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题名氮化铝压电微机电系统轮廓模式谐振器技术及应用
被引量：1
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作者
俞燕
王璐烽
丁芩华
何杰
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机构
重庆工业职业技术学院
苏州中材非金属矿工业设计研究院有限公司
中国电子科技集团公司第二十六研究所
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022年第4期667-672,共6页
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文摘
压电微机电系统(MEMS)为各种高性能滤波器、振荡器和传感器等提供了一个多功能平台。氮化铝(AlN)MEMS轮廓模谐振器(CMR)具有工作频率跨度大,品质因数高,体积小及能在单个芯片上集成多频器件且与集成电路(IC)技术兼容等优点,具有较好的应用前景。该文对AlN MEMS CMR的原理与典型结构、制备工艺及应用进行了综合性阐述,并分析了CMR技术未来的发展方向。
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关键词
压电微机电系统
氮化铝
轮廓模式谐振器
滤波器
振荡器
射频前端模块
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Keywords
piezoelectric microelectromechanical system(MEMS)
AlN
contour mode resonator(CMR)
filter
oscillator
RF front-end module
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分类号
TN713.3
[电子电信—电路与系统]
TN752.2
[电子电信—电路与系统]
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题名300 MHz氮化铝轮廓模式谐振器的设计
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作者
袁靖
高杨
许夏茜
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机构
西南科技大学信息工程学院
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2019年第6期775-778,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61574131)
西南科技大学研究生创新基金资助项目(19ycx0113)
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文摘
氮化铝轮廓模式谐振器(CMR)能够满足现代无线通信对单片、多频段、可重构的多频率源的需求,具有很大的应用前景。针对目前无具体单个CMR频点的设计方法,提出了一种结合CMR性能参数的影响因素分析和有限元计算的CMR设计方法。该文对CMR的谐振频率、质量因子、机电耦合系数和动态电阻等谐振器主要性能参数的影响因素进行理论分析得到CMR结构的初始尺寸,再利用COMSOL有限元软件建立CMR几何模型并进行频域求解得到相应的频率-导纳曲线和频率-质量因子曲线;根据仿真结果和理论计算对CMR初始结构尺寸进行优化,并仿真设计了一个氮化铝CMR,其谐振频率为300 MHz,质量因子约为1010,机电耦合系数约为1.64%。
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关键词
轮廓模式谐振器
氮化铝
谐振频率
动态电阻
质量因子
机电耦合系数
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Keywords
contour-mode resonator
AlN
resonance frequency
dynamic resistance
quality factor
electromechanical coupling coefficient
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分类号
TN713.2
[电子电信—电路与系统]
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