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二维光子晶体的软平板印刷技术制作研究
被引量：
2
1
作者
张飒飒
王青圃
+6 位作者
张行愚
连洁
常军
李岚
陈佳琦
王丽
陈瑞曾
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第1期54-59,共6页
分析了软平板印刷技术制作二维光子晶体的特点和方法.利用绝缘PDMS模板,采用软平板印刷技术制造了三角晶系结构的二维聚合物光子晶体,采用同样的技术成功制成尺寸为150～500nm,纵横比达1.25的高密度二维光子晶体.与其他制作技术相比,平...
分析了软平板印刷技术制作二维光子晶体的特点和方法.利用绝缘PDMS模板,采用软平板印刷技术制造了三角晶系结构的二维聚合物光子晶体,采用同样的技术成功制成尺寸为150～500nm,纵横比达1.25的高密度二维光子晶体.与其他制作技术相比,平板印刷技术具有大尺寸和易于制作的优点.结果表明,制作获得的微结构有很高的保真度.
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关键词
光子晶体
软平板印刷术
聚合物
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职称材料
题名
二维光子晶体的软平板印刷技术制作研究
被引量：
2
1
作者
张飒飒
王青圃
张行愚
连洁
常军
李岚
陈佳琦
王丽
陈瑞曾
机构
山东大学信息科学与工程学院
天津理工大学材料物理研究所
德克萨斯大学奥斯汀分校微电子研究中心
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第1期54-59,共6页
基金
国家自然科学基金(60677027)
教育部博士点基金(20060422025)
国家留学基金委(2005B47011)资助
文摘
分析了软平板印刷技术制作二维光子晶体的特点和方法.利用绝缘PDMS模板,采用软平板印刷技术制造了三角晶系结构的二维聚合物光子晶体,采用同样的技术成功制成尺寸为150～500nm,纵横比达1.25的高密度二维光子晶体.与其他制作技术相比,平板印刷技术具有大尺寸和易于制作的优点.结果表明,制作获得的微结构有很高的保真度.
关键词
光子晶体
软平板印刷术
聚合物
Keywords
Photonic crystal, Soft lithography, Polymer
分类号
O743 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
二维光子晶体的软平板印刷技术制作研究
张飒飒
王青圃
张行愚
连洁
常军
李岚
陈佳琦
王丽
陈瑞曾
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
2
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