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一种新型超声波流量传感器
被引量：
6
1
作者
李艳
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2012年第7期12-15,共4页
介绍了以AT89C52单片机为核心,以CD4049串并联组合及超声波发射换能器TCT40-10F1构成超声波发射电路,以CX20106A红外集成电路为核心构成超声波接收电路,采用C语言编程的超声波测流量系统。系统由电源、超声波发射装置、超声波接收装置...
介绍了以AT89C52单片机为核心,以CD4049串并联组合及超声波发射换能器TCT40-10F1构成超声波发射电路,以CX20106A红外集成电路为核心构成超声波接收电路,采用C语言编程的超声波测流量系统。系统由电源、超声波发射装置、超声波接收装置、键盘输入、流量显示、报警装置、通信设备等组成。采用了速差法测流量的原理,从而消除了温度对测量结果的影响。同时采用一发一收双传感器的测量方案,降低了传感器盲区对测量精度的影响,提高了超声波测量的精度和可靠性。
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关键词
单片机
超声波流量传感器
速差法
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职称材料
矿用超声波明渠流量计的设计
2
作者
徐乐年
刘伟光
王全
《工矿自动化》
2011年第4期22-27,共6页
针对矿井水中含有的煤粉、泥沙等杂质淤积在明渠流量计探头表面而使其无法正常工作的问题,设计了一种基于M-Bus的矿用超声波明渠流量计。该流量计由量水堰槽、智能超声波流量传感器组成,选定量水堰槽可确定实时流量与实测水头高度的关系...
针对矿井水中含有的煤粉、泥沙等杂质淤积在明渠流量计探头表面而使其无法正常工作的问题,设计了一种基于M-Bus的矿用超声波明渠流量计。该流量计由量水堰槽、智能超声波流量传感器组成,选定量水堰槽可确定实时流量与实测水头高度的关系式,通过智能超声波流量传感器测出水头高度即可计算出明渠的实时流量。实际应用表明,该流量计具有测量准确、可靠性高、操作简单等优点。
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关键词
煤矿
明渠
流量
计
超声波流量传感器
压电换能器
中周电感
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职称材料
面向半导体湿法制程的超洁净流控技术综述
被引量：
5
3
作者
杨津宇
杨军
+5 位作者
白晓蓉
任政钢
刘成卫
龚轩
胡亮
阮晓东
《液压与气动》
北大核心
2022年第5期1-17,共17页
湿法工艺作为半导体工艺的重要组成部分,通过化学品(酸、碱、溶剂等)与超纯水等液体介质,对晶圆表面进行刻蚀、清洗等处理,其制程需避免颗粒、金属、离子、细菌等污染物带来的工艺缺陷。为此,湿法工艺相关的化学品系统、超纯水系统与制...
湿法工艺作为半导体工艺的重要组成部分,通过化学品(酸、碱、溶剂等)与超纯水等液体介质,对晶圆表面进行刻蚀、清洗等处理,其制程需避免颗粒、金属、离子、细菌等污染物带来的工艺缺陷。为此,湿法工艺相关的化学品系统、超纯水系统与制程装备均需采用超洁净流控部件,但相关产品被国外垄断,我国对该技术领域的研究仍处起步阶段。该研究首先阐述了半导体湿法制程对超洁净流控部件的需求,剖析了该类部件的主要技术特征。进而,重点介绍了磁悬浮泵、波纹管泵、隔膜阀以及超声波流量传感器等超洁净流控部件的工作原理与发展历程,并分析了其关键技术与研究现状。最后,对超洁净流控技术的发展做出了展望。
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关键词
半导体
湿法制程
超洁净流控
磁悬浮泵
波纹管泵
隔膜阀
超声波流量传感器
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职称材料
题名
一种新型超声波流量传感器
被引量：
6
1
作者
李艳
机构
陕西科技大学电信学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2012年第7期12-15,共4页
文摘
介绍了以AT89C52单片机为核心,以CD4049串并联组合及超声波发射换能器TCT40-10F1构成超声波发射电路,以CX20106A红外集成电路为核心构成超声波接收电路,采用C语言编程的超声波测流量系统。系统由电源、超声波发射装置、超声波接收装置、键盘输入、流量显示、报警装置、通信设备等组成。采用了速差法测流量的原理,从而消除了温度对测量结果的影响。同时采用一发一收双传感器的测量方案,降低了传感器盲区对测量精度的影响,提高了超声波测量的精度和可靠性。
关键词
单片机
超声波流量传感器
速差法
Keywords
single-computer
ultrasonic transmitting transducer
speed difference method
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
矿用超声波明渠流量计的设计
2
作者
徐乐年
刘伟光
王全
机构
山东科技大学信息与电气工程学院
山东科技大学机械电子工程学院
出处
《工矿自动化》
2011年第4期22-27,共6页
基金
山东省高等学校科技计划项目(J09LG20)
文摘
针对矿井水中含有的煤粉、泥沙等杂质淤积在明渠流量计探头表面而使其无法正常工作的问题,设计了一种基于M-Bus的矿用超声波明渠流量计。该流量计由量水堰槽、智能超声波流量传感器组成,选定量水堰槽可确定实时流量与实测水头高度的关系式,通过智能超声波流量传感器测出水头高度即可计算出明渠的实时流量。实际应用表明,该流量计具有测量准确、可靠性高、操作简单等优点。
关键词
煤矿
明渠
流量
计
超声波流量传感器
压电换能器
中周电感
Keywords
coal mine
open-channel flowmeter
ultrasonic flow sensor
piezoelectric transducer
mid-peripheral inductance
分类号
TD442.2 [矿业工程—矿山机电]
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职称材料
题名
面向半导体湿法制程的超洁净流控技术综述
被引量：
5
3
作者
杨津宇
杨军
白晓蓉
任政钢
刘成卫
龚轩
胡亮
阮晓东
机构
浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室
浙江启尔机电技术有限公司
出处
《液压与气动》
北大核心
2022年第5期1-17,共17页
文摘
湿法工艺作为半导体工艺的重要组成部分,通过化学品(酸、碱、溶剂等)与超纯水等液体介质,对晶圆表面进行刻蚀、清洗等处理,其制程需避免颗粒、金属、离子、细菌等污染物带来的工艺缺陷。为此,湿法工艺相关的化学品系统、超纯水系统与制程装备均需采用超洁净流控部件,但相关产品被国外垄断,我国对该技术领域的研究仍处起步阶段。该研究首先阐述了半导体湿法制程对超洁净流控部件的需求,剖析了该类部件的主要技术特征。进而,重点介绍了磁悬浮泵、波纹管泵、隔膜阀以及超声波流量传感器等超洁净流控部件的工作原理与发展历程,并分析了其关键技术与研究现状。最后,对超洁净流控技术的发展做出了展望。
关键词
半导体
湿法制程
超洁净流控
磁悬浮泵
波纹管泵
隔膜阀
超声波流量传感器
Keywords
semiconductor
wet process
ultra-clean flow control
magnetic levitation pump
bellows pump
diaphragm valve
ultrasonic flow sensor
分类号
TH137 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种新型超声波流量传感器
李艳
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2012
6
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职称材料
2
矿用超声波明渠流量计的设计
徐乐年
刘伟光
王全
《工矿自动化》
2011
0
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下载PDF
职称材料
3
面向半导体湿法制程的超洁净流控技术综述
杨津宇
杨军
白晓蓉
任政钢
刘成卫
龚轩
胡亮
阮晓东
《液压与气动》
北大核心
2022
5
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