差为0.376%,在翻制软模具50次后,光刻胶母版图型无明显扭曲变形和缺损、污物.因此,采用光刻胶作为母版图型材料,不仅可以满足工艺精度的要求,而且可以提高生产率、降低生产成本.; 关键词光刻胶母版材料软模具; Keywords photoresist mold material soft template; 分类号 TN305.2 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名面向大面积微结构批量化制造的复合压印光刻被引量：4: 3; 作者兰红波刘明杨郭良乐许权; 机构青岛理工大学山东省增材制造工程技术研究中心; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第7期1516-1527,共12页; 基金国家自然科学基金资助项目(51775288); 文摘为了解决在大尺寸非平整刚性衬底和易碎衬底上高效低成本批量化制造大面积微纳结构这一难题,提出一种面向大面积微结构批量化制造的复合微纳压印光刻工艺。阐述了复合压印光刻的基本原理和工艺流程,通过实验揭示了主要工艺参数(覆模速度、压印力、压印速度、固化时间)对于压印结构的影响及规律。最后,利用课题组自主研发的复合压印光刻机,并结合优化的工艺参数,在3种不同的硬质基材(玻璃、PMMA、蓝宝石)上实现了微尺度柱状结构(最大图形区域为132mm×119mm)、微尺度光栅结构(最大直径为15.24cm的圆形区域)和纳尺度柱状结构(图形区域为47mm×47mm)的大面积微纳结构制造。研究结果表明,提出的复合微纳米压印工艺为大面积微纳结构宏量可控制备、以及大尺寸非平整刚性衬底/易碎衬底大面积图形化提供了一种全新的解决方案,具有广阔的工业化应用前景。; 关键词复合微纳米压印光刻大面积纳米压印复合软模具非平整衬底大面积微结构; Keywords composite imprint lithography large-area nanoimprint lithography composite flexible mold non-planar substrates large-area microstructures; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名东华大学推出三维复合材料预制件的模塑成型方法: 4; 出处《塑料工业》 CAS CSCD 北大核心 2010年第10期66-66,共1页; 关键词复合材料预制件三维机织物成型方法东华大学模塑微带天线密封胶带软模具; 分类号 TS105.11 [轻工技术与工程—纺织工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	大面积纳米压印光刻晶圆级复合软模具制造	兰红波郭良乐许权钱垒	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2018	9	在线阅读下载PDF 职称材料
2	软紫外光压印光刻的模具制造研究	秦歌丁玉成刘红忠	《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	面向大面积微结构批量化制造的复合压印光刻	兰红波刘明杨郭良乐许权	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2019	4	在线阅读下载PDF 职称材料
4	东华大学推出三维复合材料预制件的模塑成型方法		《塑料工业》 CAS CSCD 北大核心	2010	0	在线阅读下载PDF 职称材料