氧化锆陶瓷平面零件超精密研磨实验的研究 被引量：12

1

作者 纪宏波 彭岩 +2 位作者 周芬芬 郭伟刚 吕冰海 《机电工程》 CAS 2013年第9期1059-1062,1105,共5页

针对氧化锆陶瓷平面零件的超光滑表面加工问题,将两种超精密研磨工艺应用到氧化锆零件加工中。研究了研磨液和磨料粒径对零件表面粗糙度的影响,分析了不同加工阶段的材料去除机理,同时发现工件表面孔隙的致密性会降低氧化锆零件的可加... 针对氧化锆陶瓷平面零件的超光滑表面加工问题,将两种超精密研磨工艺应用到氧化锆零件加工中。研究了研磨液和磨料粒径对零件表面粗糙度的影响,分析了不同加工阶段的材料去除机理,同时发现工件表面孔隙的致密性会降低氧化锆零件的可加工性能,并采用了致密性更好的氧化锆材料在使用相同工艺情况下进行了实验对比。研究结果表明,采用金刚石油膏研磨加工得到了表面粗糙度为12.9 nm的超光滑表面,在"采用Al2O3研磨液,并使用SiO2作为抛光工序"的条件下,得到了表面粗糙度为6.55 nm的超光滑表面,并且在选用致密性更好材料进行加工后,得到了表面粗糙度为4.72 nm的超光滑表面。 展开更多

关键词 氧化锆陶瓷 超精密研磨 表面演变 致密性

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超精密研磨技术及其发展的研究(上) 被引量：10

2

作者 鲁聪达 王笑 +2 位作者 文东辉 姜少飞 柴国钟 《现代制造工程》 CSCD 2008年第3期126-128,共3页

阐述超精密研磨技术的研磨机理和加工特点,讨论当前国内外研究和开发的几种超精密研磨技术及其发展。最后,介绍精密加工技术的检测设备、仪器。

关键词 研磨 磨粒 超精密研磨 超精密测量

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超精密研磨技术及其发展的研究*(下) 被引量：5

3

作者 鲁聪达 王笑 +2 位作者 文东辉 姜少飞 柴国钟 《现代制造工程》 CSCD 2008年第4期125-128,共4页

阐述超精密研磨技术的研磨机理和加工特点,讨论当前国内外研究和开发的几种超精密研磨技术及其发展。最后,介绍精密加工技术的检测设备和仪器。

关键词 研磨 磨粒 超精密研磨 超精密测量

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电化学超精密研磨机床的研制

4

作者 崔胜民 曹国辉 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2002年第5期20-22,共3页

研制了能够实现X、Y、Z三轴直线运动和绕X、Z两轴转动的空间五自由度电化学超精密研磨机床。利用该机床 ,可以对电化学超精密研磨技术进行工艺研究 。

关键词 光整加工 电化学超精密研磨机床 研制

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模具型腔的高效复合超精密研磨 被引量：7

5

作者 王振龙 林治安 +4 位作者 栾英艳 陈军 王毅 庞滔 郭景哲 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第6期28-30,共3页

模具型腔光整加工的质量和效率一直是影响模具工业发展的重要因素。在综合研究国内外型腔表面超精密研磨技术的基础上，开发研制了将数控切削、电解加工及机械研磨等技术相复合的数控展成起精密电解研磨新工艺，实现了对模具型腔的高效... 模具型腔光整加工的质量和效率一直是影响模具工业发展的重要因素。在综合研究国内外型腔表面超精密研磨技术的基础上，开发研制了将数控切削、电解加工及机械研磨等技术相复合的数控展成起精密电解研磨新工艺，实现了对模具型腔的高效镜面加工。实验表明：针对不锈钢等不同模具材料，使用该技术可稳定地得到Ry＜0．03μm的镜面，其加工效率较普通研磨提高3倍以上。 展开更多

关键词 模具型腔 复合 高效 超精密研磨

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超精密研磨砂轮结构的优化设计 被引量：1

6

作者 郭隐彪 黄元庆 梁锡昌 《重庆大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期8-10,14,共4页

超精密平面研磨中工件的加工精度受到研磨轮结构参数的影响。为了得到最高的加工精度和最合理的砂轮磨损曲线 ,必须研究研磨轮的结构参数。通过研究研磨轮的加工精度系数曲线和磨损系数曲线得出 :对于大量生产的研磨机床 ,研磨轮磨损是... 超精密平面研磨中工件的加工精度受到研磨轮结构参数的影响。为了得到最高的加工精度和最合理的砂轮磨损曲线 ,必须研究研磨轮的结构参数。通过研究研磨轮的加工精度系数曲线和磨损系数曲线得出 :对于大量生产的研磨机床 ,研磨轮磨损是加工精度的主要影响因素 ,研磨轮应采用正三角形放射线结构 ;对于高精度小批量的研磨加工 ,加工精度系数是主要影响因素 。 展开更多

关键词 砂轮 超精密平面研磨 加工精度 研磨轮 磨损 优化设计 结构参数

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超精密平面研磨磨盘变形的数值仿真研究 被引量：2

7

作者 陶玉志 王成勇 +1 位作者 袁慧 宋月贤 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2009年第4期34-38,共5页

利用有限元软件仿真分析了由铸铁、锡、聚四氟乙烯等材料组合成研磨盘时,研磨盘的最大变形量与加载条件的关系。研究结果表明,研磨盘材料的弹性模量越大,其最大变形量越小;采用硬质材料作基体、将软质材料贴合在硬质材料表面一起构成研... 利用有限元软件仿真分析了由铸铁、锡、聚四氟乙烯等材料组合成研磨盘时,研磨盘的最大变形量与加载条件的关系。研究结果表明,研磨盘材料的弹性模量越大,其最大变形量越小;采用硬质材料作基体、将软质材料贴合在硬质材料表面一起构成研磨盘材料时,研磨盘加载后的变形量远远小于单独使用软质材料作为研磨盘材料时的变形量。作者计算出了当研磨盘尺寸为直径400mm×高40mm,材料分别为铸铁、纯锡、铸铁-纯锡、铸铁-PTFE时,要使研磨盘的最大变形量为2μm,所应施加的最大加载压力值分别为31.2kPa,13.2kPa,21.8kPa和11kPa.此值可供研磨机设计与使用时参考选用。 展开更多

关键词 超精密研磨 研磨盘 数值仿真 变形

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超精密平面研磨加工参数对精度的影响 被引量：1

8

作者 张翊 郭隐彪 庄司克雄 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2002年第10期37-39,共3页

通过分析超精密平面研磨加工中放射线结构和螺线结构研磨轮的运动数学模型可得出如下结论 :在通常加工条件下 ,放射线结构研磨轮受加工动压的影响小于螺线结构研磨轮。文中通过对两种结构研磨轮不同加工参数的研磨加工实验表明 :采用放... 通过分析超精密平面研磨加工中放射线结构和螺线结构研磨轮的运动数学模型可得出如下结论 :在通常加工条件下 ,放射线结构研磨轮受加工动压的影响小于螺线结构研磨轮。文中通过对两种结构研磨轮不同加工参数的研磨加工实验表明 :采用放射线结构研磨轮可以提高工件的形状精度及减小表面粗糙度值。 展开更多

关键词 超精密平面研磨 微粒金刚石研磨轮 精度 粗糙度 加工参数

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超精密研磨机床 被引量：1

9

作者 张普星 《机械工艺师》 CSCD 1998年第6期17-19,共3页

本文简要介绍了超精密研磨的工艺原理及其所要求的超精密研磨机床结构上的特点，包括高精度的主轴，精密的研磨间隙微调机构和对金刚石切削的特殊要求等，为实现超高精度的研磨提供设计思路。文中给出了一台曾研磨出接近世界领先水平超... 本文简要介绍了超精密研磨的工艺原理及其所要求的超精密研磨机床结构上的特点，包括高精度的主轴，精密的研磨间隙微调机构和对金刚石切削的特殊要求等，为实现超高精度的研磨提供设计思路。文中给出了一台曾研磨出接近世界领先水平超精密平面的研磨机的简要结构，为这类机床的设计提供参考。 展开更多

关键词 超精密研磨 浮动抛光 金刚石切削 研磨机床

原文传递

超精密机械研磨圆形研磨平板的校正

10

作者 王忠志 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2005年第4期57-59,共3页

文章介绍了用普通精度机床加工出0级块规的技术诀窍,圆形研磨平板的单偏心校正法,三板互研法,有极高的实用性。

关键词 机床 圆形研磨平板 单偏心校正 三板互研 超精密机械研磨

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研磨轮结构参数对工件加工精度的影响 被引量：3

11

作者 郭隐彪 张翊 庄司克雄 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第20期1724-1726,共3页

通过建立研磨轮和工件的相对运动数学模型 ,得出研磨轮在工件上的切削运动轨迹方程 ,由此得到超精密平面研磨中 ,不同结构参数研磨轮的滑移轨迹长度。引入精度系数的概念 ,用于评价不同结构参数研磨轮对工件的加工效果。采用微粒金刚石... 通过建立研磨轮和工件的相对运动数学模型 ,得出研磨轮在工件上的切削运动轨迹方程 ,由此得到超精密平面研磨中 ,不同结构参数研磨轮的滑移轨迹长度。引入精度系数的概念 ,用于评价不同结构参数研磨轮对工件的加工效果。采用微粒金刚石研磨轮对单晶硅和压电陶瓷材料进行研磨实验的结果表明 。 展开更多

关键词 结构参数 超精密平面研磨 微粒金刚石 研磨轮 加工精度

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蓝宝石单晶纳米加工技术的研究 被引量：6

12

作者 袁巨龙 崔丽芬 +2 位作者 张如源 河西敏雄 小林昭 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期187-192,共6页

为获得蓝室石单晶的镜面，本研究讨论了抛光过程中化学机械抛光的必备条件，并提出了相应的抛光机理。在新的抛光条件下获得了最终表面粗糙度为２ｎｍ的蓝宝石单晶表面。

关键词 蓝宝石单晶 表面粗糙度 加工技术 化学机械抛光 研磨盘 抛光条件 蓝晶石 界面反应 超精密研磨 抛光盘

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