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新型箔式锰铜超高压力传感器
被引量：
1
1
作者
崔红玲
杨邦朝
+2 位作者
杜晓松
周鸿仁
滕林
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第F11期464-465,共2页
为了提高锰铜超高压力传感器的测压上限，须采用超高压力下绝缘性能好的无机材料作为绝缘封装层。用Al2O3薄膜作箔式锰铜超高压力传感器的绝缘层，代替现有箔式锰铜计中所使用的粘胶剂及PTFE膜，从根本上消除高压旁路效应，提高传感器...
为了提高锰铜超高压力传感器的测压上限，须采用超高压力下绝缘性能好的无机材料作为绝缘封装层。用Al2O3薄膜作箔式锰铜超高压力传感器的绝缘层，代替现有箔式锰铜计中所使用的粘胶剂及PTFE膜，从根本上消除高压旁路效应，提高传感器的测压上限。初步的动态超高压测试结果表明，该传感器所承受的压力为54．55GPa，压阻系数为0．0237GPa，延续时间可达1．6μs。
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关键词
箔式锰铜
传感器
AL2O3薄膜
动态高压测试
超高压力传感器
绝缘层
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职称材料
自增强承压圆筒结构的超高压力传感器
被引量：
2
2
作者
郭鑫
热合曼.艾比布力
+2 位作者
王鸿雁
赵立波
蒋庄德
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第12期3152-3159,共8页
采用自增强技术与硅压阻效应研制了超高压力传感器,该传感器能够消除封装残余应力的影响并保证其在进行大量程压力测量时具有较高的灵敏度输出。该传感器的弹性元件为圆筒结构的高强度弹簧钢,敏感元件为平膜倒杯式硅压阻芯片。传感器工...
采用自增强技术与硅压阻效应研制了超高压力传感器,该传感器能够消除封装残余应力的影响并保证其在进行大量程压力测量时具有较高的灵敏度输出。该传感器的弹性元件为圆筒结构的高强度弹簧钢,敏感元件为平膜倒杯式硅压阻芯片。传感器工作时,超高压力作用在圆筒结构的金属弹性元件使其发生轴向位移,该位移量通过弹性元件顶端的传递杆施加到周边固支的硅压阻芯片上,使置于此处的4个电阻条阻值发生线性变化,从而输出与被测压力成正比的电压值。在研究弹性元件在1 000MPa超高压力下的工作性能时,理论与仿真相结合研究了弹性元件的承载强度,确定采用自增强处理技术提高弹性元件的承载能力。最后,对封装好的传感器静态性能进行了标定实验。实验结果表明,该传感器能够承受1 000MPa以上的工作压力,线性度为0.52%,满足工业领域的应用需求。
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关键词
超高压力传感器
自增强技术
压阻效应
微机电系统
圆筒结构
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职称材料
一种新型火炮膛压测量传感器研究
3
作者
付敬奇
朱明式
卜雄洙
《南京理工大学学报》
CAS
CSCD
1996年第3期225-228,共4页
提出一种新型压阻式超高压传感器。用金属膜片、硅油和低量程压阻敏感元件构成传感器，从而实现了利用便宜而常见的较低量程的硅压阻敏感元件构成大量程的高压传感器。给出该传感器工作原理的理论分析和主要结构参数的估算方法。按该文...
提出一种新型压阻式超高压传感器。用金属膜片、硅油和低量程压阻敏感元件构成传感器，从而实现了利用便宜而常见的较低量程的硅压阻敏感元件构成大量程的高压传感器。给出该传感器工作原理的理论分析和主要结构参数的估算方法。按该文的原理，用２０ＭＰａ的压阻敏感元件制成了５００ＭＰａ的高压传感器的原型，其固有频率高达２４６ｋＨＺ，超过了目前同量程的其他传感器，且介绍了原型样机的标定结果，证明其原理的可行性。最后提出对这种传感器进一步开发的建议。
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关键词
火炮
膛压
测量
超高压力传感器
传感器
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职称材料
题名
新型箔式锰铜超高压力传感器
被引量：
1
1
作者
崔红玲
杨邦朝
杜晓松
周鸿仁
滕林
机构
电子科技大学电子工程学院电子实验中心
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第F11期464-465,共2页
基金
“十五”电子预研资助项目（AW030412）
文摘
为了提高锰铜超高压力传感器的测压上限，须采用超高压力下绝缘性能好的无机材料作为绝缘封装层。用Al2O3薄膜作箔式锰铜超高压力传感器的绝缘层，代替现有箔式锰铜计中所使用的粘胶剂及PTFE膜，从根本上消除高压旁路效应，提高传感器的测压上限。初步的动态超高压测试结果表明，该传感器所承受的压力为54．55GPa，压阻系数为0．0237GPa，延续时间可达1．6μs。
关键词
箔式锰铜
传感器
AL2O3薄膜
动态高压测试
超高压力传感器
绝缘层
Keywords
foil manganin sensors,Al2O3 thin film, ultra-high pressure testing
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
自增强承压圆筒结构的超高压力传感器
被引量：
2
2
作者
郭鑫
热合曼.艾比布力
王鸿雁
赵立波
蒋庄德
机构
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
新疆交通职业技术学院汽车与机电工程学院
陕西省计量科学研究院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第12期3152-3159,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.50905139
No.90923001
+7 种基金
No.51375378)
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(No.2012jdgz08)
陕西省科技计划资助项目(No.2012KJXX-01)
国家科技重大专项资助项目(No.2011ZX04004-061)
长江学者和创新团队发展计划资助项目(No.IRT1033)
教育部科学研究重大项目(No.311001)
高等学校学科创新引智计划资助项目(No.B12016)
国家重大科学仪器设备开发专项(No.2012YQ03026101)
文摘
采用自增强技术与硅压阻效应研制了超高压力传感器,该传感器能够消除封装残余应力的影响并保证其在进行大量程压力测量时具有较高的灵敏度输出。该传感器的弹性元件为圆筒结构的高强度弹簧钢,敏感元件为平膜倒杯式硅压阻芯片。传感器工作时,超高压力作用在圆筒结构的金属弹性元件使其发生轴向位移,该位移量通过弹性元件顶端的传递杆施加到周边固支的硅压阻芯片上,使置于此处的4个电阻条阻值发生线性变化,从而输出与被测压力成正比的电压值。在研究弹性元件在1 000MPa超高压力下的工作性能时,理论与仿真相结合研究了弹性元件的承载强度,确定采用自增强处理技术提高弹性元件的承载能力。最后,对封装好的传感器静态性能进行了标定实验。实验结果表明,该传感器能够承受1 000MPa以上的工作压力,线性度为0.52%,满足工业领域的应用需求。
关键词
超高压力传感器
自增强技术
压阻效应
微机电系统
圆筒结构
Keywords
ultra-high pressure sensor
autofrettage technology
piezoresistive effect
Micro-electronic-mechanic System（MEMS）
cylinder structure
分类号
TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
一种新型火炮膛压测量传感器研究
3
作者
付敬奇
朱明式
卜雄洙
机构
南京理工大学机械学院
出处
《南京理工大学学报》
CAS
CSCD
1996年第3期225-228,共4页
基金
国防科技预研行业基金
文摘
提出一种新型压阻式超高压传感器。用金属膜片、硅油和低量程压阻敏感元件构成传感器，从而实现了利用便宜而常见的较低量程的硅压阻敏感元件构成大量程的高压传感器。给出该传感器工作原理的理论分析和主要结构参数的估算方法。按该文的原理，用２０ＭＰａ的压阻敏感元件制成了５００ＭＰａ的高压传感器的原型，其固有频率高达２４６ｋＨＺ，超过了目前同量程的其他传感器，且介绍了原型样机的标定结果，证明其原理的可行性。最后提出对这种传感器进一步开发的建议。
关键词
火炮
膛压
测量
超高压力传感器
传感器
Keywords
alloys, diaphragms,silicon oil, pressure,transducers
piezoresistive element
分类号
TJ306 [兵器科学与技术—火炮、自动武器与弹药工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
新型箔式锰铜超高压力传感器
崔红玲
杨邦朝
杜晓松
周鸿仁
滕林
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
自增强承压圆筒结构的超高压力传感器
郭鑫
热合曼.艾比布力
王鸿雁
赵立波
蒋庄德
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
一种新型火炮膛压测量传感器研究
付敬奇
朱明式
卜雄洙
《南京理工大学学报》
CAS
CSCD
1996
0
在线阅读
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职称材料
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