基于构型优化的高阶模态微质量传感器灵敏度提升方法 被引量：4

1

作者 赵剑 张淑敏 高仁璟 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期656-662,共7页

高灵敏度是微质量传感器准确探测细菌、病毒和气体等物质的关键指标。虽然借助微型化的高阶模态梁振动可以有效提升探测灵敏度,但微尺度效应也降低了传感器的抗环境干扰能力。因此,如何在特定尺度约束下提升高阶模态传感器的灵敏度已成... 高灵敏度是微质量传感器准确探测细菌、病毒和气体等物质的关键指标。虽然借助微型化的高阶模态梁振动可以有效提升探测灵敏度,但微尺度效应也降低了传感器的抗环境干扰能力。因此,如何在特定尺度约束下提升高阶模态传感器的灵敏度已成为谐振式微传感器设计的前沿问题。本文在研究弹性梁几何构型、压电层尺寸与有效质量分布对振动模态影响关系的基础上,建立了压电驱动多阶梯梁式微质量传感器的灵敏度分析模型,以传感器灵敏度提升最大为目标,建立了高阶振动模态下悬臂梁几何构型优化设计模型,得到了在不同振动模态下具有最高灵敏度的悬臂梁构型,使同尺寸传感器的灵敏度提升了10.0~15.0倍。考虑驱动位置与制造成本约束,设计并研制了具有六阶梯梁结构的高阶模态微质量传感器。实验结果表明,总长度为17.6mm的六阶梯梁微质量传感器的灵敏度为18.8×10~4 Hz/g,考虑制造误差的影响,其二阶模态灵敏度为同尺寸等截面梁传感器的10.0倍,较一阶模态同尺寸传感器灵敏度提升了19.8倍,从而验证了所提出的高阶模态微质量传感器灵敏度提升方法的有效性和可行性。 展开更多

关键词 微质量传感器 高阶模态 灵敏度 谐振 构型优化

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基于槽式悬臂梁结构的微质量传感器设计 被引量：3

2

作者 高仁璟 赵剑 +1 位作者 李雪 唐祯安 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期102-108,共7页

压电式微质量传感器的测试精度直接依赖于结构频率对质量变化的灵敏程度。本文利用对称槽型梁和压电薄膜组成的对称敏感结构,提出了一种提高传感器灵敏度的结构设计方法,并设计了一种高精度谐振式微质量传感器。建立了结构频率变化对吸... 压电式微质量传感器的测试精度直接依赖于结构频率对质量变化的灵敏程度。本文利用对称槽型梁和压电薄膜组成的对称敏感结构,提出了一种提高传感器灵敏度的结构设计方法,并设计了一种高精度谐振式微质量传感器。建立了结构频率变化对吸附质量敏感性的分析模型,并研究了槽型截面参数、自振频率及振动模态对灵敏度的影响。与矩形截面结构进行了仿真与实验对比,结果表明,相同几何尺寸参数下,槽型截面悬臂梁的一阶自振频率为1 851Hz,矩形截面悬臂梁的一阶自振频率为1 610Hz,相应的传感器灵敏度则分别为3.12×104 Hz/g和1.5×104 Hz/g,前者是后者的2倍。该项设计为提高微质量传感器灵敏度提供了一种新思路。 展开更多

关键词 质量传感器 槽型悬臂梁 压电薄膜 灵敏度

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基于倾斜AlN薄膜的体声波质量传感器的制备及性能分析 被引量：2

3

作者 熊娟 顾豪爽 +2 位作者 吴雯 杜鹏飞 胡明哲 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1114-1116,共3页

提出通过改变溅射气压获得倾斜于C轴的AlN薄膜的制备方法,探讨了倾斜AlN薄膜的生长机理。以3对交替沉积的Ti—Mo金属层为布拉格声学反射层,采用MEMS工艺制备了基于倾斜AlN薄膜的、以剪切模式振动的体声波液体传感器,并对器件的S11参数... 提出通过改变溅射气压获得倾斜于C轴的AlN薄膜的制备方法,探讨了倾斜AlN薄膜的生长机理。以3对交替沉积的Ti—Mo金属层为布拉格声学反射层,采用MEMS工艺制备了基于倾斜AlN薄膜的、以剪切模式振动的体声波液体传感器,并对器件的S11参数进行测试分析,得到传感器的中心频率为0.78GHz,表明该器件在生物液相检测领域具有一定的应用前景。 展开更多

关键词 质量传感器 倾斜AlN薄膜 磁控溅射 剪切振动

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梯形变截面悬臂梁式微质量传感器设计与分析 被引量：2

4

作者 高仁璟 赵剑 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第10期1349-1353,共5页

针对微小集中质量测量问题,提出并制备了一种梯形变截面悬臂梁式微质量传感器,建立了梯形变截面悬臂梁式微质量传感器的振动分析模型。采用有限元方法求解其振动控制方程,获得了微质量传感器的灵敏度。仿真分析结果表明,相对于等截面矩... 针对微小集中质量测量问题,提出并制备了一种梯形变截面悬臂梁式微质量传感器,建立了梯形变截面悬臂梁式微质量传感器的振动分析模型。采用有限元方法求解其振动控制方程,获得了微质量传感器的灵敏度。仿真分析结果表明,相对于等截面矩形悬臂梁式微质量传感器,单层压电和双层压电结构的变截面悬臂梁传感器的灵敏度分别提高了127.00%和263.00%。采用线切割工艺,加工制备了单压电层梯形变截面结构的微质量传感器并对传感器进行了实验测试,在误差允许范围内,仿真结果与实验结果基本一致,验证了采用梯形变截面悬臂梁式结构可以有效的提高传感器的灵敏度。 展开更多

关键词 微质量传感器 梯形变截面悬臂梁 灵敏度 谐振频率

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梯形变截面悬臂梁式质量传感器设计与分析 被引量：2

5

作者 赵剑 朱传月 高仁璟 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期2641-2646,共6页

谐振式微质量传感器的灵敏度取决于弹性元件的几何尺寸和结构形式。单纯依靠结构尺寸微型化方法已难以满足传感器工程实用性的要求,因而需要探索新的改善传感器性能的方法。在保证传感器外形尺寸不变的基础上,提出通过改变弹性梁的表面... 谐振式微质量传感器的灵敏度取决于弹性元件的几何尺寸和结构形式。单纯依靠结构尺寸微型化方法已难以满足传感器工程实用性的要求,因而需要探索新的改善传感器性能的方法。在保证传感器外形尺寸不变的基础上,提出通过改变弹性梁的表面形状(梯形)和截面构型(槽型)来进一步提升传感器灵敏度的新方法,建立了基于槽型变截面弹性梁的传感器灵敏度分析模型,分析了影响传感器灵敏度的关键设计因素,得到了结构设计参数、自振频率及灵敏度之间的关系表达式。仿真结果表明,在相同外形尺寸参数下,矩形截面悬臂梁传感器的自振频率和质量检测灵敏度为1 254.2 Hz和9.8×103Hz/g,槽型变截面悬臂梁传感器的自振频率和灵敏度为1 776.1 Hz和38.0×103Hz/g。相对于矩形截面梁传感器,灵敏度提高了287.8%,从而验证了提出的灵敏度提升方法的有效性和可行性。 展开更多

关键词 质量传感器 变截面悬臂梁 灵敏度

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Y型声表面波质量传感器 被引量：2

6

作者 章安良 朱大中 《传感技术学报》 CAS CSCD 2003年第4期457-460,414,共5页

报道了在 12 8°Y切割X传播方向的LiNbO3基片上设计并研制的中心频率为 12 2MHz的Y型双声路质量传感器 ,它具有一个参考声路臂和一个测量声路臂 ,每声路中有一个采用光刻工艺精确定位的质量沉积区。本文阐述了质量沉积效应的原理、... 报道了在 12 8°Y切割X传播方向的LiNbO3基片上设计并研制的中心频率为 12 2MHz的Y型双声路质量传感器 ,它具有一个参考声路臂和一个测量声路臂 ,每声路中有一个采用光刻工艺精确定位的质量沉积区。本文阐述了质量沉积效应的原理、器件的设计方法。采用振荡的方式对器件的性能进行测试。测试结果表明 :该器件的两声路频谱对称性良好 ,并且有良好的相对温度系数 ,仅为 12Hz/℃左右。器件的质量沉积效应灵敏度约为 3 6GHz·cm2 /g 。 展开更多

关键词 声表面波传感器 Y型双声路质量传感器 质量沉积效应 温度系数

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新型MEMS质量传感器的研究 被引量：1

7

作者 熊磊 焦继伟 +2 位作者 葛道晗 宓斌伟 张轩雄 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2011年第8期1-3,16,共4页

研究了一种新型MEMS质量传感器的设计、仿真与制造。这种用于流体中微小分子质量检测的MEMS器件,具有高度对称的中空圆盘结构,以谐振的方式工作于简并/解并模态,能在测量时实现对环境波动的自我补偿。器件的中空腔内可以流过被测流体,... 研究了一种新型MEMS质量传感器的设计、仿真与制造。这种用于流体中微小分子质量检测的MEMS器件,具有高度对称的中空圆盘结构,以谐振的方式工作于简并/解并模态,能在测量时实现对环境波动的自我补偿。器件的中空腔内可以流过被测流体,腔外的真空环境使得圆盘谐振器受到更小的阻尼。利用ANSYS对圆盘在质量吸附前后的模态及频率分裂进行仿真,计算结果显示对质量的测量灵敏度达pg量级。采用MEMS双牺牲层工艺方法成功制作出具有双层结构的空心圆盘谐振器。 展开更多

关键词 MEMS 谐振器 质量传感器 自补偿

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基于微流体技术的FBAR微质量传感器 被引量：1

8

作者 吕启蒙 吴光敏 +2 位作者 楚合群 JOHN D Mai 陈剑鸣 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第5期686-689,693,共5页

基于微机电系统(MEMS)技术的薄膜体声波谐振器(FBAR)在无线通讯领域取得了巨大的成功后,由于其具备厚度薄,体积小,与IC兼容及谐振频率和灵敏度都远高于传统的微质量传感器(如石英晶体微天平)等优势,逐渐在微生物分子检测方面崭露头角。... 基于微机电系统(MEMS)技术的薄膜体声波谐振器(FBAR)在无线通讯领域取得了巨大的成功后,由于其具备厚度薄,体积小,与IC兼容及谐振频率和灵敏度都远高于传统的微质量传感器(如石英晶体微天平)等优势,逐渐在微生物分子检测方面崭露头角。由于微生物分子大都生存于液体环境,而纵波模式下FBAR微质量传感器在液体环境中声波损耗大,其品质因数Q值只有3.53。因此,该文在分析了纵波模式下FBAR微质量传感器在气相和液相环境中的特性后,针对液相环境中传感器Q值较低问题,设计了一种具有微通道的FBAR微质量传感器,使其Q值达到30.85,增加了近9倍,从而提升了纵波模式下FBAR微质量传感器对液体中微生物分子检测的性能。 展开更多

关键词 薄膜体声波谐振器（FBAR） 微机电系统（MEMS） 微流体 微质量传感器 品质因数

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移动式空气质量传感器的研究与应用进展 被引量：4

9

作者 汤明珍 任建宁 +1 位作者 伍丽青 高健 《环境科学研究》 CAS CSCD 北大核心 2022年第4期971-978,共8页

移动式空气质量传感器作为一种成本低、机动性和灵活性高、使用场景丰富的测量工具,近年来在大气环境监测和污染溯源领域得到广泛应用.本研究通过文献调研方式对国内外移动式空气质量传感器的研究和应用进行综述.移动式空气质量传感器... 移动式空气质量传感器作为一种成本低、机动性和灵活性高、使用场景丰富的测量工具,近年来在大气环境监测和污染溯源领域得到广泛应用.本研究通过文献调研方式对国内外移动式空气质量传感器的研究和应用进行综述.移动式空气质量传感器的研究主要有数据质量评估及数据校准,本研究总结了移动式空气质量传感器数据质量的评价指标和校准方法.根据移动式空气质量传感器搭载平台的移动路径可将其应用分为固定路线移动监测、随机路线移动监测以及可操控移动监测三大类,总结其在环境空气质量监测、污染源监控、个人健康暴露研究、排放源清单动态识别等领域的优势和不足,并展望其发展方向和应用前景.移动式空气质量传感器的应用主要存在以下几方面问题:①与固定式传感器相比,移动式空气质量传感器除受环境影响较大外,还受搭载平台的运行速度及振荡幅度影响,且校准困难;②移动式空气质量传感器的不足限制了其监测能力,因此应用场景有一定局限性;③移动式空气质量传感器能产生大量高时空分辨率的数据,但目前利用率较低且与其他数据的融合度较差.因此,应通过硬件或算法升级,以提高移动式空气质量传感器的稳定性及可靠性,适应更复杂的走航环境,保证数据质量,并与多种数据进行融合,丰富应用场景. 展开更多

关键词 移动式 空气质量传感器 数据质量评估

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基于模态局部化的可调式压电驱动谐振质量传感器的设计 被引量：4

10

作者 刘汉彪 王发光 +2 位作者 刘晨 李磊 马驰骋 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第6期877-884,共8页

该文提出了一种基于模态局部化现象来检测外部质量扰动的可调式压电驱动谐振质量传感器,质量传感器的检测结构由两个不同长度的悬臂梁通过机械耦合梁连接。首先利用哈密顿原理对压电驱动下的非对称谐振元件进行理论建模,采用伽辽金方法... 该文提出了一种基于模态局部化现象来检测外部质量扰动的可调式压电驱动谐振质量传感器,质量传感器的检测结构由两个不同长度的悬臂梁通过机械耦合梁连接。首先利用哈密顿原理对压电驱动下的非对称谐振元件进行理论建模,采用伽辽金方法求解,得到前两阶模态下的振动特性;理论求解所得固有频率与COMSOL仿真分析、实验数据基本一致。实验研究表明,无调谐质量的谐振器检测范围为2~10 mg,添加调谐质量后的谐振器检测范围提高至1~13 mg,质量检测的分辨率也得到优化。此外,对传感器的结构进行非线性分析研究发现,超谐振动下的谐振器检测灵敏度提升了80%,这为非线性谐振传感器的设计提供了基础。 展开更多

关键词 压电驱动 模态局部化 可调谐质量传感器 质量扰动 超谐振动

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轴向拉力对微梁质量传感器精度和热弹性阻尼的影响

11

作者 陈思宇 国凤林 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2020年第9期112-117,共6页

针对存在轴向拉力的矩形截面微梁谐振式质量传感器中的质量传感灵敏度、热弹性阻尼以及最小检测质量等问题进行了深入的研究。推导了质量传感器在存在轴向拉力情况下的检测灵敏度、热弹性阻尼以及最小检测质量的表达式。揭示了轴向拉力... 针对存在轴向拉力的矩形截面微梁谐振式质量传感器中的质量传感灵敏度、热弹性阻尼以及最小检测质量等问题进行了深入的研究。推导了质量传感器在存在轴向拉力情况下的检测灵敏度、热弹性阻尼以及最小检测质量的表达式。揭示了轴向拉力对质量传感器的工作性能的影响机理。结果表明:轴向拉力会提高质量传感灵敏度;轴向拉力会降低谐振器的热弹性阻尼;轴向拉力可以使得质量传感器捕获更微小的检测质量。 展开更多

关键词 微纳米质量传感器 轴向预应力 检测灵敏度 热弹性阻尼 最小检测质量

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空气质量流量传感器的流场分析及安装位置优化 被引量：3

12

作者 周爱国 陈羽 +1 位作者 周全 陆敏恂 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2011年第10期7-9,共3页

对管道气体流场模型进行了说明。空气质量传感器安装在滤清器出口的进气管道中,用Fluent仿真软件对模型做流场分析,改变传感器水平方向和垂直方向的安装位置,得出多组速度数据进行比较分析,确定其最优安装位置。仿真结果表明,随着传感... 对管道气体流场模型进行了说明。空气质量传感器安装在滤清器出口的进气管道中,用Fluent仿真软件对模型做流场分析,改变传感器水平方向和垂直方向的安装位置,得出多组速度数据进行比较分析,确定其最优安装位置。仿真结果表明,随着传感器的垂直方向安装位置从管道底部向管道顶部的上移,且水平方向安装位置从滤清器出口向外移,其热电阻表面流场的同一水平方向的速度一致性变好,但垂直方向速度梯度变大,兼顾速度一致性和速度梯度,得到传感器的热电阻处于管道中心垂直往上h,且距离滤清器出口1.3H的优化位置。 展开更多

关键词 空气质量传感器 湍流模型 空气流场仿真

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空气质量流量传感器的内部流道建模与设计

13

作者 周爱国 周全 +2 位作者 陈羽 陆敏恂 林永佳 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第3期94-97,共4页

对于空气质量传感器中的热电阻表面流场分布,需要设计一种合适的内部小流道,能使得热电阻表面的流场分布合理。选择流场湍流模型,仿真分析了直线形壁面和几种圆弧形壁面的内部小流道的流场分布,研究了它们的流场分布特性,确定了热电阻... 对于空气质量传感器中的热电阻表面流场分布,需要设计一种合适的内部小流道,能使得热电阻表面的流场分布合理。选择流场湍流模型,仿真分析了直线形壁面和几种圆弧形壁面的内部小流道的流场分布,研究了它们的流场分布特性,确定了热电阻的安装位置。仿真结果表明:与直线形流道相比,圆弧形流道具有较好的同一水平方向的速度一致性和较小的垂直方向速度梯度,圆弧半径为20mm的流道,其热电阻安装位置处的流场平均速度与进气管入口风速之间有很好的线性关系,适合作为传感器的内部小流道。 展开更多

关键词 空气质量传感器 湍流模型 流场仿真

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平行梁冲量式谷物质量流量传感器田间实验 被引量：27

14

作者 周俊 苗玉彬 +1 位作者 张凤传 刘成良 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期102-105,共4页

设计了平行梁冲量式谷物质量流量传感器,以该传感器为核心部件构建了测产系统。针对小麦、水稻两种不同谷物品种,不同联合收获机机型以及不同田间地面状况,于2004年夏秋两季分别在中国科学院栾城农业生态系统实验站和上海五四农场做了... 设计了平行梁冲量式谷物质量流量传感器,以该传感器为核心部件构建了测产系统。针对小麦、水稻两种不同谷物品种,不同联合收获机机型以及不同田间地面状况,于2004年夏秋两季分别在中国科学院栾城农业生态系统实验站和上海五四农场做了精准收获实验。实验结果表明,测产系统可以在正常农田地面状况下可靠地工作,单产和总产测量误差均小于10%,且对联合收获机机型以及谷物品种不敏感。 展开更多

关键词 精确农业 测产 谷物质量流量传感器 联合收获机

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悬臂梁冲量式谷物质量流量传感器阻尼设计 被引量：31

15

作者 周俊 周国祥 +1 位作者 苗玉彬 刘成良 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期121-123,127,共4页

基于悬臂梁受冲击力变形原理开发的联合收获机冲量式谷物质量流量传感器,在应用中测量精度易受到收获机基础振动的影响。对此,分析了测量中产量信号计算模型,指出悬臂梁弹性元件阻尼设计的重要性。提出了通过动力消振原理增加弹性元件... 基于悬臂梁受冲击力变形原理开发的联合收获机冲量式谷物质量流量传感器,在应用中测量精度易受到收获机基础振动的影响。对此,分析了测量中产量信号计算模型,指出悬臂梁弹性元件阻尼设计的重要性。提出了通过动力消振原理增加弹性元件阻尼的方法,进行了相应的理论分析。针对阻尼处理前后的弹性元件,开展了冲击响应实验。理论分析和实验结果都说明了该方法的有效性。 展开更多

关键词 联合收获机 冲量式谷物质量流量传感器 阻尼

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新型空气质量流量传感器的建模与设计 被引量：16

16

作者 余柏林 甘志银 +2 位作者 刘胜 曹蕙 徐静平 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1517-1521,共5页

热式质量流量传感器是在层流的条件下,通过加热电阻周围温度分布的变化来反映气体流量.本文通过在流道中设计内部小流道,把流速测试段的流态变为层流,并模拟了整个流场的的速度分布,在流速测试段得到比较理想的雷诺数Re≈12-110.在小流... 热式质量流量传感器是在层流的条件下,通过加热电阻周围温度分布的变化来反映气体流量.本文通过在流道中设计内部小流道,把流速测试段的流态变为层流,并模拟了整个流场的的速度分布,在流速测试段得到比较理想的雷诺数Re≈12-110.在小流道测试段的流速与内燃机进气管的平均流速成一固定比例系数,因此,通过测试小流道内的流速可以获得内燃机的进气量.通过模拟分析得到了在恒温加热的条件下,不同流速下的温度分布,从而获得不同流速下,测试点的距离与温度差的关系曲线,并找出了相应测试点的测试范围,最终获得了温差最大值对应的测试距离为140-210 m.通过在加热电阻两端设计了两对测温电阻,得到叠加信号对应最大流速精度为0.02 m/s. 展开更多

关键词 热式质量流量传感器 流场模拟 温度场模拟 双测试温敏电阻

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平行梁冲量式谷物质量流量传感器信号处理方法 被引量：26

17

作者 周俊 刘成良 《农业工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期183-187,共5页

冲量式谷物质量流量传感器是联合收割机测产系统的核心部件,但对振动干扰敏感。在传感器平行梁弹性元件结构优化设计基础上,给出了传感器输出信号的处理方法。设计了动态补偿器来改善传感器动态特性,以克服机械结构阻尼难以大幅度提高... 冲量式谷物质量流量传感器是联合收割机测产系统的核心部件,但对振动干扰敏感。在传感器平行梁弹性元件结构优化设计基础上,给出了传感器输出信号的处理方法。设计了动态补偿器来改善传感器动态特性,以克服机械结构阻尼难以大幅度提高弹性元件系统阻尼的问题;设计了自适应陷波滤波器,以消除工作环境中存在的非稳定低频振动干扰;给出了传感器零点动态修正方法,以减少农田地形变化对测量精度的影响。试验结果证明了各算法的有效性,其中大田测产误差小于10%。 展开更多

关键词 谷物质量流量传感器 信号处理 精准农业 联合收割机

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平行梁冲量式谷物质量流量传感器弹性元件设计 被引量：20

18

作者 周俊 刘成良 《农业工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期110-114,共5页

冲量式传感器具有结构简单、使用方便等优点,但容易受到基础振动的干扰。为此设计了平行梁结构冲量式谷物质量流量传感器弹性元件,对弹性元件安装端部采用了削弱设计。有限元分析表明该设计方案不仅符合应力集中原则,而且可以提高传感... 冲量式传感器具有结构简单、使用方便等优点,但容易受到基础振动的干扰。为此设计了平行梁结构冲量式谷物质量流量传感器弹性元件,对弹性元件安装端部采用了削弱设计。有限元分析表明该设计方案不仅符合应力集中原则,而且可以提高传感器抵抗振动干扰的能力。给出了传感器电桥电路,以及后续放大、电压电流变换等调理电路,使得传感器输出零点可以方便调节,降低了传感器在联合收割机上的安装要求。试验结果表明,传感器线性度误差小于0.1%,输出不受外力作用点的影响,同时具备了合适的工作频带宽度。 展开更多

关键词 谷物质量流量传感器 测产 精确农业 联合收割机

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光电式籽棉质量流量传感器的试验研究 被引量：3

19

作者 梁锦 马蓉 +2 位作者 张长龙 石翔 谢振伟 《农机化研究》 北大核心 2016年第6期200-204,共5页

针对籽棉在管道中的输送过程,设计了一种光电式籽棉质量流量传感器,以实现籽棉质量流量的检测。在籽棉质量流量试验台上对该传感器进行了测试与研究,确定了籽棉质量流量和光电传感器输出信号的关系,发现二者的有非常良好的线性关系,并... 针对籽棉在管道中的输送过程,设计了一种光电式籽棉质量流量传感器,以实现籽棉质量流量的检测。在籽棉质量流量试验台上对该传感器进行了测试与研究,确定了籽棉质量流量和光电传感器输出信号的关系,发现二者的有非常良好的线性关系,并对二者进行了线性拟合,拟合度R2=0.99,表明该传感器是非常具有潜力的。 展开更多

关键词 籽棉 质量流量传感器 光电式

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热隔离式MEMS气体质量流量传感器设计 被引量：3

20

作者 谷永先 曾鸿江 +2 位作者 邬林 胡娜娜 钱江蓉 《传感器与微系统》 CSCD 2016年第6期72-74,共3页

研制了一种热隔离式微机电系统（MEMS）气体质量流量传感器。加热电阻器和上下游测温电阻器采用热隔离悬梁式结构,间隔240μm。对恒温差电路的设计要点进行了分析并制作了系统电路。测试拟合了传感器输出电压随气体流量的关系曲线,并对... 研制了一种热隔离式微机电系统（MEMS）气体质量流量传感器。加热电阻器和上下游测温电阻器采用热隔离悬梁式结构,间隔240μm。对恒温差电路的设计要点进行了分析并制作了系统电路。测试拟合了传感器输出电压随气体流量的关系曲线,并对传感器进行了标定。测试结果表明：在0～20 L/min的流量范围内,传感器响应速度快,灵敏度高,输出信号平滑,适合于工业及医疗等领域。 展开更多

关键词 微机电系统 热隔离 气体质量流量传感器 恒温差

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