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硅元素对TiN薄膜性能的影响
1
作者
刘景辉
吴连波
赵贺
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2005年第3期60-61,共2页
在TiN中加入不固溶于TiN晶格的Si元素,提高薄膜的硬度、韧性和弹性回复,从而增加了刀模具的使用寿命。
关键词
SI元素
Ti—Si—N薄膜
超
硬度
超耐磨性
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
硅元素对TiN薄膜性能的影响
1
作者
刘景辉
吴连波
赵贺
机构
长春工业大学材料学院
出处
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2005年第3期60-61,共2页
文摘
在TiN中加入不固溶于TiN晶格的Si元素,提高薄膜的硬度、韧性和弹性回复,从而增加了刀模具的使用寿命。
关键词
SI元素
Ti—Si—N薄膜
超
硬度
超耐磨性
Keywords
Si element
thin film of Ti-Si-N
super hardness
super wear resistance
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
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1
硅元素对TiN薄膜性能的影响
刘景辉
吴连波
赵贺
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2005
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