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超精密二维测量定位系统评定及误差分析
被引量：
5
1
作者
沈小燕
林杰俊
+2 位作者
李加福
尹建龙
李东升
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2013年第6期131-134,共4页
超精密测量定位是实现现代超精密加工的重要环节。以宏微结合式的超精密二维定位平台为基础,组建了基于光谱共焦位移传感器的超精密二维测量定位系统,介绍了该系统的组成与功能实现方法。利用高等级量块对系统进行二维校准,再将该系统...
超精密测量定位是实现现代超精密加工的重要环节。以宏微结合式的超精密二维定位平台为基础,组建了基于光谱共焦位移传感器的超精密二维测量定位系统,介绍了该系统的组成与功能实现方法。利用高等级量块对系统进行二维校准,再将该系统应用于二维尺寸的测量,分析了测量误差,并进行了测量不确定度的评定,试验获得该测量系统X、Y方向的测量不确定度分别为89 nm和87 nm.研究表明该超精密二维测量定位系统初步达到了纳米级测量效果。
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关键词
超精密二维测量
光谱共焦传感器
误差分析
不确定度评定
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职称材料
题名
超精密二维测量定位系统评定及误差分析
被引量：
5
1
作者
沈小燕
林杰俊
李加福
尹建龙
李东升
机构
中国计量学院计量测试工程学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2013年第6期131-134,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(51075378)
文摘
超精密测量定位是实现现代超精密加工的重要环节。以宏微结合式的超精密二维定位平台为基础,组建了基于光谱共焦位移传感器的超精密二维测量定位系统,介绍了该系统的组成与功能实现方法。利用高等级量块对系统进行二维校准,再将该系统应用于二维尺寸的测量,分析了测量误差,并进行了测量不确定度的评定,试验获得该测量系统X、Y方向的测量不确定度分别为89 nm和87 nm.研究表明该超精密二维测量定位系统初步达到了纳米级测量效果。
关键词
超精密二维测量
光谱共焦传感器
误差分析
不确定度评定
Keywords
ultra-precision measuring and positioning
confocal chromatic displacement sensor
error analysis
evaluation of uncertainty
分类号
TH89 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超精密二维测量定位系统评定及误差分析
沈小燕
林杰俊
李加福
尹建龙
李东升
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2013
5
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