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柔性超导电路制备工艺技术研究
被引量：
1
1
作者
朱承峰
李万
+6 位作者
陈建
孙潇莹
曾九孙
蔡晋辉
王振宇
李劲劲
王雪深
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024年第7期929-934,共6页
超导转变边沿探测器是坎德拉单位量子化复现和单能X射线量子计量的核心器件。大规模超导转变边沿探测器阵列探头的信号读出需利用柔性超导电路将信号传输至探头侧面的超导量子干涉器件。柔性超导电路是将超导信号线制备在柔性聚酰亚胺...
超导转变边沿探测器是坎德拉单位量子化复现和单能X射线量子计量的核心器件。大规模超导转变边沿探测器阵列探头的信号读出需利用柔性超导电路将信号传输至探头侧面的超导量子干涉器件。柔性超导电路是将超导信号线制备在柔性聚酰亚胺衬底上以实现信号低热导率、无阻传输。以硅片作为临时支撑,电子束蒸发100 nm Cr膜作为剥离牺牲层。非光敏聚酰胺酸旋涂在Cr膜上固化后,通过紫外曝光、溅射薄膜沉积和剥离等工艺制备Nb/Al薄膜传输线结构,利用Cr膜高应力特性将聚酰亚胺薄膜从硅片上剥离,湿法腐蚀Cr膜完成柔性超导电路的制备。测试的40根Nb/Al传输线的超导转变温度T_(c)为8.91~9.02 K,剩余电阻比r_(RR)为5.83~6.96。温度为8 K时,38根传输线临界电流I_(c)超过1 mA;温度为4.2 K时,所有样品I_(c)均超过1 mA,其中有25根传输线I_(c)超过10 mA,满足超导转变边沿探测器阵列测试需求。
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关键词
电学计量
超导转变边沿探测器
聚酰亚胺
柔性
超导
电路
超导
转变
温度
临界电流
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职称材料
题名
柔性超导电路制备工艺技术研究
被引量：
1
1
作者
朱承峰
李万
陈建
孙潇莹
曾九孙
蔡晋辉
王振宇
李劲劲
王雪深
机构
中国计量大学计量测试工程学院
四川大学物理学院
中国计量科学研究院
济南量子技术研究院
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024年第7期929-934,共6页
基金
国家重点研发计划(2022YFF0608303)。
文摘
超导转变边沿探测器是坎德拉单位量子化复现和单能X射线量子计量的核心器件。大规模超导转变边沿探测器阵列探头的信号读出需利用柔性超导电路将信号传输至探头侧面的超导量子干涉器件。柔性超导电路是将超导信号线制备在柔性聚酰亚胺衬底上以实现信号低热导率、无阻传输。以硅片作为临时支撑,电子束蒸发100 nm Cr膜作为剥离牺牲层。非光敏聚酰胺酸旋涂在Cr膜上固化后,通过紫外曝光、溅射薄膜沉积和剥离等工艺制备Nb/Al薄膜传输线结构,利用Cr膜高应力特性将聚酰亚胺薄膜从硅片上剥离,湿法腐蚀Cr膜完成柔性超导电路的制备。测试的40根Nb/Al传输线的超导转变温度T_(c)为8.91~9.02 K,剩余电阻比r_(RR)为5.83~6.96。温度为8 K时,38根传输线临界电流I_(c)超过1 mA;温度为4.2 K时,所有样品I_(c)均超过1 mA,其中有25根传输线I_(c)超过10 mA,满足超导转变边沿探测器阵列测试需求。
关键词
电学计量
超导转变边沿探测器
聚酰亚胺
柔性
超导
电路
超导
转变
温度
临界电流
Keywords
electrical metrology
transition edge sensor
polyimide
flexible superconducting circuit
superconducting transition temperature
critical current
分类号
TB971 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
柔性超导电路制备工艺技术研究
朱承峰
李万
陈建
孙潇莹
曾九孙
蔡晋辉
王振宇
李劲劲
王雪深
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024
1
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