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超精密工作台运动轨迹规划被引量：10: 1; 作者贾松涛朱煜 +2 位作者尹文生李恒聂洪玮《组合机床与自动化加工技术》 2007年第10期14-16,21,共4页; 文章详细讨论了现有的各种S形轨迹规划方法,在综合比较各种设计方法优缺点的基础上,采用最小冲击准则,并结合超精密加工领域轨迹运动特点,提出了一种新的S形轨迹优化设计方法。并基于粗精动结合的单自由度精密工作台,对所设计的轨迹进... 展开更多; 关键词超精密工作台高速高加速轨迹规划 S形轨迹; 在线阅读下载PDF 职称材料

大行程纳米级分辨率超精密工作台的发展方向被引量：10: 2; 作者张晓峰林彬《南京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第B11期179-183,共5页; 讨论了大行程纳米级分辨率超精密工作台设计中的关键技术,介绍了目前国内外典型的大行程超精密工作台所采用的设计方案、材料、导轨、驱动方式、测量反馈及控制系统。分析比较后得出:利用石英陶瓷材料、气浮导轨、直线电机非接触驱动、... 展开更多; 关键词超精密工作台纳米级分辨率大行程; 在线阅读下载PDF 职称材料

超精密工作台控制方案的优化选择被引量：1: 3; 作者尹东星林彬张晓峰《现代制造工程》 CSCD 2007年第1期124-127,52,共5页; 采用直线电动机加气浮导轨模式搭建大行程纳米级分辨率的超精密工作台,并建立超精密工作台进给系统的数学模型。通过计算机仿真分别分析单位反馈PID控制、带加速度前馈的PID控制、位置速度双环反馈和Sm ith预估控制等控制模式在不同材... 展开更多; 关键词超精密工作台 PID控制双环反馈层次分析法; 在线阅读下载PDF 职称材料

超精密工作台的模糊PID复合控制研究被引量：1: 4; 作者李平刘小平高红红《机械设计与制造》北大核心 2009年第6期198-199,共2页; 超精密工作台伺服系统因其存在参数时变、负载扰动以及非线性等特点,很难为其建立准确的模型。模糊(fuzzy)控制具有无需建立被控对象的数学模型、鲁棒性好等优点,但稳态精度差。将模糊控制和PID控制相结合,综合了模糊控制和PID控制的优... 展开更多; 关键词模糊控制超精密工作台Matlab PID控制器; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超精密工作台运动轨迹规划被引量：10: 1; 作者贾松涛朱煜尹文生李恒聂洪玮; 机构清华大学精密仪器与机械学系; 出处《组合机床与自动化加工技术》 2007年第10期14-16,21,共4页; 基金国家"九七三"重点基础研究项目(2004CB318007); 文摘文章详细讨论了现有的各种S形轨迹规划方法,在综合比较各种设计方法优缺点的基础上,采用最小冲击准则,并结合超精密加工领域轨迹运动特点,提出了一种新的S形轨迹优化设计方法。并基于粗精动结合的单自由度精密工作台,对所设计的轨迹进行了实验验证。实验结果表明该方法能够满足超精密加工领域中高速高加速运动轨迹设计的要求,有效的提高了系统的抗扰动性能,改善了工作台的轨迹跟踪精度,提高了工作台的定位精度和效率。; 关键词超精密工作台高速高加速轨迹规划 S形轨迹; Keywords ultra-precision stages high speed and high acceleration trajectory planning S-curve; 分类号 TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名大行程纳米级分辨率超精密工作台的发展方向被引量：10: 2; 作者张晓峰林彬; 机构天津大学先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室; 出处《南京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第B11期179-183,共5页; 文摘讨论了大行程纳米级分辨率超精密工作台设计中的关键技术,介绍了目前国内外典型的大行程超精密工作台所采用的设计方案、材料、导轨、驱动方式、测量反馈及控制系统。分析比较后得出:利用石英陶瓷材料、气浮导轨、直线电机非接触驱动、纳米光栅尺测量反馈和开放式数控系统等技术来组建大行程纳米级分辨率超精密工作台是比较理想的方案。; 关键词超精密工作台纳米级分辨率大行程; Keywords ultraprecision stage nanometer resolution large travel; 分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超精密工作台控制方案的优化选择被引量：1: 3; 作者尹东星林彬张晓峰; 机构天津大学机械学院先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室; 出处《现代制造工程》 CSCD 2007年第1期124-127,52,共5页; 文摘采用直线电动机加气浮导轨模式搭建大行程纳米级分辨率的超精密工作台,并建立超精密工作台进给系统的数学模型。通过计算机仿真分别分析单位反馈PID控制、带加速度前馈的PID控制、位置速度双环反馈和Sm ith预估控制等控制模式在不同材料做导轨时的控制指标。在控制系统选择上采用层次分析法建立综合评价体系,通过分析、计算、比较,确定位置环、速度环的双环反馈控制为本工作台最佳控制方案。; 关键词超精密工作台 PID控制双环反馈层次分析法; Keywords Uhraprecision stage PID control Dual loop feedback Analytical hierarchy process; 分类号 TH16 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超精密工作台的模糊PID复合控制研究被引量：1: 4; 作者李平刘小平高红红; 机构西安工业大学机电工程学院; 出处《机械设计与制造》北大核心 2009年第6期198-199,共2页; 基金陕西省教育厅重点科研计划项目(00JK176); 文摘超精密工作台伺服系统因其存在参数时变、负载扰动以及非线性等特点,很难为其建立准确的模型。模糊(fuzzy)控制具有无需建立被控对象的数学模型、鲁棒性好等优点,但稳态精度差。将模糊控制和PID控制相结合,综合了模糊控制和PID控制的优点,克服了各自的缺点。通过Matlab建模、仿真及与PID控制的比较表明,模糊PID控制的动静态特性优于传统单一的PID控制。; 关键词模糊控制超精密工作台Matlab PID控制器; Keywords Fuzzy control Ultra-precision worktable Matlab PID controller; 分类号 TH16 [机械工程—机械制造及自动化] TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料