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X射线超导转变边沿传感器超导薄膜研究
1
作者
贾娥
李万
+8 位作者
胡家昊
白海军
陈建
徐骁龙
郭思明
孙天宝
赵晓波
李劲劲
王雪深
《计量学报》
北大核心
2025年第1期69-74,共6页
采用超高真空直流磁控溅射技术,分别制备了超导Mo薄膜和Mo/Au双层薄膜,研究了不同的溅射功率和溅射气压下薄膜的应力、粗糙度和超导转变温度的变化,实现了应力范围为-421~163 Mpa、粗糙度<1 nm、超导转变温度为1.06~1.10 K的Mo薄膜制...
采用超高真空直流磁控溅射技术,分别制备了超导Mo薄膜和Mo/Au双层薄膜,研究了不同的溅射功率和溅射气压下薄膜的应力、粗糙度和超导转变温度的变化,实现了应力范围为-421~163 Mpa、粗糙度<1 nm、超导转变温度为1.06~1.10 K的Mo薄膜制备,并以此为基础制备了应力范围在-38 MPa至26 MPa之间,超导转变温度为80~350 mK的Mo/Au薄膜,为研制单能X射线超导转变边沿传感器(TES)提供了技术储备。
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关键词
电学计量
超导转变边沿传感器
磁控溅射
超导
薄膜
Mo/Au双层薄膜
单能X射线
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职称材料
题名
X射线超导转变边沿传感器超导薄膜研究
1
作者
贾娥
李万
胡家昊
白海军
陈建
徐骁龙
郭思明
孙天宝
赵晓波
李劲劲
王雪深
机构
沈阳化工大学信息工程学院
四川大学物理学院
中国计量科学研究院前沿计量科学中心
出处
《计量学报》
北大核心
2025年第1期69-74,共6页
基金
国家重点研发计划(2022YFF0608303)
国家自然科学基金(12303101)
+1 种基金
中国科学院重大科技基础设施开放共享课题(2023-SECUF-PT-000535)
中国计量科学研究院基本业务费(AKYZZ2115)。
文摘
采用超高真空直流磁控溅射技术,分别制备了超导Mo薄膜和Mo/Au双层薄膜,研究了不同的溅射功率和溅射气压下薄膜的应力、粗糙度和超导转变温度的变化,实现了应力范围为-421~163 Mpa、粗糙度<1 nm、超导转变温度为1.06~1.10 K的Mo薄膜制备,并以此为基础制备了应力范围在-38 MPa至26 MPa之间,超导转变温度为80~350 mK的Mo/Au薄膜,为研制单能X射线超导转变边沿传感器(TES)提供了技术储备。
关键词
电学计量
超导转变边沿传感器
磁控溅射
超导
薄膜
Mo/Au双层薄膜
单能X射线
Keywords
electrical measurement
superconducting transition edge sensors
magnetron sputtering
superconducting film
Mo/Au bilayer films
single-energy X-ray
分类号
TB97 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
X射线超导转变边沿传感器超导薄膜研究
贾娥
李万
胡家昊
白海军
陈建
徐骁龙
郭思明
孙天宝
赵晓波
李劲劲
王雪深
《计量学报》
北大核心
2025
0
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