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大口径光学元件微纳加工与检测技术研究与应用
被引量：
2
1
作者
郭隐彪
王振忠
+2 位作者
彭云峰
杨炜
毕果
《厦门大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期286-292,共7页
超精密金刚石砂轮磨削是大口径先进光学元件微纳加工的主要技术,是实现确定性批量加工的重要保证.以实现高精度、高效率、高自动化程度加工为目的,阐述了大口径光学元件微纳加工与检测的加工技术系统,详细分析高精度加工设备及工艺控制...
超精密金刚石砂轮磨削是大口径先进光学元件微纳加工的主要技术,是实现确定性批量加工的重要保证.以实现高精度、高效率、高自动化程度加工为目的,阐述了大口径光学元件微纳加工与检测的加工技术系统,详细分析高精度加工设备及工艺控制、大尺寸检测、加工环境监控、快速抛光、表面织构化等研究应用情况.
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关键词
微纳米
加工
检测
超精密加工装备
快速抛光
加工
监控
表面织构化
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职称材料
题名
大口径光学元件微纳加工与检测技术研究与应用
被引量：
2
1
作者
郭隐彪
王振忠
彭云峰
杨炜
毕果
机构
厦门大学物理与机电工程学院
出处
《厦门大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期286-292,共7页
基金
国家高技术研究发展计划(863)重点项目(2008AA042501)
国家自然科学基金项目(51075343,50905150)
+1 种基金
福建省科技重大专项(2006HZ0002-4)
福建省自然科学基金资助项目(2010J05122)
文摘
超精密金刚石砂轮磨削是大口径先进光学元件微纳加工的主要技术,是实现确定性批量加工的重要保证.以实现高精度、高效率、高自动化程度加工为目的,阐述了大口径光学元件微纳加工与检测的加工技术系统,详细分析高精度加工设备及工艺控制、大尺寸检测、加工环境监控、快速抛光、表面织构化等研究应用情况.
关键词
微纳米
加工
检测
超精密加工装备
快速抛光
加工
监控
表面织构化
Keywords
micro/nano machining
measuring
ultra-precision machine tool
fast polishing
machining monitoring
textured surface fabricating
分类号
TG58 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
大口径光学元件微纳加工与检测技术研究与应用
郭隐彪
王振忠
彭云峰
杨炜
毕果
《厦门大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2011
2
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