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复杂表面光学元件的超精密磨削加工及其在位砂轮精密修整技术
被引量：
7
1
作者
郭兵
赵清亮
+4 位作者
陈冰
王金虎
张春雨
吴明涛
潘永成
《航空制造技术》
2019年第9期24-35,共12页
微米级的面形精度和纳米级的表面粗糙度,以及由其表面结构所引起的加工千涉、轨迹限制、工具磨损、效率低下等一系列问题,都严重制约着复杂表面光学元件的实际应用。针对此,对多种典型复杂表面光学元件的超精密磨削加工技术进行了系统研...
微米级的面形精度和纳米级的表面粗糙度,以及由其表面结构所引起的加工千涉、轨迹限制、工具磨损、效率低下等一系列问题,都严重制约着复杂表面光学元件的实际应用。针对此,对多种典型复杂表面光学元件的超精密磨削加工技术进行了系统研究,提出了多种针对复杂表面磨削用金刚石砂轮的在位精密修整技术,并开发了一系.列的超精密磨削工艺。磨削加工后的单晶硅非球面表面粗糙度Ra<5nm,面形精度PV值<527nm/140mm;蓝宝石保形整流罩面形精度PV值<25μm/50mm;无结合剂碳化钨微结构表面粗糙度Ra<70nm。
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关键词
复杂表面
光学元件
超精密磨削加工
在位
精密
修整
金刚石砂轮
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职称材料
大型光学非球面超精密磨削的几何模型研究
被引量：
21
2
作者
韩成顺
董申
唐余勇
《兵工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第6期741-745,共5页
大型光学非球面元件的特殊优越性使其在现代光学系统中是不可替代的 ,实现高效率、更经济的生产以满足对其数量与质量的迫切要求是光学元件的制造面临的一大难题。二轴联动的超精密数控机床是用来加工轴对称非球面光学元件的 ,若在工件...
大型光学非球面元件的特殊优越性使其在现代光学系统中是不可替代的 ,实现高效率、更经济的生产以满足对其数量与质量的迫切要求是光学元件的制造面临的一大难题。二轴联动的超精密数控机床是用来加工轴对称非球面光学元件的 ,若在工件主轴上安装可以精确给出旋转角度的码盘 ,并使用金刚石砂轮就可以用来进行非轴对称非球面的超精密磨削加工。在对轴对称与非轴对称两种不同非球面的曲率分析基础上 ,给出了两种曲面加工相应的几何模型。通过计算机仿真验证了该加工方法的简便与可靠性。对二轴联动的超精密数控机床的技术改造可以实现三维加工 ,为提高效率。
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关键词
超精密磨削加工
二轴联动
数控机床
非球面
金刚石砂轮
曲面
加工
工件
光学元件
旋转角度
曲率分析
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职称材料
超精密非球曲面磨削系统中砂轮修整技术的研究
被引量：
7
3
作者
陈明君
董申
+1 位作者
张飞虎
梁迎春
《兵工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第2期238-241,共4页
为了磨削加工出高质量的非球曲面器件 ,砂轮的修整是非常重要的一个影响因素。本文首先从理论上分析了砂轮的半径误差对非球曲面器件加工精度的影响。然后设计研制了一套砂轮的电火花修整机构 ,具有结构简单、修整速度快、在位修整等特...
为了磨削加工出高质量的非球曲面器件 ,砂轮的修整是非常重要的一个影响因素。本文首先从理论上分析了砂轮的半径误差对非球曲面器件加工精度的影响。然后设计研制了一套砂轮的电火花修整机构 ,具有结构简单、修整速度快、在位修整等特点 ,修整后的砂轮形状精度很高。最后 ,用修整好的砂轮进行非球曲面的磨削实验 ,结果表明 ,其磨削加工的零件轮廓精度为 0 .3μm ,表面粗糙度Ra 优于 0 .0 1μm .
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关键词
超精密磨削加工
光学非球曲面
砂轮修整
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职称材料
题名
复杂表面光学元件的超精密磨削加工及其在位砂轮精密修整技术
被引量：
7
1
作者
郭兵
赵清亮
陈冰
王金虎
张春雨
吴明涛
潘永成
机构
哈尔滨工业大学机电工程学院
湖南科技大学智能制造研究院
浙江工业大学超精密加工研究中心
出处
《航空制造技术》
2019年第9期24-35,共12页
基金
国家自然科学基金(51875135、51705148、51805484)
黑龙江省科学基金(B2018037)。
文摘
微米级的面形精度和纳米级的表面粗糙度,以及由其表面结构所引起的加工千涉、轨迹限制、工具磨损、效率低下等一系列问题,都严重制约着复杂表面光学元件的实际应用。针对此,对多种典型复杂表面光学元件的超精密磨削加工技术进行了系统研究,提出了多种针对复杂表面磨削用金刚石砂轮的在位精密修整技术,并开发了一系.列的超精密磨削工艺。磨削加工后的单晶硅非球面表面粗糙度Ra<5nm,面形精度PV值<527nm/140mm;蓝宝石保形整流罩面形精度PV值<25μm/50mm;无结合剂碳化钨微结构表面粗糙度Ra<70nm。
关键词
复杂表面
光学元件
超精密磨削加工
在位
精密
修整
金刚石砂轮
Keywords
Complex surfaces
Optical elements
Ultra-precision grinding
On-machine precision truing
Diamond grinding wheel
分类号
TG743 [金属学及工艺—刀具与模具]
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职称材料
题名
大型光学非球面超精密磨削的几何模型研究
被引量：
21
2
作者
韩成顺
董申
唐余勇
机构
哈尔滨工业大学机电学院
出处
《兵工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第6期741-745,共5页
文摘
大型光学非球面元件的特殊优越性使其在现代光学系统中是不可替代的 ,实现高效率、更经济的生产以满足对其数量与质量的迫切要求是光学元件的制造面临的一大难题。二轴联动的超精密数控机床是用来加工轴对称非球面光学元件的 ,若在工件主轴上安装可以精确给出旋转角度的码盘 ,并使用金刚石砂轮就可以用来进行非轴对称非球面的超精密磨削加工。在对轴对称与非轴对称两种不同非球面的曲率分析基础上 ,给出了两种曲面加工相应的几何模型。通过计算机仿真验证了该加工方法的简便与可靠性。对二轴联动的超精密数控机床的技术改造可以实现三维加工 ,为提高效率。
关键词
超精密磨削加工
二轴联动
数控机床
非球面
金刚石砂轮
曲面
加工
工件
光学元件
旋转角度
曲率分析
Keywords
technology and equipment for machine building, large optical aspheric surface, non-axisymmetric aspheric surface, ultra-precision grinding, geometric model
分类号
TG659 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TG580 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
超精密非球曲面磨削系统中砂轮修整技术的研究
被引量：
7
3
作者
陈明君
董申
张飞虎
梁迎春
机构
哈尔滨工业大学精密工程研究所
出处
《兵工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第2期238-241,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目 ( 5 9835 180 )
哈尔滨工业大学校基金资助项目 (HIT .2 0 0 0 .6 1)
文摘
为了磨削加工出高质量的非球曲面器件 ,砂轮的修整是非常重要的一个影响因素。本文首先从理论上分析了砂轮的半径误差对非球曲面器件加工精度的影响。然后设计研制了一套砂轮的电火花修整机构 ,具有结构简单、修整速度快、在位修整等特点 ,修整后的砂轮形状精度很高。最后 ,用修整好的砂轮进行非球曲面的磨削实验 ,结果表明 ,其磨削加工的零件轮廓精度为 0 .3μm ,表面粗糙度Ra 优于 0 .0 1μm .
关键词
超精密磨削加工
光学非球曲面
砂轮修整
Keywords
ultra-precision grinding, optical aspheric surfaces, wheel truing
分类号
TG580.6 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
复杂表面光学元件的超精密磨削加工及其在位砂轮精密修整技术
郭兵
赵清亮
陈冰
王金虎
张春雨
吴明涛
潘永成
《航空制造技术》
2019
7
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
大型光学非球面超精密磨削的几何模型研究
韩成顺
董申
唐余勇
《兵工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
21
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
超精密非球曲面磨削系统中砂轮修整技术的研究
陈明君
董申
张飞虎
梁迎春
《兵工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
7
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职称材料
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