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超宽带声表面波滤波器的设计 被引量:5
1
作者 陈景 韩韬 +2 位作者 吉小军 唐供宾 张巧珍 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期353-355,共3页
该文精确模拟了基于弛豫铁电单晶的声表面波(SAW)梯形滤波器的性能。首先介绍了由谐振器构成的梯形SAW滤波器的工作原理,利用QUCS软件建立了七阶梯形滤波器的仿真模型。结果表明,该单晶能实现高达620 MHz的超宽带SAW滤波器(中心频率1GH... 该文精确模拟了基于弛豫铁电单晶的声表面波(SAW)梯形滤波器的性能。首先介绍了由谐振器构成的梯形SAW滤波器的工作原理,利用QUCS软件建立了七阶梯形滤波器的仿真模型。结果表明,该单晶能实现高达620 MHz的超宽带SAW滤波器(中心频率1GHz),比传统压电材料的滤波器带宽高3倍;通过优化各支路谐振器的静态电容及传统梯型滤波器的结构,牺牲了一定的带宽,但获得了较高的带外抑制和过渡带的陡峭度;讨论了不同品质因数对滤波器带内插损的影响。 展开更多
关键词 超宽带滤波器 表面波(SAW) 弛豫铁电单晶 机电耦合系数 品质因数
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石英基极窄带声表面波滤波器的横向模式抑制研究
2
作者 冷俊林 肖强 +6 位作者 陆川 董加和 陈文远 谢晓 金巧 杜雪松 汪红兵 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期230-233,共4页
针对通信和电子对抗系统中对极窄带SAW滤波器的需求,选用AT-石英作为压电材料设计SAW滤波器,为满足相对带宽小于1‰的要求,采用纵向耦合型双模(DMS)滤波器拓扑结构进行了优化设计。而后,研究了对AT-石英基极窄带SAW滤波器通带和高端过... 针对通信和电子对抗系统中对极窄带SAW滤波器的需求,选用AT-石英作为压电材料设计SAW滤波器,为满足相对带宽小于1‰的要求,采用纵向耦合型双模(DMS)滤波器拓扑结构进行了优化设计。而后,研究了对AT-石英基极窄带SAW滤波器通带和高端过渡带产生的横向模式杂波的抑制,采用指条电极末端加厚的Piston结构,通过有限元仿真建模优化实现了横向模式的抑制。最后通过实验对比了横向模式优化前后的测试曲线,结果表明,采用Piston结构抑制后SAW滤波器的最小插损、相对带宽和带内波纹均有明显改善。 展开更多
关键词 石英 表面波滤波器 极窄带 纵向耦合 横向模式
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低频率漂移极窄带声表面波滤波器
3
作者 李桦林 詹雪奎 +3 位作者 伍平 陈彦光 董加和 马晋毅 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期20-23,共4页
保密通信系统对极窄带宽声表面波滤波器需求迫切,由于声表面波滤波器属于温度敏感型器件,在极端恶劣环境温度下器件滤波频率会发生较大漂移,无法保证有用信号提取和近端噪声抑制。为满足射频系统全温应用要求,对基于石英衬底的极窄带声... 保密通信系统对极窄带宽声表面波滤波器需求迫切,由于声表面波滤波器属于温度敏感型器件,在极端恶劣环境温度下器件滤波频率会发生较大漂移,无法保证有用信号提取和近端噪声抑制。为满足射频系统全温应用要求,对基于石英衬底的极窄带声表面波滤波器的频率温度特性进行仿真分析,研究了电极金属膜厚和电极金属化率对器件二阶温度特性拐点的影响,并通过声表面波滤波器结构参数优化,研制出低频率漂移的极窄带声表面波滤波器。 展开更多
关键词 表面波滤波器 极窄带宽 频率漂移
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声表面波滤波器平行封焊飞溅多余物控制的研究
4
作者 郭俊寒 季鸿雨 +4 位作者 孟腾飞 何志新 陈瑞 史向龙 于海洋 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期225-229,共5页
通过分析因飞溅多余物而失效的声表面波滤波器,证明了飞溅多余物是由平行封焊工序产生的。研究了平行封焊工序中相关焊接参数对平行封焊的影响,通过调节焊接功率、时间和速度等参数,将焊缝宽度和焊点重叠区域面积调整至理想范围内,在保... 通过分析因飞溅多余物而失效的声表面波滤波器,证明了飞溅多余物是由平行封焊工序产生的。研究了平行封焊工序中相关焊接参数对平行封焊的影响,通过调节焊接功率、时间和速度等参数,将焊缝宽度和焊点重叠区域面积调整至理想范围内,在保证焊接质量的同时,将飞溅多余物产生的概率降至万分之二。另外,选取熔点更高的电镀镍盖板来代替化学镀镍盖板,进一步减少了平行封焊过程中飞溅多余物的产生。 展开更多
关键词 表面波滤波器 平行封焊 飞溅多余物 焊接参数
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宽带温度补偿型声表面波滤波器的设计与优化 被引量:1
5
作者 谭发曾 李桦林 +4 位作者 马晋毅 陈文远 胡明浪 杜雪松 詹雪奎 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第5期651-654,669,共5页
提出了一种宽带温度补偿型声表面波滤波器的设计方法。通过研究铌酸锂衬底不同欧拉角、不同电极材料和厚度对声表面波谐振器频率响应和杂散抑制的影响,确定了宽带温度补偿型声表面波滤波器的最佳切向和电极结构。所制备的宽带声表面波... 提出了一种宽带温度补偿型声表面波滤波器的设计方法。通过研究铌酸锂衬底不同欧拉角、不同电极材料和厚度对声表面波谐振器频率响应和杂散抑制的影响,确定了宽带温度补偿型声表面波滤波器的最佳切向和电极结构。所制备的宽带声表面波滤波器的温度系数优于-18.9×10^(-6)/℃,-3 dB相对带宽为7.84%,插入损耗为0.93 dB,展现出良好的带外抑制。 展开更多
关键词 表面波 滤波器 宽带 温度补偿
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一种横向耦合改进型结构极窄带声表面波滤波器研究 被引量:1
6
作者 张显洪 杨卫东 +3 位作者 肖强 蒋道军 张晟 施建峰 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期306-309,共4页
该文采用波导法分析了横向耦合极窄带声表面波滤波器速度变化模式,并用多物理场COMSOL软件对横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构和耦合距离的变化建模进行计算,并分析频响特性。采用石英晶体作为底衬,设计了频率为898.144 MHz,插... 该文采用波导法分析了横向耦合极窄带声表面波滤波器速度变化模式,并用多物理场COMSOL软件对横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构和耦合距离的变化建模进行计算,并分析频响特性。采用石英晶体作为底衬,设计了频率为898.144 MHz,插入损耗约为6 dB的极窄带声表面波滤波器并进行验证。结果表明,中心耦合条开腔结构的声表面波滤波器的相对带宽达到7.2‰,与不开腔结构5.2‰相对带宽相比,提升了2‰。这说明横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构变化,能改变极窄带声表面波滤波器的相对带宽。 展开更多
关键词 横向耦合 极窄带 表面波滤波器 物理场COMSOL软件 相对带宽
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具有片上电感的改进型梯形声表面波滤波器
7
作者 杨茂坤 帅垚 +3 位作者 魏子杰 吴传贵 罗文博 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期439-442,共4页
针对小体积声表面波(SAW)滤波器性能受封装影响较大的问题,提出了一种新型SAW梯形滤波器电路拓扑结构。通过分析滤波器高频受封装影响造成的远端抑制上翘的现象,从电路结构出发,改变版图设计,实现了片上电感。采用传统梯形滤波器结构和... 针对小体积声表面波(SAW)滤波器性能受封装影响较大的问题,提出了一种新型SAW梯形滤波器电路拓扑结构。通过分析滤波器高频受封装影响造成的远端抑制上翘的现象,从电路结构出发,改变版图设计,实现了片上电感。采用传统梯形滤波器结构和利用纵向耦合双模谐振器型滤波器(DMS)特殊接地结构相结合的电路拓扑结构,有助于提高带外抑制和设计灵活性。在标准的42°Y-X钽酸锂(LiTaO_(3))基板上制作滤波器,通过仿真分析得到中心频率2580 MHz、带宽50 MHz、插入损耗小于2.5 dB的高阶梯形射频SAW滤波器的最优拓扑结构。测试结果表明,通过改变电路拓扑结构关键参数和引入新的传输零点,可改善在高频段内的带外抑制特性。 展开更多
关键词 封装 表面波(SAW)滤波器 片上电感 DMS结构 传输零点 带外抑制
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声表面波滤波器温度敏感性仿真研究
8
作者 王吉芳 郑露 +7 位作者 陈平静 潘虹芝 杜雪松 董加和 陆川 陈正林 吴浩东 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期310-314,共5页
针对不同温度场情况下任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的温度敏感性精确计算问题,首先将温度场以热应力、热应变的方式耦合声/电本征方程并考虑封装模型的电磁因素,再结合分层级联算法和全波仿真技术,计算任意复... 针对不同温度场情况下任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的温度敏感性精确计算问题,首先将温度场以热应力、热应变的方式耦合声/电本征方程并考虑封装模型的电磁因素,再结合分层级联算法和全波仿真技术,计算任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的SAW滤波器的温度敏感性,实现不同温度作用下SAW滤波器频率响应曲线、频率温度系数(TCF)值、损耗、带宽及带外抑制等性能的综合分析。通过41°Y-X LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si_poly/Si(111)复合衬底SAW滤波器的优化设计与研制,其设计优化结果与实验结果吻合较好,验证了该方法的有效性和可行性。 展开更多
关键词 温度敏感性 表面波(SAW)滤波器 分层级联 全波仿真
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高阻带抑制宽带低损耗声表面波滤波器研究 被引量:7
9
作者 毛世平 曾庆高 +2 位作者 陈彦光 蒋世义 彭昱皓 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期337-339,共3页
基于分布间隙纵向耦合五换能器结构,加入谐振器单元,采用41°Y-X LiNbO_3基片材料,通过优化设计,研制出中心频率232 MHz,3dB带宽23.2 MHz的声表面波滤波器。该产品的插入损耗为-1.9dB,相对带宽达到10%,矩形系数2.2,阻带抑制大于50dB... 基于分布间隙纵向耦合五换能器结构,加入谐振器单元,采用41°Y-X LiNbO_3基片材料,通过优化设计,研制出中心频率232 MHz,3dB带宽23.2 MHz的声表面波滤波器。该产品的插入损耗为-1.9dB,相对带宽达到10%,矩形系数2.2,阻带抑制大于50dB,产品综合性能指标优异,有很好的实用性。 展开更多
关键词 大带宽 表面波滤波器 五换能器 谐振器
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宽带低损耗声表面波滤波器 被引量:3
10
作者 曹亮 黄广伦 +3 位作者 秦廷辉 杨勋 朱勇 肖燕 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2000年第4期209-213,共5页
介绍了利用在36°Y-XLiTaO3、64°Y-X LiNbO3、41°Y-X LiNbO3基片漏声表面波设计制作的宽带低损耗滤波器,给出了用耦合模理论模拟的曲线和实验结果,其相对带宽为2 .8%~6. 5... 介绍了利用在36°Y-XLiTaO3、64°Y-X LiNbO3、41°Y-X LiNbO3基片漏声表面波设计制作的宽带低损耗滤波器,给出了用耦合模理论模拟的曲线和实验结果,其相对带宽为2 .8%~6. 5%,插损为1.7~2.4 dB,带外抑制大于45 dB。 展开更多
关键词 表面波滤波器 宽带 低损耗 耦合谐振滤波器
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一种宽带低损耗声表面波滤波器 被引量:5
11
作者 秦廷辉 朱自湘 周平 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1998年第2期77-79,共3页
阐述了一种利用纵向耦合双模制作宽带低损耗声表面波滤波器的方法,给出了理论计算方法和计算机模拟结果,最后给出了制作中心频率为453MHz的声表面波滤波器实验结果,插入损耗为1.9dB,1dB带宽为6.66MHz,远端带... 阐述了一种利用纵向耦合双模制作宽带低损耗声表面波滤波器的方法,给出了理论计算方法和计算机模拟结果,最后给出了制作中心频率为453MHz的声表面波滤波器实验结果,插入损耗为1.9dB,1dB带宽为6.66MHz,远端带外抑制大于45dB。 展开更多
关键词 表面波滤波器 反射器 叉指换能器 滤波器
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基于纵向耦合结构的宽带声表面波滤波器设计 被引量:2
12
作者 蒋世义 张幸 +2 位作者 陈彦光 蒋欣 董加和 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第3期315-317,共3页
基于纵向耦合五换能器结构,采用41°YX-LiNbO3基片材料,通过优化设计,研制出中心频率232MHz,3dB带宽23.5MHz的声表面波滤波器。该产品的插入损耗-3dB,相对带宽达到10.1%,矩形系数小于2.5,阻带抑制大于40dB,产品综合性能指标优异,有... 基于纵向耦合五换能器结构,采用41°YX-LiNbO3基片材料,通过优化设计,研制出中心频率232MHz,3dB带宽23.5MHz的声表面波滤波器。该产品的插入损耗-3dB,相对带宽达到10.1%,矩形系数小于2.5,阻带抑制大于40dB,产品综合性能指标优异,有很好的实用性。 展开更多
关键词 大带宽 表面波滤波器 五换能器
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超宽带无线通信与声表面波宽带信号处理技术 被引量:4
13
作者 杨晓东 陈君 +1 位作者 丁芩华 王松 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2009年第3期299-301,共3页
介绍了超宽带(UWB)无线通信的技术及特点,与传统窄带无线系统进行了性能比较,指出了超宽带无线通信四大关键技术是:超宽带无线通信脉冲信号的波形设计;超宽带无线通信脉冲信号编码与调制方式;超宽带无线通信信号的检测;超宽带无线通信... 介绍了超宽带(UWB)无线通信的技术及特点,与传统窄带无线系统进行了性能比较,指出了超宽带无线通信四大关键技术是:超宽带无线通信脉冲信号的波形设计;超宽带无线通信脉冲信号编码与调制方式;超宽带无线通信信号的检测;超宽带无线通信系统中的同步捕获技术;分析了超宽带无线通信系统军用的潜在市场,最后阐述了SAW宽带信号处理技术在UWB通信系统中的应用。 展开更多
关键词 表面波 超宽带无线通信 宽带信号处理技术
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采用Y-41°LiNbO_3的宽带低损耗声表面波滤波器 被引量:1
14
作者 秦廷辉 黄广伦 欧黎 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1993年第1期7-8,12,共3页
本文介绍一种用Y-41°LiNbO_3作基片的宽带声表面波低损耗滤波器,它采用U型多条耦合单向换能器(UMSCU-UDT)和镜象阻抗连结耦合换能器结构,其性能是3dB相对带宽达10%,插人损耗≤7dB,带外抑制≥50dB.
关键词 Y-41°LiNbO3 滤波器 表面波器件
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抽指加权宽带扇形叉指声表面波滤波器的等效电路分析
15
作者 李红浪 何世堂 +1 位作者 王文 梁勇 《应用声学》 CSCD 北大核心 2004年第4期1-5,共5页
扇形换能器可以看成若干个沿孔径方向划分的均匀孔径换能器电端并联而成,根据梅森(Ma-son)等效电路模型以及由其延伸的混合场等效电路模型,推导出整个扇形换能器的导纳矩阵和频率响应,其中采用复阻抗模型考虑了叉指电极与自由表面的阻... 扇形换能器可以看成若干个沿孔径方向划分的均匀孔径换能器电端并联而成,根据梅森(Ma-son)等效电路模型以及由其延伸的混合场等效电路模型,推导出整个扇形换能器的导纳矩阵和频率响应,其中采用复阻抗模型考虑了叉指电极与自由表面的阻抗不连续的因素。本方法能够模拟指间反射、三次行程、指条寄生阻抗以及外围电路等对器件性能的影响;理论模拟与实验结果吻合。 展开更多
关键词 扇形换能器 等效电路模型 复阻抗模型 导纳矩阵 频率响应 叉指电极 表面波滤波器
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96 MHz锥形叉指宽带声表面波滤波器
16
作者 王玉林 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期481-484,共4页
介绍声表面波锥形叉指换能器的基本原理,采用折线电极锥形叉指换能器制作的TD-SCDMA制式用96MHz宽带滤波器,1dB带宽4.8MHz,15dB抑制小于6.4MHz,插入衰耗约12dB,封装为SMD(13.3mm×6.5mm)。
关键词 表面波器件 锥形叉指换能器 折线电极 宽带滤波器 TD—SCDMA
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压电晶圆厚度对声表面波器件性能的影响及改进方法研究
17
作者 何成勇 褚梦群 +6 位作者 谭发曾 胡明浪 谭瑞 陈文远 张幸 罗鸿飞 肖强 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期234-237,共4页
钽酸锂(LiTaO_(3),LT)为目前声表面波(SAW)滤波器普遍采用的压电晶圆之一。为控制SAW滤波器的制造成本和体积,制造时通常会采用更薄、价格更低的0.25 mm厚的LT替代原来0.35 mm厚的晶圆。然而,在滤波器设计结构相同的情况下,相较于0.35 m... 钽酸锂(LiTaO_(3),LT)为目前声表面波(SAW)滤波器普遍采用的压电晶圆之一。为控制SAW滤波器的制造成本和体积,制造时通常会采用更薄、价格更低的0.25 mm厚的LT替代原来0.35 mm厚的晶圆。然而,在滤波器设计结构相同的情况下,相较于0.35 mm厚的LT,采用0.25 mm厚LT的SAW滤波器性能有所降低。针对该问题,首先建立了含封装粘片胶的电磁仿真模型,分别仿真了两种厚度(0.35 mm、0.25 mm)的压电基底在不同粘片胶厚度条件下的电磁特性;然后结合电磁、声学联合仿真优化了粘片胶的厚度,进而提升了SAW滤波器的仿真性能。实验结果表明,通过优化粘片胶厚度,可使0.25 mm厚LT滤波器的性能优于0.35 mm厚LT滤波器,满足器件指标要求,该方案可推广至其他压电晶圆的SAW器件。 展开更多
关键词 封装粘片胶 表面波滤波器 电磁仿真 钽酸锂
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宽带低插损双模声表面波滤波器 被引量:1
18
作者 许钊庚 何世堂 《声学技术》 CSCD 1999年第A11期135-136,共2页
关键词 表面波 滤波器 宽带 双模
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基于LiTaO_(3)基片宽带声表面波滤波器设计方法 被引量:2
19
作者 张华 齐梦珂 +5 位作者 潘虹芝 李孟辉 程一民 牟笑静 陈建军 曹亮 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第5期726-730,共5页
通讯系统传输效率的提升对滤波器带宽的要求越来越高,如果使用常规声表面波(SAW)滤波器设计技术,则将面临损耗大或带宽达不到要求的问题。该文根据系列宽带SAW滤波器产品开发结果,总结了采用特殊技术用LiTaO_(3)压电基片实现相对带宽8%... 通讯系统传输效率的提升对滤波器带宽的要求越来越高,如果使用常规声表面波(SAW)滤波器设计技术,则将面临损耗大或带宽达不到要求的问题。该文根据系列宽带SAW滤波器产品开发结果,总结了采用特殊技术用LiTaO_(3)压电基片实现相对带宽8%以上的宽带SAW滤波器设计方法,其包括利用外围电感、电容增加SAW谐振器的谐振频率和反谐振频率的间隔,提高阻抗元滤波器带宽;利用多模式纵向耦合谐振滤波器结构增加滤波器带宽;利用双通带滤波器并联结构获得大带宽滤波器。上述方法各有优缺点,其均能获得约为9%的带宽。 展开更多
关键词 钽酸锂 表面波 大带宽 滤波器
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基于SOI衬底的宽带低损耗声表面波滤波器研究 被引量:1
20
作者 苗湘 闫坤坤 +3 位作者 黄歆 姜靖雯 黄小东 王文 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第5期718-721,共4页
使用结构为42°Y-X LiTaO_(3)(600 nm)/SiO_(2)(500 nm)/Si的SOI衬底,通过抑制横向模式等优化设计,研制了单端谐振器和声表面波滤波器。经测试,谐振器的谐振频率为1.5 GHz,品质因数(Q)值高达4000;滤波器的中心频率为1370 MHz,插入... 使用结构为42°Y-X LiTaO_(3)(600 nm)/SiO_(2)(500 nm)/Si的SOI衬底,通过抑制横向模式等优化设计,研制了单端谐振器和声表面波滤波器。经测试,谐振器的谐振频率为1.5 GHz,品质因数(Q)值高达4000;滤波器的中心频率为1370 MHz,插入损耗为-1.2 dB,1 dB带宽为74 MHz,相对带宽达到5.4%,阻带抑制大于40 dB,且温度系数在-55~+85℃时优于-9×10^(-6)/℃。该产品具有高频、宽带、低损耗、低温漂、高阻带抑制的特点,其性能指标优异,具有很好的实用性。 展开更多
关键词 SOI衬底 大带宽 横向模式 谐振器 表面波滤波器
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