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题名用于跨尺度测量的DMD控制策略研究
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作者
余卿
崔长彩
付胜杰
叶瑞芳
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机构
华侨大学机电及自动化学院
上海理工大学光电信息与计算机工程学院
华侨大学制造工程研究院
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出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期7-12,共6页
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基金
教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-10-0116)
福建省青年人才创新基金(2013J05078)
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文摘
为了测量被测物面的微观特征量及这些特征量间的关系,提出基于数字微镜器件(DMD)的跨尺度测量方法,研究针对DMD的控制方法及基于DMD的测量策略,在不对测量系统硬件做任何修改的前提下,仅通过软件编程实现对DMD结构光参数的改变,理论上可实现从0.1μm到1 mm的跨尺度测量。搭建了基于DMD的跨尺度测量平台,实验结果表明,轴向测量精度与横向分辨力均可达到微米级,可实现对表面微观结构的快速扫描。该方法可以较好地解决目前诸多表面形貌测量中存在的多尺度问题。
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关键词
表面形貌测量
跨尺度测量
数字微镜器件
结构光
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Keywords
surface topography measurement
multi-scale measurement
digital micromirror device
structured light
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分类号
TN247
[电子电信—物理电子学]
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题名双A/D采样的跨尺度光栅微纳测量算法与实现
被引量：2
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作者
徐从裕
杨雅茹
胡宗久
徐俊
高雨婷
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机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
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出处
《电子测量与仪器学报》
CSCD
北大核心
2019年第3期8-14,共7页
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基金
国家自然科学基金(51275149)
安徽省计量科学研究院项目(W2014JSKF0454)资助
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文摘
光栅通过细分实现高分辨率测量,光栅细分数与A/D转换位数有关。针对目前低价位A/D采样芯片存在的A/D转换位数高则采样速度低或A/D转换位数低则采样速度高的特点,提出了一种跨尺度的光栅微纳测量方法,该方法通过高速A/D采样实现光栅快速测量,通过高转换位数A/D采样实现慢速微纳测量。为解决双A/D采样与细分的跟踪问题,设计了基于双A/D采样的二路细分算法,一路为判定算法,判定算法是以高速A/D采样值作为细分采样值,另外一路为测量算法,测量算法中的细分采样值是动态分配的,当判定算法的细分值和细分增量值满足跟踪条件时,测量算法中的采样值为慢速A/D采样值,否则为高速A/D采样值。实验数据表明,采用上述测量方法,可以任意组合两种不同转换位数与采样速度的A/D芯片,以满足不同需求的跨尺度光栅测量要求。
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关键词
光栅
跨尺度测量
双A/D采样
细分算法
跟踪测量
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Keywords
grating
cross-scale measurement
double A/D sampling
subdivision algorithm
tracking measurement
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分类号
TP212.9
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN792
[电子电信—电路与系统]
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