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题名超精密微动台扰动估计与前馈补偿
被引量：2
- 1
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作者
孙浩博
成荣
杨开明
朱煜
鲁森
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机构
摩擦学国家重点实验室(清华大学)
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出处
《中国电机工程学报》
EI
CSCD
北大核心
2020年第16期5345-5351,共7页
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基金
国家科技重大专项(2017ZX02102004)。
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文摘
在超精密运动控制系统中,对外部扰动的抑制效果是影响其轨迹跟踪精度的关键因素。文中研究对象是一种无接触式的六自由度超精密微动台,其通过重力平衡磁钢平衡自身重量,从而避免垂向电机因电流过大而引起线圈温升过高,但是重力平衡磁钢会与微动台下方的永磁阵列相互作用而产生扰动力。对重力平衡磁钢产生的扰动力进行频谱分析,针对其低频特性,提出一种基于二维拟合的多自由度扰动力估计和前馈补偿方法。仿真和实验表明该方法可以在微动台精确模型未知的情况下,实现对扰动力的估计和补偿,减小六自由度的推力/转矩波动,进而提高超精密微动台的轨迹跟踪精度。
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关键词
超精密微动台
扰动估计
前馈补偿
轨迹跟踪精度
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Keywords
ultra-precision fine stage
disturbance estimation
feedforward compensation
trajectory tracking accuracy
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分类号
TH161
[机械工程—机械制造及自动化]
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题名超精密微动台变磁阻电机建模
被引量：1
- 2
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作者
陈安林
张鸣
朱煜
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机构
摩擦学国家重点实验室(清华大学机械工程系)
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出处
《中国电机工程学报》
EI
CSCD
北大核心
2015年第20期5327-5334,共8页
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基金
国家自然科学基金项目(51175296)
国家科技重大专项资助项目(2009ZX02208)~~
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文摘
文中对超精密微动台变磁阻电机的磁场和推力进行了准确的建模,用于电机的实时控制。分别建立了永磁体和线圈产生的两种磁场单独作用并考虑漏磁的等效磁路模型,同时在动铁心处于不同位置时,通过三维有限元仿真得到每个气隙的漏磁系数来准确的反映漏磁在不同气隙处的三维分布。首先仿真得到动铁心位于x正向特定位置时的漏磁系数,对漏磁系数进行拟合,从而在动铁心位于x正向任意位置时对电机磁场进行建模。然后根据动铁心位于x正向和负向时具有的对称性,得到电机在全行程的磁场模型。最后根据电机的磁场模型和麦克斯韦力公式得到全行程的推力模型。推力模型和有限元仿真结果误差小于6.4%,并通过实验进行了验证。
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关键词
变磁阻电机
超精密微动台
三维漏磁系数
等效磁路
硅片台
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Keywords
variable reluctance actuator （VRA）
ultra-precision microstage
three-dimensional leakage coefficient
magnetic circuit model
wafer stage
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分类号
TM352
[电气工程—电机]
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