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超声雾化热分解气相沉积法制备TiO_2薄膜的气敏特性研究
被引量：
2
1
作者
冯庆
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期385-389,共5页
运用超声雾化热分解法制备了纯TiO2薄膜,并通过超声雾化分解和电子束蒸发两种方法注入了Ru,Rh,Ir杂质,研究了各种薄膜对O2的传感特性,并利用透射电镱和原子力显微镜分析薄膜晶体的微观结构。实验发现,纯TiO2薄膜在高工作温度(400℃)下...
运用超声雾化热分解法制备了纯TiO2薄膜,并通过超声雾化分解和电子束蒸发两种方法注入了Ru,Rh,Ir杂质,研究了各种薄膜对O2的传感特性,并利用透射电镱和原子力显微镜分析薄膜晶体的微观结构。实验发现,纯TiO2薄膜在高工作温度(400℃)下对O2的传感性也较弱,而通过超声雾化分解法制备的掺杂TiO2薄膜工作温度明显降低到300℃,传感灵敏度极大提高,响应时间缩短,并且超声雾化分解法制备比电子束蒸发注入的传感薄膜具有更好的气敏传感特性。
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关键词
超声雾化热分解
法
电子束蒸发
气敏传感器
TIO2
薄膜
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职称材料
超声雾化方法中两步沉积对YBCO薄膜性能的影响
被引量：
6
2
作者
刘敏
索红莉
+3 位作者
赵跃
张迎肖
刘丹敏
周美玲
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第2期377-380,共4页
用自行研制的超声雾化装置在{110}<011>织构的Ag基带上直接沉积了YBCO涂层超导薄膜,结果发现一步沉积所得YBCO薄膜的表面有许多白色小颗粒,而且薄膜的织构和临界电流密度都较低,这是在900℃高温沉积过程中大量的Ag蒸发和扩散到YBC...
用自行研制的超声雾化装置在{110}<011>织构的Ag基带上直接沉积了YBCO涂层超导薄膜,结果发现一步沉积所得YBCO薄膜的表面有许多白色小颗粒,而且薄膜的织构和临界电流密度都较低,这是在900℃高温沉积过程中大量的Ag蒸发和扩散到YBCO膜层中所致．于是本文提出分高低温两步沉积的实验方案,即700℃先沉积15min,再升温到900℃沉积30min,通过SEM对薄膜表面和EDS能谱对薄膜的断面进行分析可知,两步沉积的YBCO薄膜中Ag的含量大大降低,而且薄膜的织构和临界电流密度得到明显改善和提高,最后通过两步沉积制备了15cm长、临界电流密度高于104A／cm2的YBCO超导薄膜．
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关键词
涂层超导
YBCO薄膜
织构Ag基底
超声雾化热分解
方法
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职称材料
衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响研究
被引量：
13
3
作者
边继明
李效民
+1 位作者
高相东
于伟东
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期641-646,共6页
以醋酸锌水溶液为前驱体,采用改进的超声喷雾热解法在Si(100)衬底上沉积ZnO薄膜,以X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)等手段分析所得ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌,着重考察了衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响.结果表明,在衬底温...
以醋酸锌水溶液为前驱体,采用改进的超声喷雾热解法在Si(100)衬底上沉积ZnO薄膜,以X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)等手段分析所得ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌,着重考察了衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响.结果表明,在衬底温度为500℃下所得ZnO薄膜表面均匀光滑,属六方纤锌矿结构,且沿c轴择优生长,晶粒尺寸的为40～50nm;衬底温度对ZnO薄膜生长过程影响显著,随衬底温度的升高,薄膜生长速率存在一极限值,且ZnO薄膜的c轴取向趋势增强,晶粒尺寸得到细化.
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关键词
氧
化
锌
薄膜
超声雾化热分解
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职称材料
题名
超声雾化热分解气相沉积法制备TiO_2薄膜的气敏特性研究
被引量：
2
1
作者
冯庆
机构
重庆师范大学物理学院光学工程重庆市重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期385-389,共5页
基金
重庆市教委自然科学基金(KJ090801)
重庆师范大学光学工程重庆市重点实验室资助课题(0902)
文摘
运用超声雾化热分解法制备了纯TiO2薄膜,并通过超声雾化分解和电子束蒸发两种方法注入了Ru,Rh,Ir杂质,研究了各种薄膜对O2的传感特性,并利用透射电镱和原子力显微镜分析薄膜晶体的微观结构。实验发现,纯TiO2薄膜在高工作温度(400℃)下对O2的传感性也较弱,而通过超声雾化分解法制备的掺杂TiO2薄膜工作温度明显降低到300℃,传感灵敏度极大提高,响应时间缩短,并且超声雾化分解法制备比电子束蒸发注入的传感薄膜具有更好的气敏传感特性。
关键词
超声雾化热分解
法
电子束蒸发
气敏传感器
TIO2
薄膜
Keywords
Ultrasonic spray pyrolysis method
E-beam evaporation
Gas sensor
TiO2
Thin films
分类号
O644 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
超声雾化方法中两步沉积对YBCO薄膜性能的影响
被引量：
6
2
作者
刘敏
索红莉
赵跃
张迎肖
刘丹敏
周美玲
机构
北京工业大学国家教育部功能材料重点实验室
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第2期377-380,共4页
基金
国家863项目(2002AA306221)
国家973项目(2006CB601005)
文摘
用自行研制的超声雾化装置在{110}<011>织构的Ag基带上直接沉积了YBCO涂层超导薄膜,结果发现一步沉积所得YBCO薄膜的表面有许多白色小颗粒,而且薄膜的织构和临界电流密度都较低,这是在900℃高温沉积过程中大量的Ag蒸发和扩散到YBCO膜层中所致．于是本文提出分高低温两步沉积的实验方案,即700℃先沉积15min,再升温到900℃沉积30min,通过SEM对薄膜表面和EDS能谱对薄膜的断面进行分析可知,两步沉积的YBCO薄膜中Ag的含量大大降低,而且薄膜的织构和临界电流密度得到明显改善和提高,最后通过两步沉积制备了15cm长、临界电流密度高于104A／cm2的YBCO超导薄膜．
关键词
涂层超导
YBCO薄膜
织构Ag基底
超声雾化热分解
方法
Keywords
coated conductor
YBCO film
textured Ag substrate
ultrasonic spray pyrolysis method
分类号
TM26 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响研究
被引量：
13
3
作者
边继明
李效民
高相东
于伟东
机构
中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期641-646,共6页
基金
国家"973"基金(2002CB613306)
上海市科技发展基金(022261035)
文摘
以醋酸锌水溶液为前驱体,采用改进的超声喷雾热解法在Si(100)衬底上沉积ZnO薄膜,以X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)等手段分析所得ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌,着重考察了衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响.结果表明,在衬底温度为500℃下所得ZnO薄膜表面均匀光滑,属六方纤锌矿结构,且沿c轴择优生长,晶粒尺寸的为40～50nm;衬底温度对ZnO薄膜生长过程影响显著,随衬底温度的升高,薄膜生长速率存在一极限值,且ZnO薄膜的c轴取向趋势增强,晶粒尺寸得到细化.
关键词
氧
化
锌
薄膜
超声雾化热分解
Keywords
zinc oxide
thin film
ultrasonic spray pyrolysis (USP)
分类号
O482 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超声雾化热分解气相沉积法制备TiO_2薄膜的气敏特性研究
冯庆
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
超声雾化方法中两步沉积对YBCO薄膜性能的影响
刘敏
索红莉
赵跃
张迎肖
刘丹敏
周美玲
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响研究
边继明
李效民
高相东
于伟东
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
13
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职称材料
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