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双π型RF EMIF的一种薄膜集成制造方法
被引量：
2
1
作者
张海鹏
秦会斌
+1 位作者
徐振宇
梁海珊
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期31-34,共4页
基于双π型电磁干扰滤波器(EMIF)的电路结构,借鉴了集成电路超微细加工技术,提出了与等平面超大规模集成电路工艺完全兼容的双p型EMIF电路的薄膜集成制造方法。该方法可用于制作满足未来电子系统的高频化、小型化、轻型化和片式化信号处...
基于双π型电磁干扰滤波器(EMIF)的电路结构,借鉴了集成电路超微细加工技术,提出了与等平面超大规模集成电路工艺完全兼容的双p型EMIF电路的薄膜集成制造方法。该方法可用于制作满足未来电子系统的高频化、小型化、轻型化和片式化信号处理EMIF电路的应用需求,改善双p型EMIF电路的信号处理性能,还可将其与VLSI一起片上集成。
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关键词
双π型RF
EMIF
薄膜集成制造法
电磁干扰滤波器
电路结构
超微细加工技术
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职称材料
电磁干扰滤波器的制造新方法
2
作者
周涛
韩月秋
《现代雷达》
CSCD
北大核心
2007年第6期91-93,共3页
提出一种基于集成电路超微细加工技术制造电磁干扰滤波器的薄膜集成制造新技术。该技术主要是利用现有等平面超大规模集成电路工艺完成电磁线圈的制造,使之符合现有射频集成电路制造工艺。该技术将满足射频电子系统对轻型化、小型化、...
提出一种基于集成电路超微细加工技术制造电磁干扰滤波器的薄膜集成制造新技术。该技术主要是利用现有等平面超大规模集成电路工艺完成电磁线圈的制造,使之符合现有射频集成电路制造工艺。该技术将满足射频电子系统对轻型化、小型化、单片化的应用要求。
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关键词
电磁干扰滤波器
射频集成电路
超微细加工技术
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职称材料
题名
双π型RF EMIF的一种薄膜集成制造方法
被引量：
2
1
作者
张海鹏
秦会斌
徐振宇
梁海珊
机构
杭州电子工业学院电子信息学院CAE研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期31-34,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60171033)
院科研启动基金资助(ZX0202Y37)
文摘
基于双π型电磁干扰滤波器(EMIF)的电路结构,借鉴了集成电路超微细加工技术,提出了与等平面超大规模集成电路工艺完全兼容的双p型EMIF电路的薄膜集成制造方法。该方法可用于制作满足未来电子系统的高频化、小型化、轻型化和片式化信号处理EMIF电路的应用需求,改善双p型EMIF电路的信号处理性能,还可将其与VLSI一起片上集成。
关键词
双π型RF
EMIF
薄膜集成制造法
电磁干扰滤波器
电路结构
超微细加工技术
Keywords
VLSI
superfine processing technology
EMIF
fabrication method in thin-filmIC technology
分类号
TN713 [电子电信—电路与系统]
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
电磁干扰滤波器的制造新方法
2
作者
周涛
韩月秋
机构
北京理工大学科学技术学院
出处
《现代雷达》
CSCD
北大核心
2007年第6期91-93,共3页
文摘
提出一种基于集成电路超微细加工技术制造电磁干扰滤波器的薄膜集成制造新技术。该技术主要是利用现有等平面超大规模集成电路工艺完成电磁线圈的制造,使之符合现有射频集成电路制造工艺。该技术将满足射频电子系统对轻型化、小型化、单片化的应用要求。
关键词
电磁干扰滤波器
射频集成电路
超微细加工技术
Keywords
EMIF
RFIC
superfine processing technology
分类号
TN713 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
双π型RF EMIF的一种薄膜集成制造方法
张海鹏
秦会斌
徐振宇
梁海珊
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004
2
在线阅读
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职称材料
2
电磁干扰滤波器的制造新方法
周涛
韩月秋
《现代雷达》
CSCD
北大核心
2007
0
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职称材料
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