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基于幅−相检测双频自动阻抗匹配器仿真分析
1
作者
姚龙
姜琴
侯丽丽
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第12期1091-1097,共7页
先进半导体制程中需要对等离子体离化率和轰击能量进行精准控制,传统单频系统难以实现上述目标,进而提出复频信号控制。基于对双频射频电源系统的进一步需求,开发双频匹配器以便实现在不同频率下的阻抗匹配具有重要的意义。文章基于二...
先进半导体制程中需要对等离子体离化率和轰击能量进行精准控制,传统单频系统难以实现上述目标,进而提出复频信号控制。基于对双频射频电源系统的进一步需求,开发双频匹配器以便实现在不同频率下的阻抗匹配具有重要的意义。文章基于二极管幅-相检测电路,设计一款双频自动阻抗匹配器电路,并分别进行检测模组、匹配架构以及寻优算法等相关机理分析。通过研究表明,Urms可以表征射频电源与腔室之间的匹配程度,Urms越大表征失配程度越大,反之匹配程度越好。针对13.56 M和400 kHz信号分别采用Gama型和T型匹配网络进行匹配输出,仿真结果表明该结构具有很好的传输特性,理论插损小于-0.002 dB以及较高的隔离度,理论隔离度-34.4 dB。同时,轮换寻优算法,具备响应速度快,匹配精度高等特性,可以利用轮换调谐的方式高效实现射频源和腔室之间的阻抗匹配。
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关键词
阻抗匹配器
幅-相检测
匹配架构
轮换寻优算法
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职称材料
题名
基于幅−相检测双频自动阻抗匹配器仿真分析
1
作者
姚龙
姜琴
侯丽丽
机构
季华实验室
出处
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第12期1091-1097,共7页
基金
自动扫频射频发生器研发及产业化项目(X2200512A220)。
文摘
先进半导体制程中需要对等离子体离化率和轰击能量进行精准控制,传统单频系统难以实现上述目标,进而提出复频信号控制。基于对双频射频电源系统的进一步需求,开发双频匹配器以便实现在不同频率下的阻抗匹配具有重要的意义。文章基于二极管幅-相检测电路,设计一款双频自动阻抗匹配器电路,并分别进行检测模组、匹配架构以及寻优算法等相关机理分析。通过研究表明,Urms可以表征射频电源与腔室之间的匹配程度,Urms越大表征失配程度越大,反之匹配程度越好。针对13.56 M和400 kHz信号分别采用Gama型和T型匹配网络进行匹配输出,仿真结果表明该结构具有很好的传输特性,理论插损小于-0.002 dB以及较高的隔离度,理论隔离度-34.4 dB。同时,轮换寻优算法,具备响应速度快,匹配精度高等特性,可以利用轮换调谐的方式高效实现射频源和腔室之间的阻抗匹配。
关键词
阻抗匹配器
幅-相检测
匹配架构
轮换寻优算法
Keywords
Impedance matcher
Amplitude-phase detection
Matching network
Alternating optimization algorithm
分类号
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
基于幅−相检测双频自动阻抗匹配器仿真分析
姚龙
姜琴
侯丽丽
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
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