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纳米定位技术的发展现状
被引量：
5
1
作者
卢礼华
白清顺
梁迎春
《工具技术》
北大核心
2007年第11期10-12,共3页
超精密位置控制技术是超精密加工和测量的基础。通过对现有几种具有纳米分辨率的驱动系统进行比较,分析了各种定位系统的特点,展望了纳米定位技术的发展方向。
关键词
纳米定位
技术
驱动系统
发展现状
超精密位置控制技术
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职称材料
题名
纳米定位技术的发展现状
被引量：
5
1
作者
卢礼华
白清顺
梁迎春
机构
哈尔滨工业大学精密工程研究所
哈尔滨工业大学
出处
《工具技术》
北大核心
2007年第11期10-12,共3页
文摘
超精密位置控制技术是超精密加工和测量的基础。通过对现有几种具有纳米分辨率的驱动系统进行比较,分析了各种定位系统的特点,展望了纳米定位技术的发展方向。
关键词
纳米定位
技术
驱动系统
发展现状
超精密位置控制技术
Keywords
nanometer positioning, driven system
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
在线阅读
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
纳米定位技术的发展现状
卢礼华
白清顺
梁迎春
《工具技术》
北大核心
2007
5
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