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STM用于超精机械加工表面微观形貌检测与分析的研究
被引量：
6
1
作者
李俚
李尚平
+1 位作者
梁洁
韦宏
《广西大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
2003年第1期48-52,共5页
通过自行研制扫描隧道显微镜(ScanningTunnelingMicroscope,以下简称STM)检测了超精机械加工试件表面微观形貌,生成三维立体形貌图,对微观形貌图进行分析.了解相关的加工机理及微观表面形貌缺陷发生的原因,为提高超精加工表面质量及优...
通过自行研制扫描隧道显微镜(ScanningTunnelingMicroscope,以下简称STM)检测了超精机械加工试件表面微观形貌,生成三维立体形貌图,对微观形貌图进行分析.了解相关的加工机理及微观表面形貌缺陷发生的原因,为提高超精加工表面质量及优化加工工艺过程提供了一些参考依据.
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关键词
扫描隧道显微镜
表面检测
微观形貌
超精机械加工
加工
机理
表面质量
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职称材料
题名
STM用于超精机械加工表面微观形貌检测与分析的研究
被引量：
6
1
作者
李俚
李尚平
梁洁
韦宏
机构
广西大学机械工程学院
出处
《广西大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
2003年第1期48-52,共5页
基金
广西教育厅跨世纪人才基金项目(S92202)
文摘
通过自行研制扫描隧道显微镜(ScanningTunnelingMicroscope,以下简称STM)检测了超精机械加工试件表面微观形貌,生成三维立体形貌图,对微观形貌图进行分析.了解相关的加工机理及微观表面形貌缺陷发生的原因,为提高超精加工表面质量及优化加工工艺过程提供了一些参考依据.
关键词
扫描隧道显微镜
表面检测
微观形貌
超精机械加工
加工
机理
表面质量
Keywords
scanning tunneling microscopy
measuring
micro-topography
分类号
TG84 [金属学及工艺—公差测量技术]
TH161.14 [机械工程—机械制造及自动化]
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作者
出处
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被引量
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1
STM用于超精机械加工表面微观形貌检测与分析的研究
李俚
李尚平
梁洁
韦宏
《广西大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
2003
6
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