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超晶格涂层的制备、结构及性能研究进展
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作者 丁扬 何涛 +3 位作者 杜向阳 ALEXEY Vereschaka 李健 陈康 《塑性工程学报》 北大核心 2025年第3期23-32,共10页
系统综述了超晶格涂层技术的研究进展,聚焦于制备工艺-结构-性能-应用的多因素耦合机制研究。概述了超晶格涂层的组合方式与特点,磁控溅射、多弧离子镀等制备工艺对超晶格涂层微观结构及性能的调控机制;重点讨论了超晶格涂层的调制周期... 系统综述了超晶格涂层技术的研究进展,聚焦于制备工艺-结构-性能-应用的多因素耦合机制研究。概述了超晶格涂层的组合方式与特点,磁控溅射、多弧离子镀等制备工艺对超晶格涂层微观结构及性能的调控机制;重点讨论了超晶格涂层的调制周期、界面结构、单层厚度3大微观结构参数对超晶格涂层力学性能、耐腐蚀性、热稳定性、抗氧化性及电磁学和光学等性能的影响规律及作用机制;介绍了超晶格涂层在刀具、传感器以及热电材料等领域的应用现状,并从成分结构设计、计算建模、性能协同优化机制等方面对超晶格涂层的未来发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 超晶格涂层 制备工艺 微观结构 性能特征
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氮气分压对AlCrTiSiN超晶格涂层微观结构及力学性能的影响 被引量:11
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作者 牛宝林 陈汪林 +1 位作者 刘书媛 张世宏 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期45-52,共8页
超晶格涂层因具有优异的力学性能及抗氧化性能在刀具涂层工业中备受关注。采用多弧离子镀技术在高速钢表面制备了AlCrTiSiN涂层,研究了氮气分压对AlCrTiSiN涂层微观结构及力学性能的影响。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和... 超晶格涂层因具有优异的力学性能及抗氧化性能在刀具涂层工业中备受关注。采用多弧离子镀技术在高速钢表面制备了AlCrTiSiN涂层,研究了氮气分压对AlCrTiSiN涂层微观结构及力学性能的影响。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜研究了AlCrTiSiN涂层的微观结构;利用纳米压痕仪、划痕仪和磨损仪研究了AlCrTiSiN涂层的力学性能。结果表明:不同氮气分压的AlCrTiSiN涂层均由(Cr,Al)N相、(Ti,Al)N相和(Cr,Al)2N相以及非晶态的Si相和Si3N4相组成。与氮气分压为4Pa的涂层相比,氮气分压为2或3Pa的涂层具有更高的硬度、抗载荷能力和涂层-基体结合强度,以及更低的摩擦因数及磨损率。此外,45钢和铸铁切削试验表明:AlCrTiSiN涂层刀具较AlCrN涂层刀具有更好的切削性能,无涂层刀具具有最差的切削性能。 展开更多
关键词 多弧离子镀 超晶格涂层 AlCrTiSiN 微观组织 力学性能
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超硬涂层研究进展 被引量:3
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作者 张同俊 王辉 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期32-33,34,共3页
概述了超硬涂层研究的发展,对当前的研究动向作了介绍和分析。
关键词 超硬涂层 超晶格涂层 伪同晶生长 CVD PVD
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