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超大规模集成电路用超纯水制备系统的设计被引量：4: 1; 作者刘朋王水弟 +1 位作者杨宝和陈为红《实验技术与管理》 CAS 2003年第6期15-19,共5页; 本文介绍了一套超大规模集成电路(VLSI)用10m3/h超纯水系统的设计要点.经实际运行,性能稳定、操作简单、自动化程度高,有很好的示范作用.; 关键词超大规模集成电路超纯水制备系统流程水质自动化; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	超大规模集成电路用超纯水制备系统的设计	刘朋王水弟杨宝和陈为红	《实验技术与管理》 CAS	2003	4	在线阅读下载PDF 职称材料

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