期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
超声辅助线锯切割SiC单晶实验研究
被引量：
17
1
作者
李言
王肖烨
+2 位作者
李淑娟
郑建明
袁启龙
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期1076-1081,共6页
针对单晶SiC切割过程切割效率低,加工表面粗糙度和表面不平度差以及线锯磨损和断裂严重等问题,提出采用线锯横向施加超声振动的方法切割单晶SiC。通过实验对比研究了普通切割与超声辅助切割两种切割工艺,结果表明:与普通切割相比,超声...
针对单晶SiC切割过程切割效率低,加工表面粗糙度和表面不平度差以及线锯磨损和断裂严重等问题,提出采用线锯横向施加超声振动的方法切割单晶SiC。通过实验对比研究了普通切割与超声辅助切割两种切割工艺,结果表明:与普通切割相比,超声辅助切割单晶SiC,锯切力减小37%～52%,且减小趋势随工件进给速度的增大更明显;切片表面粗糙度降幅约为26%～55%,晶片表面形貌均匀,无划痕,明显优于普通切割方法所获得的表面;线锯磨损降低约近40%;切割效率提高近56%。
展开更多
关键词
SIC单晶
超声辅助线锯
切割
表面粗糙度
在线阅读
下载PDF
职称材料
超声复合线锯锯切单晶硅的温度场仿真分析
被引量：
1
2
作者
郭明壮
王艳
宋李兴
《农业装备与车辆工程》
2021年第3期98-102,共5页
单晶硅是一种硬脆性材料,采用超声复合工艺加工可以有效提高单晶硅的加工效率和质量。在超声复合工艺线锯锯切单晶硅的过程中,锯切温度场的分布影响单晶硅片表面质量。鉴于此,从锯切温度入手,分析超声复合工艺线锯锯切单晶硅的原理,建...
单晶硅是一种硬脆性材料,采用超声复合工艺加工可以有效提高单晶硅的加工效率和质量。在超声复合工艺线锯锯切单晶硅的过程中,锯切温度场的分布影响单晶硅片表面质量。鉴于此,从锯切温度入手,分析超声复合工艺线锯锯切单晶硅的原理,建立仿真模型,充分考虑发热机理和各种散热条件,利用仿真软件ABAQUS对锯切单晶硅的过程进行热瞬态分析,分析了在不同参数(锯丝线速度、工件进给速度、工件转速、超声振幅)下锯切的最高温度和变化曲线,为研究超声复合线锯锯切单晶硅的锯切机理提供了一定的研究参考。
展开更多
关键词
单晶硅
超声辅助线锯
ABAQUS
热瞬态分析
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
超声辅助线锯切割SiC单晶实验研究
被引量：
17
1
作者
李言
王肖烨
李淑娟
郑建明
袁启龙
机构
西安理工大学机械与精密仪器工程学院
宝鸡文理学院机电工程系
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期1076-1081,共6页
基金
国家自然科学基金(51175420)
陕西省科技攻关基金(2010k09-01)
+3 种基金
陕西省教育厅基金(11JK0849
11JS074
12JK0668)
宝鸡文理学院院级重点项目(ZK11164)
文摘
针对单晶SiC切割过程切割效率低,加工表面粗糙度和表面不平度差以及线锯磨损和断裂严重等问题,提出采用线锯横向施加超声振动的方法切割单晶SiC。通过实验对比研究了普通切割与超声辅助切割两种切割工艺,结果表明:与普通切割相比,超声辅助切割单晶SiC,锯切力减小37%～52%,且减小趋势随工件进给速度的增大更明显;切片表面粗糙度降幅约为26%～55%,晶片表面形貌均匀,无划痕,明显优于普通切割方法所获得的表面;线锯磨损降低约近40%;切割效率提高近56%。
关键词
SIC单晶
超声辅助线锯
切割
表面粗糙度
Keywords
SiC single crystal
ultrasonic-assisted wire sawing
surface roughness
分类号
O78 [理学—晶体学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
超声复合线锯锯切单晶硅的温度场仿真分析
被引量：
1
2
作者
郭明壮
王艳
宋李兴
机构
上海理工大学机械工程学院
出处
《农业装备与车辆工程》
2021年第3期98-102,共5页
文摘
单晶硅是一种硬脆性材料,采用超声复合工艺加工可以有效提高单晶硅的加工效率和质量。在超声复合工艺线锯锯切单晶硅的过程中,锯切温度场的分布影响单晶硅片表面质量。鉴于此,从锯切温度入手,分析超声复合工艺线锯锯切单晶硅的原理,建立仿真模型,充分考虑发热机理和各种散热条件,利用仿真软件ABAQUS对锯切单晶硅的过程进行热瞬态分析,分析了在不同参数(锯丝线速度、工件进给速度、工件转速、超声振幅)下锯切的最高温度和变化曲线,为研究超声复合线锯锯切单晶硅的锯切机理提供了一定的研究参考。
关键词
单晶硅
超声辅助线锯
ABAQUS
热瞬态分析
Keywords
monocrystalline silicon
ultrasonic vibration-assisted diamond wire saw
ABAQUS
transient thermal analysis
分类号
TB559 [理学—声学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超声辅助线锯切割SiC单晶实验研究
李言
王肖烨
李淑娟
郑建明
袁启龙
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
17
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
超声复合线锯锯切单晶硅的温度场仿真分析
郭明壮
王艳
宋李兴
《农业装备与车辆工程》
2021
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
