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半导体厂超净供气系统
被引量：
2
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作者
梁国仑
余京松
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第5期59-63,共5页
介绍了集成电路制造用的电子气体中粒子控制规范、供气系统用的材料及其处理技术、供气管路和配件技术。
关键词
粒子规范
半导体厂
超净供气系统
兆位级IC
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职称材料
题名
半导体厂超净供气系统
被引量：
2
1
作者
梁国仑
余京松
机构
化工部光明化工研究设计院
浙江大学材料系功能室
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第5期59-63,共5页
文摘
介绍了集成电路制造用的电子气体中粒子控制规范、供气系统用的材料及其处理技术、供气管路和配件技术。
关键词
粒子规范
半导体厂
超净供气系统
兆位级IC
Keywords
Gas distribution system Particle filtering Particle counter Particle standardsAPPLICATION TO FAULT DIAGNOSIS$$$$ PEN Zhi gang\ ZHANG Ji hui\ XU Xin he (Control & Simulation Center, Northeasterh University, Shenyang\ 110006)Abstract A
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TN305 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
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1
半导体厂超净供气系统
梁国仑
余京松
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1999
2
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