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负载对超精密平台性能影响的研究: 1; 作者林海波杨国哲《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2010年第3期35-37,共3页; 对平台整体进行设计,选择压电陶瓷低速电动机为驱动元件,Renishaw敞开式增量光栅作为位置反馈元件,并对平台在空载和负载情况下的性能进行实验和分析,显示负载情况对平台在前进、后退,转向时都有一定的影响,并提出对策,为研究微动工作... 展开更多; 关键词负载平台性能超精密平台压电陶瓷电动机; 在线阅读下载PDF 职称材料

超精密定位平台的测量系统研究被引量：4: 2; 作者王文李欣欣《机电工程》 CAS 2006年第4期13-16,34,共5页; 超精密工作平台已经成为IC和MEMS等行业完成加工、测量工作的基本设备平台。如何提高平台测量系统的精度,从而提高平台的定位精度是目前超精密工作平台所面临的一大难题。对现有的超精密工作平台的基本结构以及常见的精密测量系统进行... 展开更多; 关键词超精密平台测量系统平面编码器; 在线阅读下载PDF 职称材料

超精密隔振平台主动振动控制系统设计被引量：8: 3; 作者浦军梅德庆陈子辰《机械设计》 CSCD 北大核心 2003年第7期31-33,共3页; 建立了超精密隔振平台的结构及动力学模型,设计了一种新型的双向电磁作动器,并采用PID控制算法建立了主动振动控制系统模型,经Matlab软件仿真分析表明,该系统具有良好的隔振效果。; 关键词超精密隔振平台主动振动控制系统设计双向电磁作动器振动控制 PID控制精密加工; 在线阅读下载PDF 职称材料

超精密运动平台主动隔振系统动力学模型理论与实验研究被引量：1: 4; 作者林海波杨国哲《组合机床与自动化加工技术》北大核心 2012年第2期33-36,共4页; 超精密运动平台振动控制系统是一个带不确定非线性系统。搭建了精密运动平台减振系统,设计了一种以空气弹簧为隔振元件,主/被动隔振在主动隔振和被动隔振之间通过开启电源进行切换的系统,分析并构建了系统的动力学模型,并对平台的主动... 展开更多; 关键词直线电机主动隔振超精密运动平台; 在线阅读下载PDF 职称材料

微细电火花三维成型加工控制系统的研究被引量：1: 5; 作者林海波杨国哲《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2009年第11期13-15,共3页; 构造了一个可实现纳米级微量进给的运动平台,并对该平台的控制技术进行了研究,提出了数字PID结合双向静差补偿策略。该补偿策略作为微细电火花加工控制系统的组成部分,大大提高了运动平台的运动精度。实验结果证明此系统运行良好,具有... 展开更多; 关键词压电陶瓷电动机超精密平台双向静差补偿; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名负载对超精密平台性能影响的研究: 1; 作者林海波杨国哲; 机构台州职业技术学院机电工程学院沈阳工业大学机械工程学院; 出处《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2010年第3期35-37,共3页; 基金浙江省教育厅科研项目(Y200806038) 辽宁省教育厅自然科学基金资助项目(20060633) 台州职业技术学院校级课题(2010ZD05); 文摘对平台整体进行设计,选择压电陶瓷低速电动机为驱动元件,Renishaw敞开式增量光栅作为位置反馈元件,并对平台在空载和负载情况下的性能进行实验和分析,显示负载情况对平台在前进、后退,转向时都有一定的影响,并提出对策,为研究微动工作台提供了参考,证实了平台设计的可行性。; 关键词负载平台性能超精密平台压电陶瓷电动机; Keywords Load Stage Performance Ultra-precision Stage Piezoelectric Motor; 分类号 TP311 [自动化与计算机技术—计算机软件与理论] O643.36 [理学—物理化学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超精密定位平台的测量系统研究被引量：4: 2; 作者王文李欣欣; 机构浙江大学现代制造工程研究所; 出处《机电工程》 CAS 2006年第4期13-16,34,共5页; 基金浙江省科技计划国际合作资助项目(2004C24003); 文摘超精密工作平台已经成为IC和MEMS等行业完成加工、测量工作的基本设备平台。如何提高平台测量系统的精度,从而提高平台的定位精度是目前超精密工作平台所面临的一大难题。对现有的超精密工作平台的基本结构以及常见的精密测量系统进行了综合分析,详细介绍了一种新型的测量装置———平面编码器的工作原理。; 关键词超精密平台测量系统平面编码器; Keywords ultra-precision positioner measurement system surface encoder; 分类号 TP274.5 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超精密隔振平台主动振动控制系统设计被引量：8: 3; 作者浦军梅德庆陈子辰; 机构浙江大学现代制造工程研究所; 出处《机械设计》 CSCD 北大核心 2003年第7期31-33,共3页; 基金国家自然科学基金资助项目(50075078); 文摘建立了超精密隔振平台的结构及动力学模型,设计了一种新型的双向电磁作动器,并采用PID控制算法建立了主动振动控制系统模型,经Matlab软件仿真分析表明,该系统具有良好的隔振效果。; 关键词超精密隔振平台主动振动控制系统设计双向电磁作动器振动控制 PID控制精密加工; Keywords ultra-precision vibration isolation platform double direction electromagnetic actuator vibration control PID control; 分类号 TB535.1 [理学—声学] TH161.6 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超精密运动平台主动隔振系统动力学模型理论与实验研究被引量：1: 4; 作者林海波杨国哲; 机构台州职业技术学院机电工程学院台州市机电一体化技术重点实验室沈阳工业大学机械工程学院; 出处《组合机床与自动化加工技术》北大核心 2012年第2期33-36,共4页; 基金浙江省高校优秀青年教师资助计划项目(2010) 台州职业技术学院校级课题(2011ZD08) 浙江教育厅科研项目(Y201122520); 文摘超精密运动平台振动控制系统是一个带不确定非线性系统。搭建了精密运动平台减振系统,设计了一种以空气弹簧为隔振元件,主/被动隔振在主动隔振和被动隔振之间通过开启电源进行切换的系统,分析并构建了系统的动力学模型,并对平台的主动隔振系统进行测试研究。理论分析和实验结果证实了主动隔振系统可行性,有效提高了加工系统的隔振效果,为平台进行高精密加工提供了保证,同时,为主动隔振系统及相关系统动力学研究提供了一种方法。; 关键词直线电机主动隔振超精密运动平台; Keywords linear motor active vibration isolation ultra-precision motion platform; 分类号 TH115 [机械工程—机械设计及理论]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微细电火花三维成型加工控制系统的研究被引量：1: 5; 作者林海波杨国哲; 机构台州职业技术学院机电工程学院沈阳工业大学机械工程学院; 出处《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2009年第11期13-15,共3页; 基金浙江省教育厅科研项目(Y200803309) 辽宁省教育厅自然科学基金资助项目(20060633); 文摘构造了一个可实现纳米级微量进给的运动平台,并对该平台的控制技术进行了研究,提出了数字PID结合双向静差补偿策略。该补偿策略作为微细电火花加工控制系统的组成部分,大大提高了运动平台的运动精度。实验结果证明此系统运行良好,具有响应时间快、平稳超低速和超高分辨率的优点,达到了微细电火花加工的要求。; 关键词压电陶瓷电动机超精密平台双向静差补偿; Keywords Piezoelectric Ceramic Motor Ultra-precision Table Bi-direcitonal Static Compensations; 分类号 TG661 [金属学及工艺—金属切削加工及机床] TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	负载对超精密平台性能影响的研究	林海波杨国哲	《制造技术与机床》 CSCD 北大核心	2010	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	超精密定位平台的测量系统研究	王文李欣欣	《机电工程》 CAS	2006	4	在线阅读下载PDF 职称材料
3	超精密隔振平台主动振动控制系统设计	浦军梅德庆陈子辰	《机械设计》 CSCD 北大核心	2003	8	在线阅读下载PDF 职称材料
4	超精密运动平台主动隔振系统动力学模型理论与实验研究	林海波杨国哲	《组合机床与自动化加工技术》北大核心	2012	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	微细电火花三维成型加工控制系统的研究	林海波杨国哲	《制造技术与机床》 CSCD 北大核心	2009	1	在线阅读下载PDF 职称材料