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应用于高速离子电导扫描成像的双压电定位平台
被引量：
5
1
作者
庄健
王志武
廖晓波
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第10期2203-2214,共12页
为了解决离子电导显微成像系统中传统跳跃工作模式高速扫描时存在的运动过冲以及成像速度慢的问题,提出了一种基于双压电纳米定位平台的高速扫描方法。根据扫描系统需求提出了采用大行程-慢速和小行程-快速压电纳米定位平台串联的设计方...
为了解决离子电导显微成像系统中传统跳跃工作模式高速扫描时存在的运动过冲以及成像速度慢的问题,提出了一种基于双压电纳米定位平台的高速扫描方法。根据扫描系统需求提出了采用大行程-慢速和小行程-快速压电纳米定位平台串联的设计方案,满足探针Z向测量量程要求并可快速回提探针。以菱形位移放大机构和导向机构为构型,设计并确定双压电驱动扫描平台的关键几何参数。基于解析模型计算了定位平台的静力学性能参数并采用有限元分析方法分析了双压电平台的静/动态特性。最后,加工了双压电平台样机并进行了离子电流过冲和形貌扫描成像的测试。实验结果表明所设计的双压电驱动探针定位平台在保证成像稳定的前提下可使下探速度至少达到500 nm/ms,有效地减小了电流过冲,提高了系统成像效率。
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关键词
离子电导扫描成像系统
双压电扫描器
位移放大机构
跳跃工作模式
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职称材料
题名
应用于高速离子电导扫描成像的双压电定位平台
被引量：
5
1
作者
庄健
王志武
廖晓波
机构
西安交通大学机械工程学院
西南科技大学制造科学与工程学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第10期2203-2214,共12页
基金
国家自然科学基金面上项目(No.51375363)
陕西省科技厅工业公关项目(No.2013GY2-04)
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(No.Z201707084)。
文摘
为了解决离子电导显微成像系统中传统跳跃工作模式高速扫描时存在的运动过冲以及成像速度慢的问题,提出了一种基于双压电纳米定位平台的高速扫描方法。根据扫描系统需求提出了采用大行程-慢速和小行程-快速压电纳米定位平台串联的设计方案,满足探针Z向测量量程要求并可快速回提探针。以菱形位移放大机构和导向机构为构型,设计并确定双压电驱动扫描平台的关键几何参数。基于解析模型计算了定位平台的静力学性能参数并采用有限元分析方法分析了双压电平台的静/动态特性。最后,加工了双压电平台样机并进行了离子电流过冲和形貌扫描成像的测试。实验结果表明所设计的双压电驱动探针定位平台在保证成像稳定的前提下可使下探速度至少达到500 nm/ms,有效地减小了电流过冲,提高了系统成像效率。
关键词
离子电导扫描成像系统
双压电扫描器
位移放大机构
跳跃工作模式
Keywords
ion conductance microscopy imaging system
dual-nanopositioning stage
amplification mechanism
hopping mode
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
应用于高速离子电导扫描成像的双压电定位平台
庄健
王志武
廖晓波
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
5
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