期刊文献+
共找到330篇文章
< 1 2 17 >
每页显示 20 50 100
四轴超精密加工机床静动态特性分析 被引量:1
1
作者 邓翠 吴东旭 +3 位作者 王玉伟 索奇 朱生根 李云飞 《制造技术与机床》 北大核心 2025年第4期20-27,共8页
针对高端光学元件高效高表面质量的超精密加工需求,设计研发了一台四轴(XZBC)超精密加工机床。为验证机床设计性能,通过Ansys Workbench建立机床整机及关键功能部件有限元模型,并依次进行静力学、模态及谐响应仿真分析。获得了基于工况... 针对高端光学元件高效高表面质量的超精密加工需求,设计研发了一台四轴(XZBC)超精密加工机床。为验证机床设计性能,通过Ansys Workbench建立机床整机及关键功能部件有限元模型,并依次进行静力学、模态及谐响应仿真分析。获得了基于工况模态分析下机床整机、液体静压导轨及主轴的前6阶固有频率和模态振型,其中整机基础频率、液体静压导轨单元基础频率、主轴单元基础频率分别为102.24、0、5.76 Hz。为进一步掌握主轴核心关键部件的实际响应,在模态分析的基础上利用模态叠加法对主轴单元进行谐响应分析,主轴单元的共振敏感频率为288、294、387、405、414 Hz,变形位移在0.02μm以内。通过各频域范围的位移及应变响应曲线,获取敏感频率及相应位移响应,验证了实际工况下整机及关键功能部件结构设计的合理性,为超精密机床的结构优化奠定理论基础。 展开更多
关键词 超精密加工 模态分析 谐响应分析 静动态特性 Ansys Workbench
在线阅读 下载PDF
周期性载荷对超精密加工中磷锗锌晶体力学特性的影响
2
作者 徐康 段方 +2 位作者 李东亚 姜志伟 刘禹 《材料科学与工艺》 北大核心 2025年第2期19-26,共8页
磷锗锌(ZGP)是一种综合性能优异的非线性中红外光学硬脆晶体材料,为了获得高质量的加工表面,需要研究其在循环接触载荷下的力学特性变化。本文首先采用纳米压痕实验研究了ZGP晶体在单/周期载荷-卸载下的机械力学特性变化,并依据该力学... 磷锗锌(ZGP)是一种综合性能优异的非线性中红外光学硬脆晶体材料,为了获得高质量的加工表面,需要研究其在循环接触载荷下的力学特性变化。本文首先采用纳米压痕实验研究了ZGP晶体在单/周期载荷-卸载下的机械力学特性变化,并依据该力学特性结果指导加工参数,在五轴单点金刚石机床上进行了加工实验,利用白光干涉仪分析了样件的表面加工质量。纳米压痕实验结果表明:ZGP晶体在周期载荷下的显微硬度比单载荷提高了约4%,弹性模量提高了约6%,临界载荷提高了约6%;同时根据结果分析可得ZGP晶体的断裂韧度提高了约15%,同时脆塑转变临界切削深度提高了约27%。此外,载荷-位移曲线表明,ZGP晶体在周期载荷下,随着实验载荷的增大后续加载周期在最大载荷下的位移会逐渐右移,即出现增大现象。在临界断裂载荷附近材料发生了突起(Pop-in),即发生了断裂,同时出现弯头(Elbow),即发生了弹性恢复和体积膨胀现象。依据纳米压痕实验得出的临界切削深度参数,进行超精密加工实验,获得了粗糙度Ra为0.5039 nm,Sa为2.368 nm的超光滑表面。周期循环载荷可以提高ZGP晶体的部分力学性能,在周期动态加工中应予以考虑。 展开更多
关键词 磷锗锌晶体 周期载荷 纳米压痕 力学特性 超精密加工
在线阅读 下载PDF
铌酸锂晶体超精密加工技术研究进展 被引量:1
3
作者 田业冰 魏成伟 +1 位作者 宋晓梅 钱乘 《金刚石与磨料磨具工程》 北大核心 2024年第6期695-724,F0003,共31页
铌酸锂(LiNbO_(3))晶体光电特性优异,是制造光学调制器、频率倍增器、滤波器等光电子器件的首选材料,在5G无线通信、微纳/集成光子学和人工智能等前沿领域具有巨大应用价值。然而,铌酸锂晶体硬度低、脆性大、各向异性强,大尺寸高品质晶... 铌酸锂(LiNbO_(3))晶体光电特性优异,是制造光学调制器、频率倍增器、滤波器等光电子器件的首选材料,在5G无线通信、微纳/集成光子学和人工智能等前沿领域具有巨大应用价值。然而,铌酸锂晶体硬度低、脆性大、各向异性强,大尺寸高品质晶体的制备方法及其高效高质低/无损伤的超精密加工技术是实现铌酸锂晶体器件广泛应用的重要瓶颈。本文主要介绍超精密加工铌酸锂晶体过程中表面/亚表面损伤的产生机理与演变规律,以及减薄、研磨、抛光、超构表面制备等方面的研究进展。分析铌酸锂加工过程中易出现划痕、裂纹和磨料嵌入的原因,以及目前常用铌酸锂晶体超精密加工方法的特点及局限性,提出未来实现大尺寸铌酸锂高效率高表面质量加工的新技术。研究表明:离子切片和磨削能有效实现铌酸锂晶体减薄,研磨和化学机械抛光是常用的铌酸锂晶体表面超精密加工技术,刻蚀、激光烧蚀、聚焦离子束等技术是制备高质量铌酸锂超构表面的微纳加工技术。同时,高剪低压磨削、磁性剪切增稠抛光等新技术在实现铌酸锂晶体表面高效高质加工方面具有极大潜力,但铌酸锂晶体材料去除机理、弹-塑-脆加工临界条件和表面质量控制等问题还亟待系统研究。 展开更多
关键词 铌酸锂 超精密加工 表面/亚表面损伤 高剪低压磨削 化学机械抛光 磁性剪切增稠抛光
在线阅读 下载PDF
自由曲面光学的超精密加工技术及其应用 被引量:26
4
作者 李荣彬 张志辉 +2 位作者 杜雪 孔令豹 蒋金波 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2010年第1期110-115,共6页
突破传统光学成像系统设计理论和方法,将自由曲面引入光学成像系统中,极大地提高了系统的成像质量和能量的传输效率;采用先进数控超精密制造技术加工自由曲面光学元件,解决了自由曲面光学元件加工的技术瓶颈。开发了自由曲面控制网格的... 突破传统光学成像系统设计理论和方法,将自由曲面引入光学成像系统中,极大地提高了系统的成像质量和能量的传输效率;采用先进数控超精密制造技术加工自由曲面光学元件,解决了自由曲面光学元件加工的技术瓶颈。开发了自由曲面控制网格的节点矢量的精确计算方法,以及多轴超精密数控加工光学自由曲面的自动编程及其刀具轨迹仿真系统,建立了自由曲面三维拓扑预测模型与优化系统,研发了多个自由曲面测量及评估方法,并搭建了自由曲面光学设计、加工、测试一体化的集成平台。上述核心技术有助解决国际上对复杂自由曲面光学元件在超精密加工及纳米级表面测量中的关键技术难题。研究成果推动了超精密加工及纳米测量领域内的技术进步。 展开更多
关键词 光学自由曲面 超精密加工 曲面测量 光学设计 集成系统
在线阅读 下载PDF
航天铝基复合材料零部件超精密加工技术研究 被引量:19
5
作者 王大镇 冯培锋 +1 位作者 赵清亮 刘华明 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期1341-1346,共6页
针对航天高碳化硅铝基复合材料零部件采用聚晶金刚石PCD刀具进行了超精密车削加工试验,用原子力显微镜AFM和扫描电子显微镜对其进行了检测,分析了零部件表面粗糙度值的大小及影响因素、SiCw变形破坏机理、已加工表面微观结构及加工变质... 针对航天高碳化硅铝基复合材料零部件采用聚晶金刚石PCD刀具进行了超精密车削加工试验,用原子力显微镜AFM和扫描电子显微镜对其进行了检测,分析了零部件表面粗糙度值的大小及影响因素、SiCw变形破坏机理、已加工表面微观结构及加工变质层特性。结果表明,超精密车削高碳化硅铝基复合材料零部件可以获得超精密级加工表面(如Ra11.5nm);超精密车削过程中SiCw存在着三种主要变形破坏机理:直接剪断型、拔出型和压入型,且以直接剪断型为主。直接剪断的SiCw对表面粗糙度值影响最小,而后二者是影响表面粗糙度值达到超精密级的主要障碍;超精密加工零部件表面仍会产生很薄的加工变质层。 展开更多
关键词 铝基复合材料 超精密加工 表面粗糙度 微观形貌 加工变质层
在线阅读 下载PDF
精密加工和超精密加工技术综述 被引量:26
6
作者 王先逵 吴丹 刘成颖 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第5期570-576,共7页
论述了精密加工和超精密加工技术的范畴、加工方法、系统结构及其在先进制造技术中的作用和地位;分析了21世纪初期对它的需求和技术发展趋势,并提出了相应的技术发展前沿,归总了技术发展特点。
关键词 精密加工 超精密加工 先进制造技术 机械制造
在线阅读 下载PDF
高端光学元件超精密加工技术与装备发展研究 被引量:13
7
作者 蒋庄德 李常胜 +5 位作者 孙林 段端志 康城玮 陈杉杉 林启敬 杨树明 《中国工程科学》 CSCD 北大核心 2023年第1期131-141,共11页
高端光学元件是决定高端装备性能水平的核心零件,研究高端光学元件超精密加工技术与装备发展,对于实施制造强国战略、满足高端装备产业需求具有积极意义。本文剖析了光学元件超精密加工方法与装备、高性能基础部件、超精密光学加工中的... 高端光学元件是决定高端装备性能水平的核心零件,研究高端光学元件超精密加工技术与装备发展,对于实施制造强国战略、满足高端装备产业需求具有积极意义。本文剖析了光学元件超精密加工方法与装备、高性能基础部件、超精密光学加工中的测量方法与装备等的发展情况,凝练了精度与尺寸极端化、形状与性能一体化、加工工艺复合化、加工与检测一体化、装备与工艺智能化等发展趋势。通过广泛的行业调研和研讨,从需求、目标、产品、关键技术、应用示范、支撑保障等方面着手,形成了面向2035年我国高端光学元件超精密制造技术路线图。针对性提出了优化创新体系设置、组织优势资源成立技术联盟,加大资源保障力度、布局基础研究和技术攻关计划,加强人才培育、构建梯队并扩大队伍规模,筑牢产业发展基础、培育龙头企业和专精特新“小巨人”企业等发展建议,以期促进高端光学元件加工产业提升与高质量发展。 展开更多
关键词 光学元件 精密制造 精密机床 超精密加工 光学加工
在线阅读 下载PDF
现代超精密加工技术的概况及应用 被引量:26
8
作者 周志斌 肖沙里 +1 位作者 周宴 汪科 《现代制造工程》 CSCD 2005年第1期121-123,共3页
对现代超精密加工技术的发展现状、地位以及在相关领域的应用进行了论述。并对超精密加工设备以及误差补 偿技术方面也作了阐述。
关键词 超精密加工 精度 机床 纳米
在线阅读 下载PDF
脆性材料塑性域超精密加工的研究现状 被引量:16
9
作者 赵奕 周明 +1 位作者 董申 李旦 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 1999年第4期59-62,47,共5页
对脆性材料塑性域超精密加工的研究现状进行了全面的总结。
关键词 脆性材料 超精密加工 塑性域加工 现状
在线阅读 下载PDF
分子动力学仿真技术在超精密加工领域中的应用 被引量:10
10
作者 于思远 林滨 +1 位作者 韩雪松 林彬 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期22-25,共4页
分子动力学仿真在超精密及微细加工中的作用已显示出良好的前景 ,较系统地描述了分子动力学中采用的势函数 ,仿真过程中的切屑形成、切削力、切削温度及表面质量 ,仿真算法与边界条件等内容 ;并结合实际分析了仿真图形的物理意义。最后... 分子动力学仿真在超精密及微细加工中的作用已显示出良好的前景 ,较系统地描述了分子动力学中采用的势函数 ,仿真过程中的切屑形成、切削力、切削温度及表面质量 ,仿真算法与边界条件等内容 ;并结合实际分析了仿真图形的物理意义。最后指出了存在的问题和改进措施。 展开更多
关键词 分子动力学 仿真 超精密加工 微细加工
在线阅读 下载PDF
磷酸二氢钾晶体超精密加工存在的若干问题分析 被引量:13
11
作者 王洪祥 王景贺 +1 位作者 孙涛 张龙江 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期911-915,共5页
磷酸二氢钾(KDP)晶体作为优质的非线性光学材料,在现代光学领域应用越来越广泛,常用作光学频率转换器件和电光开关元件。KDP晶体具有质软、脆性高和易潮解等不利于光学加工的特点。在国家点火装置(NIF)的研究中,经常采用单点金刚石切削(... 磷酸二氢钾(KDP)晶体作为优质的非线性光学材料,在现代光学领域应用越来越广泛,常用作光学频率转换器件和电光开关元件。KDP晶体具有质软、脆性高和易潮解等不利于光学加工的特点。在国家点火装置(NIF)的研究中,经常采用单点金刚石切削(SPDT)加工KDP晶体以获得超光滑表面。采用单点金刚石切削加工具有强烈各向异性KDP晶体时,选用的背吃刀量和进给量非常小,这时发现切削行为、微切削力的波动和近表层力学性能都随晶体的切削方向的变化而变化。但到目前为止,在文献中很难找到一些关于KDP晶体超精密加工方面的有价值参考数据。着重介绍KDP晶体超精密加工技术的近期发展状况,详细分析KDP晶体超精密加工中存在的若干问题。 展开更多
关键词 机械制造工艺与设备 表面质量 超精密加工 单点金刚石切削 光学表面
在线阅读 下载PDF
超精密加工机床及其新技术发展 被引量:18
12
作者 李圣怡 戴一帆 彭小强 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 2000年第2期95-100,共6页
介绍了超精密加工技术、应用背景、发展动向以及超精密加工关键技术的一些最新成果。从超精密加工技术推广应用的角度阐述了其精度目标、模块化、廉价化发展趋势 ,同时就如何发展超精密加工技术全面介绍了目前机床模块化部件、传动系统... 介绍了超精密加工技术、应用背景、发展动向以及超精密加工关键技术的一些最新成果。从超精密加工技术推广应用的角度阐述了其精度目标、模块化、廉价化发展趋势 ,同时就如何发展超精密加工技术全面介绍了目前机床模块化部件、传动系统、检测环节、数控系统和环境控制等领域的最新研究水平和成果。 展开更多
关键词 超精密加工 机床 误差检测 精密车床
在线阅读 下载PDF
光学自由曲面的超精密加工技术及应用 被引量:13
13
作者 李荣彬 杜雪 +2 位作者 张志辉 高栋 赵伟明 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2004年第1期17-19,共3页
光学自由曲面是指非对称性、不规则、不适合用统一的光学方程式来描述的光学曲面。自由曲面光学元件在光电产品及光通讯产品中的应用日益广泛。采用多轴超精密金刚石机床加工光学自由曲面 ,可达到亚微米级形状精度和纳米级表面粗糙的高... 光学自由曲面是指非对称性、不规则、不适合用统一的光学方程式来描述的光学曲面。自由曲面光学元件在光电产品及光通讯产品中的应用日益广泛。采用多轴超精密金刚石机床加工光学自由曲面 ,可达到亚微米级形状精度和纳米级表面粗糙的高精度水平。文章介绍了光学自由曲面的超精密加工技术及其在光电产品领域的应用 。 展开更多
关键词 超精密加工 光学自由曲面 刀具轨迹生成器 光电产品 光通讯产品 金刚石机床
在线阅读 下载PDF
超精密加工的三维表面形貌预测 被引量:20
14
作者 李荣彬 张志辉 李建广 《中国机械工程》 CAS CSCD 北大核心 2000年第8期845-848,共4页
描述并建立了仿真超精密加工的三维表面形貌模型。三维表面形貌模型由切削参数、刀具几何形状及刀具与工件的相对运动来表征 ,通过将预测的表面粗糙度轮廓线性映射到网格面元上来生成已加工表面的形貌。实际的加工和测量实验表明 ,仿真... 描述并建立了仿真超精密加工的三维表面形貌模型。三维表面形貌模型由切削参数、刀具几何形状及刀具与工件的相对运动来表征 ,通过将预测的表面粗糙度轮廓线性映射到网格面元上来生成已加工表面的形貌。实际的加工和测量实验表明 ,仿真的三维表面形貌和由激光干涉形貌仪测量得到的三维形貌具有很好的相似性。该模型可用来确定如刀具切削运动的迹线、表面波度等表面特征。 展开更多
关键词 建模 仿真 超精密加工 三维表面形貌预测
在线阅读 下载PDF
KDP晶体光学零件超精密加工技术研究的新进展 被引量:23
15
作者 王景贺 陈明君 +1 位作者 董申 尚元江 《工具技术》 北大核心 2004年第9期56-59,共4页
KDP晶体作为优质的非线性光学材料 ,被广泛的应用于激光非线性光学领域。由于大型KDP晶体具有一系列不利于光学加工的特点 ,因此被公认为是最难加工的光学零件。本文概述了KDP晶体超精密磨削和磁流变抛光的加工方法 ,阐述了KDP晶体光学... KDP晶体作为优质的非线性光学材料 ,被广泛的应用于激光非线性光学领域。由于大型KDP晶体具有一系列不利于光学加工的特点 ,因此被公认为是最难加工的光学零件。本文概述了KDP晶体超精密磨削和磁流变抛光的加工方法 ,阐述了KDP晶体光学零件单点金刚石加工技术的研究现状 ,并详细地分析了单点金刚石切削加工时机床精度、加工工艺参数、装夹变形、晶格方向变化、金刚石刀具几何参数、冷却液等对加工表面质量 (平面度、表面粗糙度、小尺度波纹等 ) 展开更多
关键词 精密磨削 加工表面质量 光学零件 装夹 超精密加工技术 金刚石刀具 机床精度 光学加工 金刚石切削 磁流变抛光
在线阅读 下载PDF
超精密加工表面特性的功率谱密度表征与分析 被引量:9
16
作者 于光 李鹏 +4 位作者 赵清亮 姚俊 黄海涛 刘宪芳 张伟 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期29-32,共4页
为了了解加工方法和参数对加工表面特性PSD表征结果的影响规律,采用功率谱密度方法(PSD)对超精密磨削加工表面进行了表征与分析.应用Dimension 3100原子力显微镜对超精密加工表面进行测量,得到三维微观形貌和数据,以空间波长为横坐标,... 为了了解加工方法和参数对加工表面特性PSD表征结果的影响规律,采用功率谱密度方法(PSD)对超精密磨削加工表面进行了表征与分析.应用Dimension 3100原子力显微镜对超精密加工表面进行测量,得到三维微观形貌和数据,以空间波长为横坐标,功率谱密度为纵坐标输出PSD图像,简单直观地分析了加工表面空间波长分布及不同波长在表面所占的比重,对比分析了加工方法和参数对PSD表征结果特征的影响.实验结果表明,超精密加工表面PSD图像的主导频率、波长分布特点以及各波长的PSD值大小等参数不仅可以同时体现横向尺寸及高度尺寸特性,而且能够得到表面误差的空间频率分布和方向特性信息. 展开更多
关键词 超精密加工 表征 功率谱密度
在线阅读 下载PDF
ELID磨削技术在硬脆材料精密超精密加工中的应用 被引量:9
17
作者 关佳亮 范晋伟 马春敏 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期486-488,共3页
介绍了ELID磨削技术的基本原理,分析了ELID技术磨削硬脆材料的加工机理,并应用该技术对硬质合金、工程陶瓷和光学玻璃等典型硬脆材料实现了超精密镜面加工.磨后工件达到Ra为0.003~0.018的镜面.
关键词 ELID磨削 硬脆材料 加工机理 精密镜面加工 磨削原理 精密超精密加工
在线阅读 下载PDF
铝基复合材料超精密加工中的刀-屑摩擦磨损性能及模型研究 被引量:10
18
作者 王大镇 韩荣第 +1 位作者 刘华明 赵清亮 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期569-573,共5页
通过金刚石PCD刀具对非连续SiC增强铝基复合材料的超精密车削加工试验,考察了刀具第二切削变形区(刀具前刀面-切屑间)的摩擦磨损性能,并提出了相应的模型;采用爆炸式快速落刀装置制备出切屑根并分析了积屑瘤的影响因素;采用原子力显微镜... 通过金刚石PCD刀具对非连续SiC增强铝基复合材料的超精密车削加工试验,考察了刀具第二切削变形区(刀具前刀面-切屑间)的摩擦磨损性能,并提出了相应的模型;采用爆炸式快速落刀装置制备出切屑根并分析了积屑瘤的影响因素;采用原子力显微镜对PCD刀具的刃口磨损形貌进行观察,并分析其磨损机理.结果表明:在超精密切削加工非连续增强铝基复合材料的过程中,前刀面仍然有极小的楔型积屑瘤产生;铝基复合材料的摩擦磨损性能明显优于铝合金,且当SiC增强相达到最佳体积分数(20%~25%)时,其摩擦磨损性能最佳;从刀具的耐磨性角度考虑,在超精密加工非连续增强铝基复合材料时适宜采用金刚石刀具. 展开更多
关键词 铝基复合材料 超精密加工 第二变形区 摩擦磨损性能
在线阅读 下载PDF
晶片材料的超精密加工技术现状 被引量:10
19
作者 魏昕 杜宏伟 +1 位作者 袁慧 解振华 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2004年第3期75-79,共5页
文章介绍了晶片材料的超精密加工设备以及几种典型晶片材料加工工艺的最新发展 ,综述了几种典型超精密加工设备的特点以及单晶硅片、石英晶体、K9玻璃、钽酸锂单晶材料的加工工艺方法 ,探讨了晶片材料的超精密加工技术的发展趋势。
关键词 晶片材料 超精密加工 加工工艺 抛光 光电子元件
在线阅读 下载PDF
超精密加工的关键技术及发展趋势 被引量:11
20
作者 刘家豪 傅建中 陈子辰 《机电工程》 CAS 2001年第5期19-21,共3页
论述了超精密加工技术的范畴,进一步探讨了提高超精密加工精度的关键技术问题。最后对超精密加工发展趋势作了展望。
关键词 超精密加工 加工精度 机床 机械加工 轴承
在线阅读 下载PDF
上一页 1 2 17 下一页 到第
使用帮助 返回顶部