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微机电系统(MEMS)促进测量学发展
被引量：
6
1
作者
黄俊钦
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期107-110,共4页
本文从纳米、超微角位移测量 ,及力学、声学、医学测量诸方面说明 MEMS促进测量学的发展。通过所举范例 ,可以看出MEMS在各方面促进测量学发展及其深远的科学意义。其中超微角位移测量的构想以往资料未见 。
关键词
微
机电系统
MEMS
微
量学
纳米
测量
超微角位移测量
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职称材料
题名
微机电系统(MEMS)促进测量学发展
被引量：
6
1
作者
黄俊钦
机构
北京航空航天大学
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期107-110,共4页
文摘
本文从纳米、超微角位移测量 ,及力学、声学、医学测量诸方面说明 MEMS促进测量学的发展。通过所举范例 ,可以看出MEMS在各方面促进测量学发展及其深远的科学意义。其中超微角位移测量的构想以往资料未见 。
关键词
微
机电系统
MEMS
微
量学
纳米
测量
超微角位移测量
Keywords
Micro electronic mechanical systems MEMS Measurement
分类号
TH7 [机械工程—精密仪器及机械]
TH－39 [机械工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
微机电系统(MEMS)促进测量学发展
黄俊钦
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
6
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