炸药粒度对爆轰合成超细金刚石得率的影响 被引量：4

1

作者 王建华 刘玉存 +1 位作者 田俊荣 于雁武 《爆炸与冲击》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期268-272,共5页

为了进一步提高炸药爆轰合成超细金刚石(UltrafineDiamond,简称UFD)的得率,对RDX/TNT混合装药中RDX粒度对爆轰合成超细金刚石的影响进行了研究。实验结果表明RDX粒径对超细金刚石的得率有明显的影响,随着RDX粒径的增大UFD的得率随之提高... 为了进一步提高炸药爆轰合成超细金刚石(UltrafineDiamond,简称UFD)的得率,对RDX/TNT混合装药中RDX粒度对爆轰合成超细金刚石的影响进行了研究。实验结果表明RDX粒径对超细金刚石的得率有明显的影响,随着RDX粒径的增大UFD的得率随之提高;当使用同一粒径RDX时,改变RDX/TNT混合装药的组分配比,在一定程度上也提高了UFD的得率。并对制备的UFD进行了特性表征。 展开更多

关键词 爆炸力学 超细金刚石 爆轰 粒度 得率

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不同试剂对超细金刚石提纯效果的影响 被引量：1

2

作者 杨晓光 侯书恩 +1 位作者 靳洪允 潘勇 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2008年第1期43-46,共4页

以工业生产的粗提纯人造超细金刚石微粉为原料,从提纯原理的基础出发,采用铈盐、氟盐、过硫酸盐等试剂进行了提纯实验,并对每种试剂的实验结果、提纯工艺等进行了综合的分析比较。经过大量的实验数据分析,文章提出:环保型强氧化剂和除... 以工业生产的粗提纯人造超细金刚石微粉为原料,从提纯原理的基础出发,采用铈盐、氟盐、过硫酸盐等试剂进行了提纯实验,并对每种试剂的实验结果、提纯工艺等进行了综合的分析比较。经过大量的实验数据分析,文章提出:环保型强氧化剂和除硅剂的复配,在有效降低环境污染的同时能取得良好的除杂效果。其中试剂浓度0.4 g/mL^0.5 g/mL的Na2S2O8和0.35 g/mL^0.5 g/mLKF.2H2O溶液配合使用,经180℃~200℃高温密闭8~10 h,使超细金刚石微粉提纯后的纯度达到了99.90%以上。 展开更多

关键词 超细金刚石 提纯 环保 除杂剂

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新工艺提纯超细金刚石微粉的效果评价研究

3

作者 潘勇 侯书恩 +1 位作者 林克英 肖红艳 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2006年第4期4-7,共4页

通过对人造金刚石微粉进行提纯研究,提出了一种全新的提纯工艺:在强酸介质中利用超声波分散,中温高压的密闭体系中反应。国家发明专利公开号为CN 1693188A。借助TG-DSC、XRD和激光拉曼光谱等测试方法对提纯前后的金刚石微粉进行对比分析... 通过对人造金刚石微粉进行提纯研究,提出了一种全新的提纯工艺:在强酸介质中利用超声波分散,中温高压的密闭体系中反应。国家发明专利公开号为CN 1693188A。借助TG-DSC、XRD和激光拉曼光谱等测试方法对提纯前后的金刚石微粉进行对比分析,结果表明提纯后的超细金刚石微粉热稳定性提高近30℃;XRD图谱上无非金刚石物相衍射峰,提纯前后的晶体粒度根据X射线衍射理论,晶粒粒度变小引起衍射峰宽化,应用Scheer公式进行计算,晶体粒径变化不大;激光拉曼光谱显示石墨几乎被完全除去,并且获得的超细金刚石微粉在1000℃灼烧,不可燃残留物小于0.05%以及最有害成分S iO2的含量小于0.01%,是目前提纯超细金刚石微粉的一种行之有效的方法。 展开更多

关键词 超细金刚石 提纯

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超细金刚石与树脂基体间界面层的研究 被引量：4

4

作者 楚亚卿 仝毅 +1 位作者 黄风雷 张同来 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期1-5,共5页

为观察和分析复合树脂中超细金刚石填料与基体间界面层的结构及其作用机理,合成了仅添加改性超细金刚石为增强体的复合树脂,对该树脂进行了机械性能测试、透射电镜观察以及红外光谱等测试.结果表明超细金刚石的加入可以明显提高树脂的... 为观察和分析复合树脂中超细金刚石填料与基体间界面层的结构及其作用机理,合成了仅添加改性超细金刚石为增强体的复合树脂,对该树脂进行了机械性能测试、透射电镜观察以及红外光谱等测试.结果表明超细金刚石的加入可以明显提高树脂的机械性能,并观察到纳米金刚石颗粒与基体之间存在着界面层.在光照固化以后,界面层中的双键在光引发剂的催化下随机地与其附近的其他分子上的双键发生反应,DND与基体之间由氢键、分子间作用力等较弱的结合方式变成通过化学键连接的牢固的结合方式,使得树脂抵抗外界载荷的能力获得了极大提高. 展开更多

关键词 超细金刚石 复合树脂 界面层 硅烷偶联剂

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影响超细金刚石尺寸长大的限制机理 被引量：3

5

作者 李世才 池军智 黄风雷 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 1997年第5期552-557,共6页

负氧平衡炸药爆轰产物中未被氧化的游离碳，在反应区内高温高压的作用下可以转化为纳米级的超细金刚石，这一过程可以近似用液滴的快速聚集动力学理论来描述．本文利用炸药爆温以及小粒子性质研究了超细金刚石生长过程中受到的尺寸限制... 负氧平衡炸药爆轰产物中未被氧化的游离碳，在反应区内高温高压的作用下可以转化为纳米级的超细金刚石，这一过程可以近似用液滴的快速聚集动力学理论来描述．本文利用炸药爆温以及小粒子性质研究了超细金刚石生长过程中受到的尺寸限制条件．结果表明，超细金刚石粒子的准熔化相区域可能是影响其生长的限制条件，有关超细金刚石生长时间的估算支持上述结论． 展开更多

关键词 超细金刚石 爆轰 合成 负氧平衡炸药 金刚石

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硅低温热解活化包覆超细金刚石及其抗氧化和分散稳定性

6

作者 李文生 黄晓龙 +3 位作者 成波 李建军 宋强 赛纽特·乌拉吉米尔 《材料导报》 CSCD 北大核心 2023年第11期73-78,共6页

超细金刚石(UFD)粉体高温易氧化、分散稳定性差使其在高温、溶液等环境中的应用受到极大限制。采用硅低温热解-活化-包覆复合工艺实现了超细金刚石表面包覆改性,成功制备了具有纳米尺度核-壳结构的UFD/Si复合粉体。用拉曼和透谢电镜分... 超细金刚石(UFD)粉体高温易氧化、分散稳定性差使其在高温、溶液等环境中的应用受到极大限制。采用硅低温热解-活化-包覆复合工艺实现了超细金刚石表面包覆改性,成功制备了具有纳米尺度核-壳结构的UFD/Si复合粉体。用拉曼和透谢电镜分别表征了包覆粉末石墨化程度,探究包覆前后粉体的相成分,复合粉体形貌及包覆层厚度;用热重分析仪和傅里叶红外光谱结合粉体在10%硫酸悬浮液中的稳定静置时间分别测定UFD包覆前后的抗氧化性和分散稳定性。结果表明,850℃时的原位热解反应使Si活化量充足,无定型硅层均匀包裹着金刚石颗粒呈椭球形,包覆层厚度为10~30 nm,物相主要为金刚石和无定型硅。核-壳结构的UFD/Si复合粉体具有抗高温氧化性,硅层阻隔了金刚石与氧气直接接触,其初始氧化温度较纯UFD从500℃提高到780℃,945℃时才被彻底氧化。包覆减少了金刚石表面的官能团,减弱了颗粒之间的吸附,包覆Si后的UFD粉体在10%稀硫酸悬浮液中的沉降时间较纯UFD提升了12 h以上。 展开更多

关键词 Si低温热解 核-壳结构 超细金刚石 抗高温 分散稳定性

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银基金刚石超细微粒复合镀层的制备及表征 被引量：1

7

作者 余焜 施智祥 +1 位作者 于海梁 宋锦柱 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期110-112,共3页

研究了电镀工艺对银基金刚石超细微粒复合镀层微结构的影响。研究结果表明 ,金刚石的粒径越小 ,浓度越高 ,越有利于复合共沉积。研究结果给出了一组优化工艺 ,与常规镀银工艺接近。

关键词 超细金刚石粉 复合镀层 微结构 制备 电接点材料

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高性能超细晶粒金刚石涂层刀具制备及试验研究 被引量：7

8

作者 薛宏国 孙方宏 +1 位作者 马玉平 陈明 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期1251-1256,共6页

采用改进的预处理方法和变参数沉积工艺在硬质合金刀片上制备了超细晶粒金刚石薄膜涂层。通过玻璃纤维增强塑料的车削试验,研究了薄膜与基体之间的附着强度、涂层刀具的磨损和加工工件的表面粗糙度。试验结果表明改进的预处理方法能够... 采用改进的预处理方法和变参数沉积工艺在硬质合金刀片上制备了超细晶粒金刚石薄膜涂层。通过玻璃纤维增强塑料的车削试验,研究了薄膜与基体之间的附着强度、涂层刀具的磨损和加工工件的表面粗糙度。试验结果表明改进的预处理方法能够有效增强金刚石薄膜与基体之间的附着强度;超细晶粒金刚石薄膜减小了刀具与工件之间的摩擦,降低了刀具磨损,并使加工表面的表面粗糙度显著降低;使用改进预处理方法和变参数沉积工艺制备的超细晶粒金刚石涂层刀具的寿命达到未涂层刀具寿命的8倍以上。 展开更多

关键词 超细晶粒金刚石薄膜 硬质合金 附着强度 玻璃纤维增强塑料

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超细晶粒金刚石涂层刀具高速铣削石墨的切削性能研究 被引量：10

9

作者 杨小璠 李友生 +2 位作者 鄢国洪 李超 许志龙 《制造技术与机床》 北大核心 2013年第6期58-60,64,共4页

选用超细晶粒和粗晶粒金刚石涂层的双刃整体硬质合金平头立铣刀,在相同切削参数下进行石墨的高速铣削加工试验。试验结果表明:超细晶粒金刚石涂层刀具具有良好的表面涂层性能,在切削过程中刀刃磨损均匀缓慢,刀具的使用寿命和工件的加工... 选用超细晶粒和粗晶粒金刚石涂层的双刃整体硬质合金平头立铣刀,在相同切削参数下进行石墨的高速铣削加工试验。试验结果表明:超细晶粒金刚石涂层刀具具有良好的表面涂层性能,在切削过程中刀刃磨损均匀缓慢,刀具的使用寿命和工件的加工表面质量都优于粗晶粒金刚石涂层刀具,适合石墨等硬脆材料的高速切削加工。 展开更多

关键词 超细晶粒金刚石涂层 石墨 刀具寿命 表面粗糙度

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金刚石超细粉体粒度测试中分散条件的探索 被引量：4

10

作者 张玉敏 刘桂华 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2007年第2期17-19,共3页

粒度的准确测定关系到金刚石性能的表征。本文研究了试样浓度、超声波强度、分散时间及分散剂的加入对金刚石微粉粒度测定结果的影响,结果表明,试样浓度低或高,粒度测定结果偏大;超声波强度的增大和超声波分散时间的延长明显地有利于粒... 粒度的准确测定关系到金刚石性能的表征。本文研究了试样浓度、超声波强度、分散时间及分散剂的加入对金刚石微粉粒度测定结果的影响,结果表明,试样浓度低或高,粒度测定结果偏大;超声波强度的增大和超声波分散时间的延长明显地有利于粒子的分散,有利于粒度的准确测定;加入适量的分散剂六偏磷酸钠后,测试结果重现性好。 展开更多

关键词 金刚石超细粉 粒度分析 分散条件

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金刚石涂层的干摩擦性能及在机械密封应用 被引量：1

11

作者 欧正雄 夏岳 +3 位作者 王凯悦 宋惠 西村一仁 李赫 《中国表面工程》 CSCD 北大核心 2024年第6期257-270,共14页

机械密封件是阻止旋转设备中介质泄漏的关键部件,在机械行业中广泛应用。随着服役工况日益苛刻,密封界面出现摩擦加剧(如高温、高速以及启/停阶段下出现干摩擦)、泄漏量增多以及寿命降低等问题,直接影响了关键密封摩擦部件的服役性能。... 机械密封件是阻止旋转设备中介质泄漏的关键部件,在机械行业中广泛应用。随着服役工况日益苛刻,密封界面出现摩擦加剧(如高温、高速以及启/停阶段下出现干摩擦)、泄漏量增多以及寿命降低等问题,直接影响了关键密封摩擦部件的服役性能。通过机械密封部件工作面引入表面防护涂层可以极大改善密封界面的润滑行为,提升服役寿命。化学气相沉积(CVD)金刚石涂层兼具优异的力学性能与化学稳定性,是典型陶瓷密封环理想的端面防护材料。首先通过采用热丝化学气相沉积(HFCVD)在Si C陶瓷密封环上分别设计制备微米金刚石(MCD)涂层和超细纳米金刚石(UNCD)涂层,在自主搭建的高性能机械密封测试设备上进行不同晶粒尺寸金刚石涂层改性密封环的摩擦学行为测试。试验表明:(1)金刚石涂层改性机械密封环与Si C陶瓷密封环相比,摩擦因数降低4~5倍,磨损率降低20倍(其中MCD涂层摩擦因数约为0.24,磨损率为0.67×10^(-6 )mm^(3)/(N·m);UNCD涂层摩擦因数约为0.22,磨损率为3.43×10^(-6 )mm^(3)/(N·m));(2)与UNCD涂层相比,MCD涂层在相同干摩擦环境下具有较高的膜基结合力与抗磨损性能,但摩擦因数较高。随后通过引入研磨抛光手段降低制备金刚石涂层的表面粗糙度,系统探究研磨抛光后MCD涂层和UNCD涂层在干摩擦环境下的摩擦磨损性能。通过研磨抛光降低MCD涂层表面粗糙度后可有效改善其摩擦因数,与摩擦稳定时UNCD摩擦因数0.07保持一致,其中Si C球磨损率从3.21×10^(-6 )mm^(3)/(N·m)降低到0.09×10^(-9) mm^(3)/(N·m)。这与MCD涂层经过表面粗糙度优化后,有效改善干摩擦过程中磨粒磨损与黏着磨损有关。上述研究不仅为金刚石涂层在干摩擦环境中改性与摩擦机理分析提供了简洁有效的思路,同时进一步扩展了MCD作为防护涂层在机械密封中的应用。 展开更多

关键词 机械密封 微米金刚石(MCD)涂层 超细纳米金刚石(UNCD)涂层 研磨 抛光 干摩擦 表面防护 摩擦机理

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CVD金刚石薄膜在水润滑条件下的摩擦磨损性能研究 被引量：3

12

作者 沈彬 孙方宏 张志明 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期112-117,共6页

采用偏压辅助增强热丝CVD法在硬质合金衬底上制备常规金刚石薄膜和超细晶粒金刚石薄膜,在往复式球-盘摩擦磨损试验机上考察金刚石薄膜在干摩擦和水润滑条件下的摩擦磨损性能,分别采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪和能谱仪分析金刚石薄膜... 采用偏压辅助增强热丝CVD法在硬质合金衬底上制备常规金刚石薄膜和超细晶粒金刚石薄膜,在往复式球-盘摩擦磨损试验机上考察金刚石薄膜在干摩擦和水润滑条件下的摩擦磨损性能,分别采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪和能谱仪分析金刚石薄膜的表面形貌特性、结构特征及其摩擦表面残余物质的组成.结果表明,常规金刚石薄膜和超细晶粒金刚石薄膜在水润滑下的摩擦系数分别约为0.25和0.22,超细晶粒金刚石薄膜对偶件的磨损率仅为6.94×10-6mm3/(Nm),显示出优异的减摩性能,可作为良好的水润滑摩擦副涂层材料. 展开更多

关键词 金刚石薄膜 超细晶粒金刚石薄膜 摩擦磨损性能

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SiC晶片金刚石磨料凝胶抛光盘的制备与性能分析

13

作者 冯凯萍 吕冰海 +2 位作者 王帅 赵天晨 周兆忠 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第12期215-223,共9页

针对热压成型超细金刚石微粉抛光盘抛光碳化硅晶片时易产生较深表面划痕而导致废片的问题,提出了一种基于聚乙烯醇冷冻⁃解冻凝胶成形金刚石固着磨料抛光盘的制备方法。采用力学性能测试、红外光谱、摩擦磨损、热重分析等方法对凝胶抛光... 针对热压成型超细金刚石微粉抛光盘抛光碳化硅晶片时易产生较深表面划痕而导致废片的问题,提出了一种基于聚乙烯醇冷冻⁃解冻凝胶成形金刚石固着磨料抛光盘的制备方法。采用力学性能测试、红外光谱、摩擦磨损、热重分析等方法对凝胶抛光盘的性能进行表征。研究表明:聚乙烯醇含量大于3%(质量分数,下同)时,聚乙烯醇⁃酚醛树脂混合胶水可以形成完整凝胶体。当聚乙烯醇含量为5%~6%时,凝胶抛光盘内部形成了大量毛细微孔,孔隙之间相互交错和联通,其抗折强度和抗拉强度最高,平均摩擦系数最大,摩擦系数稳定性最好,其磨料均匀性优于热压抛光盘。随着聚乙烯醇含量的提高,抛光盘表面被树脂结合剂覆盖,抛光盘的塑性越来越大,聚乙烯醇热解对凝胶抛光盘摩擦系数的影响增大,摩擦系数随着摩擦时间的延长开始出现热衰退现象。使用聚乙烯醇含量为5%的凝胶抛光盘抛光SiC晶片,表面平均粗糙度R_(a)小于2.5 nm,再通过化学机械抛光(CMP)后获得了表面粗糙度R_(a)小于0.5 nm的超光滑无损表面,抛光效果优于热压抛光盘。 展开更多

关键词 聚乙烯醇(PVA) 酚醛树脂(PF) 凝胶抛光盘 超细金刚石 碳化硅晶片

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超精密晶圆减薄砂轮及减薄磨削装备研究进展 被引量：3

14

作者 周仁宸 王哲 +4 位作者 杨远航 吉佛涛 刘坚 李蓉 尹韶辉 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期1-21,共21页

在芯片制程的后道阶段,通过超精密晶圆减薄工艺可以有效减小芯片封装体积,导通电阻,改善芯片的热扩散效率,提高其电气性能、力学性能。目前的主流工艺通过超细粒度金刚石砂轮和高稳定性超精密减薄设备对晶圆进行减薄,可实现大尺寸晶圆... 在芯片制程的后道阶段,通过超精密晶圆减薄工艺可以有效减小芯片封装体积,导通电阻,改善芯片的热扩散效率,提高其电气性能、力学性能。目前的主流工艺通过超细粒度金刚石砂轮和高稳定性超精密减薄设备对晶圆进行减薄,可实现大尺寸晶圆的高精度、高效率、高稳定性无损伤表面加工。重点综述了目前超精密晶圆减薄砂轮的研究进展,在磨料方面综述了机械磨削用硬磨料和化学机械磨削用软磨料的研究现状,包括泡沫化金刚石、金刚石团聚磨料、表面微刃金刚石的制备方法及磨削性能,同时归纳总结了软磨料砂轮的化学机械磨削机理及材料去除模型。在结合剂研究方面,综述了金属、树脂和陶瓷3种结合剂的优缺点,以及在晶圆减薄砂轮上的应用,重点综述了目前在改善陶瓷结合剂的本征力学强度及与金刚石之间的界面润湿性方面的研究进展。在晶圆减薄超细粒度金刚石砂轮制备方面,由于微纳金刚石的表面能较大,采用传统工艺制备砂轮会导致磨料发生团聚,影响加工质量。在此基础上,总结论述了溶胶–凝胶法、高分子网络凝胶法、电泳沉积法、凝胶注模法、结构化砂轮等新型工艺方法在超细粒度砂轮制备方面的应用研究,同时还综述了目前不同的晶圆减薄工艺及超精密减薄设备的研究进展,并指出未来半导体加工工具及装备的发展方向。 展开更多

关键词 减薄砂轮 减薄机 表面处理 结合剂 超细粒度金刚石 制备技术

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PVA/PF复合凝胶磨具精密磨削碳化硅陶瓷工艺实验研究 被引量：4

15

作者 冯凯萍 吕冰海 +2 位作者 朱国旗 赵天晨 周兆忠 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第2期347-357,共11页

目的针对传统粉末热压成形细粒度金刚石磨具存在颗粒团聚、磨削碳化硅陶瓷容易在表面产生较深划痕的问题,提出一种基于冷冻-解冻凝胶成形的细粒度金刚石磨具,用于精密磨削碳化硅陶瓷,并研究其加工工艺。方法制备聚乙烯醇-酚醛树脂复合... 目的针对传统粉末热压成形细粒度金刚石磨具存在颗粒团聚、磨削碳化硅陶瓷容易在表面产生较深划痕的问题,提出一种基于冷冻-解冻凝胶成形的细粒度金刚石磨具,用于精密磨削碳化硅陶瓷,并研究其加工工艺。方法制备聚乙烯醇-酚醛树脂复合凝胶胶水,将金刚石和填料在凝胶胶水中剪切分散,得到的浆料浇筑在模具中,在–20℃低温条件下反复冷冻,形成胶体,再经干燥、烧结,得到粒度为2.5µm的细粒度金刚石磨削磨具。采用制备的金刚石凝胶磨具磨削碳化硅平面反射镜,对比不同磨具转速、进给速度、磨削深度工艺条件下的表面磨削质量。结果在低温条件下,聚乙烯醇-酚醛树脂分子链发生了物理交联,形成凝胶体,凝胶结合剂结合强度高,且分布均匀,所制备的凝胶磨具强度高于热压磨具,该方法可以解决传统粉料压制成形方法容易出现物相团聚、微观结构不一致的问题。磨削结果显示,当磨削进给速度为0.008 mm/min、磨具转速为1450 r/min、磨削深度为0.016 mm、转台转速为60 r/min时,获得了表面粗糙度Ra低于3.5 nm的镜面磨削效果,表面质量好于热压磨具磨削效果,3个ϕ100 mm区域平面度PV值均小于0.5µm。结论采用聚乙烯醇-酚醛树脂复合凝胶成功制备了细粒度金刚石磨削磨具,通过优化磨削工艺参数,为碳化硅平面反射镜镜面加工提供了一种新的加工工艺。 展开更多

关键词 凝胶磨具 碳化硅陶瓷 精密磨削 表面质量 超细金刚石 磨损

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单晶硅反射镜的超精密磨削工艺 被引量：14

16

作者 王紫光 康仁科 +2 位作者 周平 高尚 董志刚 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期1087-1095,共9页

为了实现单晶硅反射镜高效低损伤的超精密加工,研究了基于工件旋转法磨削原理的单晶硅反射镜超精密磨削工艺。通过形貌检测和成份测试的方法分析了该工艺采用的超细粒度金刚石砂轮的组织结构特征,并对单晶硅进行了超精密磨削试验,研究... 为了实现单晶硅反射镜高效低损伤的超精密加工,研究了基于工件旋转法磨削原理的单晶硅反射镜超精密磨削工艺。通过形貌检测和成份测试的方法分析了该工艺采用的超细粒度金刚石砂轮的组织结构特征,并对单晶硅进行了超精密磨削试验,研究了超细粒度金刚石砂轮的磨削性能。通过砂轮主轴角度与工件面形之间的数学关系实现对磨削工件面形的控制。最后,采用超细粒度金刚石砂轮对Φ100mm×5mm的单晶硅反射镜进行了超精密磨削试验验证。试验结果表明,超细粒度金刚石砂轮磨削后的单晶硅表面粗糙度Ra值小于10nm,亚表面损伤深度小于100nm,磨削后的单晶硅反射镜面形PV值从初始的8.1μm减小到1.5μm。由此说明采用该工艺磨削单晶硅反射镜能够高效地获得低损伤表面和高精度面形。 展开更多

关键词 单晶硅反射镜 工件旋转法磨削 表面/亚表面损伤 面形控制 超细粒度金刚石砂轮

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