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超分辨近场结构之纳米光刻技术 被引量:5
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作者 王沛 张斗国 +3 位作者 唐麟 鲁拥华 焦小瑾 明海 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期840-843,共4页
超分辨近场结构(Super-RENS)是在传统的超分辨光盘技术和近场光学的基础上发展起来的新技 术。介绍了超分辨近场结构的基本原理及其在纳米光刻方面的应用,拓展了超分辨近场结构的外延:在近场范 围内,能实现超过衍射极限的纳米多层膜结... 超分辨近场结构(Super-RENS)是在传统的超分辨光盘技术和近场光学的基础上发展起来的新技 术。介绍了超分辨近场结构的基本原理及其在纳米光刻方面的应用,拓展了超分辨近场结构的外延:在近场范 围内,能实现超过衍射极限的纳米多层膜结构。局域表面等离子体效应在高密光存储、纳米光刻等纳米光子学 研究领域具有重要的科学意义和应用价值。 展开更多
关键词 近场光学 超分辨近场结构 纳米光刻 局域表面等离子体效应
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超分辨近场结构光磁混合存储介质的温度场模拟 被引量:1
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作者 程晓敏 王昊 +3 位作者 杨晓非 缪向水 李震 李佐宜 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1800-1804,共5页
为了进一步减小光磁混合存储记录位尺寸,建立了用于光磁混合存储记录介质的超分辨近场结构膜层模型、近场光场模型及温度场模型,采用有限元方法对超分辨近场结构光磁混合存储介质记录层的温度场进行了计算模拟。计算中采用的光磁混合记... 为了进一步减小光磁混合存储记录位尺寸,建立了用于光磁混合存储记录介质的超分辨近场结构膜层模型、近场光场模型及温度场模型,采用有限元方法对超分辨近场结构光磁混合存储介质记录层的温度场进行了计算模拟。计算中采用的光磁混合记录介质膜层结构为C(2 nm)/Sb(10 nm)/SiN(10 nm)/Co75Cr15Pt10(30 nm)。当写入温度为550 K时,随着入射激光功率的增加,光磁混合存储介质记录层温度场可写入区域面积增加。当激光功率从3.9 mW增至6.9 mW时,温度场可写入区域横向及纵向尺寸增加约1倍,记录密度减小至原记录密度的1/4。 展开更多
关键词 超分辨近场结构 光磁混合存储介质 温度场
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超分辨近场结构中Bubble微结构的远场光学特性分析 被引量:1
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作者 瞿青玲 王阳 干福熹 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期177-180,共4页
以菲涅尔-基尔霍夫衍射理论为基础,建立了超分辨近场结构中Bubble微结构对高斯光束的衍射模型.分析了PtOx型超分辨近场结构(PtOx-Type-Super-RENS)中Bubble微结构的远场光学特性.结果表明,设计的Bubble微结构形成过程的简化模型可基本... 以菲涅尔-基尔霍夫衍射理论为基础,建立了超分辨近场结构中Bubble微结构对高斯光束的衍射模型.分析了PtOx型超分辨近场结构(PtOx-Type-Super-RENS)中Bubble微结构的远场光学特性.结果表明,设计的Bubble微结构形成过程的简化模型可基本反映超分辨近场结构中掩膜结构在激光作用下的结构变化过程,说明了高斯衍射模型是研究薄膜微结构变化的一种有效方法. 展开更多
关键词 超分辨近场结构(Super-RENS) 高斯衍射模型 bubble微结构 远场
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超分辨近场结构光盘的研究进展
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作者 张东玲 汤清彬 施德恒 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2005年第5期7-9,共3页
超分辨近场结构(Super-RENS)光数据存储方案在近场超高密度光数据存储方面具有巨大的发展潜力和广阔的发展前景。在此方案中,超分辨结构的非线性层起着至关重要的作用。本文简述了Super-RENS光盘中两种类型光盘的结构及优点,并着重介绍... 超分辨近场结构(Super-RENS)光数据存储方案在近场超高密度光数据存储方面具有巨大的发展潜力和广阔的发展前景。在此方案中,超分辨结构的非线性层起着至关重要的作用。本文简述了Super-RENS光盘中两种类型光盘的结构及优点,并着重介绍了其工作机理的研究进展。 展开更多
关键词 超分辨近场结构 光数据存储 工作机理 表面等离子体
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非线性光学器件
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《中国光学》 EI CAS 2003年第6期26-26,共1页
O437 2003064159基于近场激发与增强的新型多层纳米薄膜结构在非线性光学器件上的应用与发展前景=Development and prospectof novel nonlinear optical device consisting in multi-layernanometer films based on near-field excitati... O437 2003064159基于近场激发与增强的新型多层纳米薄膜结构在非线性光学器件上的应用与发展前景=Development and prospectof novel nonlinear optical device consisting in multi-layernanometer films based on near-field excitation and enhancement[刊,中]/朱若剑(清华大学精密仪器与机械学院,精密测试技术及仪器国家重点实验室.北京(100084)),王佳…∥光学技术.-2002,28(6).-515-517具有多层纳米薄膜结构的超分辨近场结构(Super- 展开更多
关键词 非线性光学器件 薄膜结构 应用与发展 超分辨近场结构 纳米 测试技术 国家重点实验室 精密仪器 机械学 光学技术
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信息光学 光学记录、存储与器件
6
《中国光学与应用光学》 2007年第5期51-51,共1页
关键词 信息光学 晶体 CU LI 超分辨近场结构 掩模 器件
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