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用于扫描探针显微技术的空间超精微定位系统
被引量：
6
1
作者
胡小唐
庄在龙
+1 位作者
陈峰
张小戎
《天津大学学报》
EI
CAS
CSCD
1996年第1期1-6,共6页
建立了柔性铰链和复合柔性平行四析结构的力学模型．针对扫描探针显微技术（ＳＰＭ）的需要，给出了一种空间三维超精微定位机构及其控制系统．此定位系统行程１０μｍ，定位精度１０ｎｍ，定位分辨率２ｎｍ．
关键词
超精微定位
扫描探针显微术
微位移器
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职称材料
题名
用于扫描探针显微技术的空间超精微定位系统
被引量：
6
1
作者
胡小唐
庄在龙
陈峰
张小戎
机构
天津大学精密仪器与光电子工程学院
出处
《天津大学学报》
EI
CAS
CSCD
1996年第1期1-6,共6页
基金
国家教委"跨世纪优秀人才计划"基金
文摘
建立了柔性铰链和复合柔性平行四析结构的力学模型．针对扫描探针显微技术（ＳＰＭ）的需要，给出了一种空间三维超精微定位机构及其控制系统．此定位系统行程１０μｍ，定位精度１０ｎｍ，定位分辨率２ｎｍ．
关键词
超精微定位
扫描探针显微术
微位移器
Keywords
flexcure parallel four-bar mechanism, 3-D ultra-precise micro- positioning, nanotechnology
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
TH703.8 [机械工程—精密仪器及机械]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用于扫描探针显微技术的空间超精微定位系统
胡小唐
庄在龙
陈峰
张小戎
《天津大学学报》
EI
CAS
CSCD
1996
6
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