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题名压电驱动纳米定位平台跟踪误差估计前馈补偿控制
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作者
董宥驿
蒋旭
曾创佳
张合庆
赖磊捷
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机构
上海工程技术大学机械与汽车工程学院
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出处
《压电与声光》
北大核心
2025年第3期561-566,共6页
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基金
国家自然科学基金项目(52475063)。
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文摘
压电驱动纳米定位平台存在低阻尼谐振及相位滞后等问题,对平台的定位稳定性和轨迹跟踪精度有严重影响。针对该问题,首先设计了包含陷波滤波器和PI控制的高性能反馈控制器来有效抑制平台低阻尼谐振模态。其次,在上述反馈控制基础上设计了跟踪误差估计前馈补偿控制方法,利用反馈系统的灵敏度函数来估计跟踪误差,并将其加入参考信号中作为前馈补偿,进一步减少平台轨迹跟踪时的相位滞后。最后利用所设计的反馈控制器和跟踪误差估计前馈补偿控制器,对压电驱动纳米定位平台进行了多种轨迹信号的跟踪实验,以验证算法的有效性。实验结果表明,平台在加入跟踪误差估计前馈补偿后,其均方根误差和最大误差均减少了50%以上,平台的稳定性和跟踪精度得到了有效提升。
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关键词
压电驱动
纳米定位平台
陷波滤波器
前馈补偿
跟踪误差估计
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Keywords
piezoelectric drive
nanopositioning stage
notch filter
feedforward compensation
tracking error estimation
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分类号
TP29
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名采用误差估计补偿的改进型零相位误差跟踪控制
被引量：2
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作者
孙宜标
李萍
刘春芳
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机构
沈阳工业大学电气工程学院
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出处
《沈阳工业大学学报》
EI
CAS
北大核心
2012年第6期601-605,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(50805098)
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文摘
针对伺服系统中零相位误差跟踪控制器(ZPETC)对系统建模误差和参数变化非常敏感的缺点,提出了一种改进型ZPETC设计方法.将信号估计器估计的跟踪误差和系统实时误差作为ZPETC的输入信号,控制器针对系统的跟踪误差进行实时补偿,从而减小零相位误差跟踪控制器受系统参数变化的影响,同时采用低通滤波器(LPF)来消除误差信号中的高频噪声.理论推导与仿真结果表明,该方案在保持伺服系统零相位滞后的同时,减小了系统的跟踪误差,提高了系统的跟踪精度.
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关键词
零相位误差跟踪控制
跟踪误差估计
误差补偿
低通滤波器
相位滞后
延迟补偿
高频噪声
永磁直线同步电动机
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Keywords
ZPETC
tracking error estimation
error compensation
LPF
phase delay
delay compensation
high frequency noise
permanent magnet linear synchronous motor
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分类号
TP273
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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