期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
赝火花脉冲电子束烧蚀制备纳米薄膜
被引量：
3
1
作者
韩丽君
江兴流
文雄伟
《航空材料学报》
EI
CAS
CSCD
2002年第2期24-28,共5页
类似于脉冲激光束烧蚀法制备薄膜 ,利用纳秒赝火花脉冲电子束与靶材料相互作用 ,通过靶材料的瞬间熔化、蒸发或以团簇抛出的方式 ,在低温衬底上重新成核、凝结 ,得到了与靶材的化学计量比相同的薄膜。讨论了材料烧蚀和沉积过程中出现的...
类似于脉冲激光束烧蚀法制备薄膜 ,利用纳秒赝火花脉冲电子束与靶材料相互作用 ,通过靶材料的瞬间熔化、蒸发或以团簇抛出的方式 ,在低温衬底上重新成核、凝结 ,得到了与靶材的化学计量比相同的薄膜。讨论了材料烧蚀和沉积过程中出现的诸多现象 ,并给出高分辨电子显微镜、X射线衍射、光电子能谱分析等方法的测试结果。研究表明 ,由于赝火花脉冲电子束高功率密度 (10 9W cm2 )的瞬态烧蚀作用 ,为研究和制备多元素氧化物薄膜、难熔金属多层膜或氧化物
展开更多
关键词
赝火花脉冲电子束
烧蚀
制备
纳米薄膜
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
赝火花脉冲电子束烧蚀制备纳米薄膜
被引量：
3
1
作者
韩丽君
江兴流
文雄伟
机构
北京航空航天大学材料科学与工程系
北京航空航天大学理学院
出处
《航空材料学报》
EI
CAS
CSCD
2002年第2期24-28,共5页
基金
国家自然科学基金资助 (192 75 0 2 0 )
航空科学基金资助 (0 0G5 10 0 4 )
文摘
类似于脉冲激光束烧蚀法制备薄膜 ,利用纳秒赝火花脉冲电子束与靶材料相互作用 ,通过靶材料的瞬间熔化、蒸发或以团簇抛出的方式 ,在低温衬底上重新成核、凝结 ,得到了与靶材的化学计量比相同的薄膜。讨论了材料烧蚀和沉积过程中出现的诸多现象 ,并给出高分辨电子显微镜、X射线衍射、光电子能谱分析等方法的测试结果。研究表明 ,由于赝火花脉冲电子束高功率密度 (10 9W cm2 )的瞬态烧蚀作用 ,为研究和制备多元素氧化物薄膜、难熔金属多层膜或氧化物
关键词
赝火花脉冲电子束
烧蚀
制备
纳米薄膜
Keywords
Crystalline materials
Deposition
Electron beams
Laser ablation
Laser beams
Melting
Multilayers
Nucleation
Synthesis (chemical)
Vaporization
分类号
TB43 [一般工业技术]
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
赝火花脉冲电子束烧蚀制备纳米薄膜
韩丽君
江兴流
文雄伟
《航空材料学报》
EI
CAS
CSCD
2002
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
