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多元超导红外探测器电极掩膜板的制备及应用
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作者 曾群德 李国桢 +6 位作者 黄江萍 卢俊杰 黄宗坦 张洪波 杨魁胜 刘景和 李建利 《红外技术》 EI CSCD 1995年第2期14-16,共3页
由于YBaCuO是一种怕水、酸和乙醇等有机溶剂的材料,且通过一次光刻工艺后TcO要下降3~4K.因此,减少光刻工艺次数就成为制备多元器件的关键。本文介绍一种适用于多元超导红外探测器的新工艺,在电极剥离几乎无法成功的情... 由于YBaCuO是一种怕水、酸和乙醇等有机溶剂的材料,且通过一次光刻工艺后TcO要下降3~4K.因此,减少光刻工艺次数就成为制备多元器件的关键。本文介绍一种适用于多元超导红外探测器的新工艺,在电极剥离几乎无法成功的情况下,用电极掩膜板的方法可获得性能优良的微形图样,使成品率达100%。 展开更多
关键词 超导红外探测器 电极掩膜板 红外探测器
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高温超导晶界结型红外探测器工作原理 被引量:5
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作者 周方桥 郝建华 +3 位作者 易新建 赵兴荣 孙汉东 李再光 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1993年第6期447-451,共5页
提出了高温超导晶界结型红外探测器在液氮温区可能同时存在测辐射热和光致非平衡两种效应的工作原理,给出了两种效应的响应率计算式,并在实验上研制了性能指标较高的YBa_2Cu_3O_(7-x)红外探测器。
关键词 高温超导 测辐射热 光致非平衡 超导红外探测器 晶界结构 YBa2Cu3O7-x超导薄膜红外探测器
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高温超导薄膜红外探测器研究
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作者 何军锋 《陕西工学院学报》 1999年第4期54-55,59,共3页
文章系统阐述了高Tcbolometer的工作原理及性能优势;简要介绍了采用负胶光刻和湿法(化学)刻蚀技术在5×10mm2GdBa2Cu3O7-x薄膜上制备2×2阵列高Tcbolometer器件的工艺过程;并对此工艺优劣性进行了分析。
关键词 负胶光刻 化学刻蚀 高温超导薄膜红外探测器
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