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题名微电容超声传感器的设计与测试
被引量：7
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作者
穆林枫
张文栋
何常德
张睿
宋金龙
薛晨阳
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机构
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
中北大学测试技术重点实验室
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2015年第8期1-3,6,共4页
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基金
国家自然科学基金项目(61127008)
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文摘
针对现有微电容超声传感器(CMUT)寄生电容大的问题,采用绝缘技术将振动薄膜与上电极金属完全隔离的方法,避免了掺杂效应的发生,从而减小了寄生电容。文中以电容变化率为主线,分别对微传感器和跨阻检测电路的电容变化率进行了计算和仿真,建立了传感器与电路检测的通道,并通过水下测试系统的搭建,对其进行实验验证。测试结果表明,实际输出电压的值为0.8 V,与理论计算值0.61 V相近,从而验证了CMUT的可用性及其测试系统的可行性。
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关键词
微电容超声传感器
寄生电容
电容变化率
跨阻检测电路
系统测试
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Keywords
CMUT
parasitic capacitance
capacitance change rate
transimpedance detection circuit
system test
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分类号
TN552
[电子电信]
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