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压电微位移器在超微定位系统中的应用
被引量：
12
1
作者
王建林
刘文晖
+1 位作者
胡晓东
胡小唐
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1997年第2期95-97,共3页
介绍了压电微位移器在超微定位系统中的应用,给出了一种二维超微定位机构及其控制系统。实验结果:定位系统行程10 μm,定位精度10 nm,定位分辨力2 nm。
关键词
压电
微
位移器
超微定位系统
压电陶瓷
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职称材料
三维一体化超微定位系统性能的研究
被引量：
4
2
作者
胡晓东
胡小唐
杨勇
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第11期1201-1203,共3页
提出一种以双柔性平行４ 杆结构和柔性８ 杆对称联动结构为导向机构、压电陶瓷为驱动器的三维一体化超微定位机构。针对高精度定位的需要，设计了数字闭环控制系统，引入数字ＰＩＤ模糊控制器以提高系统的定位性能。
关键词
三维一体化
超微定位系统
定位
压电陶瓷
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职称材料
题名
压电微位移器在超微定位系统中的应用
被引量：
12
1
作者
王建林
刘文晖
胡晓东
胡小唐
机构
天津大学精密仪器与光电子工程学院
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1997年第2期95-97,共3页
基金
国家科委基础研究项目基金
国家教委"跨世纪优秀人才计划"基金
文摘
介绍了压电微位移器在超微定位系统中的应用,给出了一种二维超微定位机构及其控制系统。实验结果:定位系统行程10 μm,定位精度10 nm,定位分辨力2 nm。
关键词
压电
微
位移器
超微定位系统
压电陶瓷
Keywords
piezoelectric micro-actuator
flexure hinge
closed-loop digital control system
分类号
TH703.8 [机械工程—精密仪器及机械]
TM282 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
三维一体化超微定位系统性能的研究
被引量：
4
2
作者
胡晓东
胡小唐
杨勇
机构
天津大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第11期1201-1203,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目
文摘
提出一种以双柔性平行４ 杆结构和柔性８ 杆对称联动结构为导向机构、压电陶瓷为驱动器的三维一体化超微定位机构。针对高精度定位的需要，设计了数字闭环控制系统，引入数字ＰＩＤ模糊控制器以提高系统的定位性能。
关键词
三维一体化
超微定位系统
定位
压电陶瓷
Keywords
D monolithic ultra-micropositioning double flexure parallel four-bar mechanism flexure eight-bar symmetric linkage mechanism piezoelectric actuator PID fuzzy controller
分类号
TH703.8 [机械工程—精密仪器及机械]
TH703.65 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
压电微位移器在超微定位系统中的应用
王建林
刘文晖
胡晓东
胡小唐
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1997
12
在线阅读
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职称材料
2
三维一体化超微定位系统性能的研究
胡晓东
胡小唐
杨勇
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999
4
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