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题名超高品质因子微棒腔的制备封装及传感应用
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作者
赵义轩
李昶
张璇
潘廷炀
段冰
杨大全
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机构
北京邮电大学信息光子学与光通信国家重点实验室
北京邮电大学信息与通信工程学院
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出处
《电子学报》
北大核心
2025年第1期41-50,共10页
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基金
北京市自然科学基金(No.Z210004)。
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文摘
作为回音壁模式(Whispering Gallery Mode,WGM)光学微腔的重要参数之一,超高的品质因子意味着微腔可以在非线性光学、相干光通信以及微波光子学等领域具备更优异的特性,更广阔的应用前景.为了提高微腔的品质因子,本文基于自动化程序控制微腔制备,并优化了抛光以及退火工艺,所制备得到的二氧化硅微棒腔具有超高品质因子、低成本、高效率等特点,品质因子最高可达3×10^(9).基于集成温控的模块化封装方案,提高了微腔耦合系统的抗干扰能力,1 h的频率偏移量可以降低为原来的1/10.超高品质因子带来了超低的非线性效应阈值功率(低至266μW),本文基于微棒腔产生的克尔光频梳进行了传感应用实验,实现了传感灵敏度为8.40 pm/℃,测量范围超过30℃的环境温度多模传感.本文的研究成果为高精度传感、大容量光通信、低阈值激光器等应用提供了强有力的工具.
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关键词
回音壁模式(WGM)
超高品质因子微腔
自动化制备
微腔封装
光频梳传感
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Keywords
whispering gallery mode(WGM)
ultra-high quality factor microcavity
automatic fabrication
packaged microcavity
optical comb sensing
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分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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