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前驱体浓度对超声雾化热解法制备ZnO薄膜性能的影响 被引量:1
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作者 周佳 韩高荣 李敏睿 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期120-122,共3页
采用超声雾化技术,以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,在加热的玻璃衬底上制备得到ZnO薄膜。研究了不同前驱体溶液浓度和不同加热温度条件下制得的ZnO薄膜的微观结构和光学性能。测试结果表明,ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,在合适的条件下可以制... 采用超声雾化技术,以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,在加热的玻璃衬底上制备得到ZnO薄膜。研究了不同前驱体溶液浓度和不同加热温度条件下制得的ZnO薄膜的微观结构和光学性能。测试结果表明,ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,在合适的条件下可以制备出沿(002)晶面取向生长的样品,具有优良的均匀性和致密性。同时在可见光区也表现出80%以上的高透过率。 展开更多
关键词 ZNO 超声雾化热解法 取向生长
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超声喷雾热分解法制备ZnO薄膜及衬底温度对其性能的影响 被引量:2
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作者 黎波 龚恒翔 +2 位作者 孟祥杰 任维义 陈太红 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期523-527,共5页
以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,采用超声喷雾热分解法在玻璃衬底上制备得到了温度在350℃到450℃范围内的ZnO薄膜。用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)及紫外-可见分光光度计分析了ZnO薄膜的晶体结构、微观形貌及其光学性质,重点探究了衬底... 以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,采用超声喷雾热分解法在玻璃衬底上制备得到了温度在350℃到450℃范围内的ZnO薄膜。用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)及紫外-可见分光光度计分析了ZnO薄膜的晶体结构、微观形貌及其光学性质,重点探究了衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响。分析表明:制备的ZnO薄膜为六角铅锌矿结构,衬底温度对薄膜的质量有着重要的影响;所得薄膜在400℃时结晶性能好,沿c轴择优取向生长,具有优良的均匀性和致密性;所制备的薄膜在可见光区透过率高达86%以上,在紫外光区吸收强烈。 展开更多
关键词 ZNO薄膜 超声雾化热解法 衬底温度 微观形貌 透过率
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二元掺杂对SnO_2薄膜的结构与光学性能的影响 被引量:4
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作者 徐游 李风 曾国勋 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期886-890,共5页
采用超声雾化热解法在石英玻璃基底上制备了SnO2/Sb∶Ni薄膜,并对薄膜的晶体结构、表面形貌和光学性能进行了表征。结果表明:薄膜晶粒生长致密,晶粒大小均匀,呈柱状晶结构,(200)晶面是优势生长面。经过二元掺杂后,薄膜的平均可见光透过... 采用超声雾化热解法在石英玻璃基底上制备了SnO2/Sb∶Ni薄膜,并对薄膜的晶体结构、表面形貌和光学性能进行了表征。结果表明:薄膜晶粒生长致密,晶粒大小均匀,呈柱状晶结构,(200)晶面是优势生长面。经过二元掺杂后,薄膜的平均可见光透过率最高为87.54%;波长为300 nm时,薄膜的紫外透过率约为50%。 展开更多
关键词 SNO2薄膜 透过率 超声雾化热解法
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