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超高压清洗技术的应用 被引量:2
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作者 韩宁宇 杜立新 《山西能源与节能》 2009年第3期76-77,共2页
叙述了采用常压喷淋清洗模式,容易在玻璃表面形成很薄的水膜,因此降低清洗效率,且用水量巨大的问题以及开发出的超高压喷淋清洗装置,不但可以提高清洗效率,也大幅降低DI(去离子)水的使用量。
关键词 超高压微细颗粒清洗(hpmj) 玻璃基板 清洗工艺 污染物
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