氦质谱检漏仪入口压力与显示值的关系研究 被引量：16

1

作者 王勇 黄锡宁 孙立臣 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期32-36,共5页

文中首先从理论上推导出检漏仪的入口压力与显示值的数学关系表达式,其次通过试验验证了该表达式的正确性。与此同时,提出了一种测试检漏仪线性性能的新方法。研究结果表明:检漏仪的入口压力与显示值是线性关系;当温度和测试气体的浓度... 文中首先从理论上推导出检漏仪的入口压力与显示值的数学关系表达式,其次通过试验验证了该表达式的正确性。与此同时,提出了一种测试检漏仪线性性能的新方法。研究结果表明:检漏仪的入口压力与显示值是线性关系;当温度和测试气体的浓度一定时,该线性关系的斜率是检漏仪的本质属性,只与检漏仪自身的参数有关。 展开更多

关键词 泄漏检测 氦质谱检漏仪 吸枪法 入口压力 显示值 压缩比

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氦质谱检漏仪背压检漏标准剖析及非标漏率计算程序 被引量：10

2

作者 薛大同 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期20-26,共7页

本文叙述了对密封器件进行氦质谱检漏仪背压检漏的步骤.在此基础上,从真空技术的基本原理出发,分析给出了测量漏率R与等效标准漏率L的关系式,指出无法得到L的解析表达式以及为避免由R求L时出现双值,L不应超过其极大值点,用数值计算和曲... 本文叙述了对密封器件进行氦质谱检漏仪背压检漏的步骤.在此基础上,从真空技术的基本原理出发,分析给出了测量漏率R与等效标准漏率L的关系式,指出无法得到L的解析表达式以及为避免由R求L时出现双值,L不应超过其极大值点,用数值计算和曲线拟合的方法给出了L极大值点的拟合公式;介绍了GB/T 2423.23规定的查表法和诺模图计算法,指出了其表5中的个别数据错误,给出了不同有效容积V下去除压力后到检测漏率之间的停留时间t2对R的衰减因子曲线簇,提出据此灵活确定最大t2的优点;介绍了GJB128A,GJB360A,GJB548A规定的固定法和灵活法,给出了与固定法所规定的R的拒收极限相对应的L和严酷等级,指出固定法不适合需要高气密等级的场合及不应混淆R与L的界线,给出了与灵活法所规定的L的拒收规范值相对应的严酷等级,指出对于不同V值严酷等级从几十到上千,显得很不规范;介绍了R-L关系曲线法,该方法在V、加压压力PE、加压时间t1以及t2不变的情况下,预先给出R-L关系曲线,检漏操作人员可用此曲线由R反查出L;提出由R求L完全可以由计算机采用优选法快速、可靠搜索出来. 展开更多

关键词 密封器件 检漏 氦质谱检漏仪 背压法 漏率计算 程序

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氦质谱检漏仪的一种辅助装置

3

作者 周永安 王云芳 +1 位作者 程义然 孙兆瑞 《实验室研究与探索》 CAS 1996年第1期84-85,共2页

氦质谱检漏仪的一种辅助装置合肥工业大学周永安，王云芳，程义然，孙兆瑞氦质谱检漏仪是利用质荷比的氦分压对被检件进行无损检漏，它是一种灵敏度高、反应时间快、无污染环境的检漏方法。但是，单有氦质谱检漏仪是远不能满足工业探漏... 氦质谱检漏仪的一种辅助装置合肥工业大学周永安，王云芳，程义然，孙兆瑞氦质谱检漏仪是利用质荷比的氦分压对被检件进行无损检漏，它是一种灵敏度高、反应时间快、无污染环境的检漏方法。但是，单有氦质谱检漏仪是远不能满足工业探漏要求的，为了发挥仪器性能，提高检漏... 展开更多

关键词 氦质谱检漏仪 检漏仪 辅助装置 实验装置

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氦质谱检漏仪性能诸元关系的研究 被引量：1

4

作者 罗世敏 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1990年第3期166-174,共9页

本文根据顺流式氦质谱检漏仪和逆流式氦质谱检漏仪真空系统的结构配置特点,分别推导出这两类检漏灵敏度、最高入口工作压强、抽气时间、最小可检漏率、最大可检漏率、响应时间和清除时间等特性的普适性计算公式。这些公式能够解释有关... 本文根据顺流式氦质谱检漏仪和逆流式氦质谱检漏仪真空系统的结构配置特点,分别推导出这两类检漏灵敏度、最高入口工作压强、抽气时间、最小可检漏率、最大可检漏率、响应时间和清除时间等特性的普适性计算公式。这些公式能够解释有关的实验结果,有助于分子泵逆流检漏仪的研制开发。 展开更多

关键词 氦质谱检漏仪 诸元 质谱计 配置特点 漏率 逆流式 分子泵 响应时间 计算公式 真空系统

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返流法氦质谱检漏仪在冻干机检漏中的应用

5

作者 周永安 陈长琦 《合肥工业大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1995年第S1期73-77,共5页

本文主要介绍返流法氦质谱检漏仪在真空冷冻干燥机检漏工作中的应用．着重介绍其检漏原理、检漏方程式及测试结果。

关键词 返流法 氦质谱检漏仪 冻干机

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航天器氦质谱吸枪检漏法的不确定度评定 被引量：12

6

作者 王勇 闫荣鑫 《中国空间科学技术》 EI CSCD 北大核心 2010年第4期71-75,共5页

航天器的单点漏率测试往往采用氦质谱吸枪检漏法,因此,研究该方法的不确定度评定具有重要的工程实际意义。文中首次从不确定度的基础理论出发系统地研究了氦质谱吸枪检漏法的不确定度评定方法,并结合一个具体的案例给出了评价的详细步... 航天器的单点漏率测试往往采用氦质谱吸枪检漏法,因此,研究该方法的不确定度评定具有重要的工程实际意义。文中首次从不确定度的基础理论出发系统地研究了氦质谱吸枪检漏法的不确定度评定方法,并结合一个具体的案例给出了评价的详细步骤。该评价方法可以为航天器的总漏率测试法和真空检漏法的不确定度评定提供一定的参考依据。 展开更多

关键词 不确定度 氦质谱检漏仪 吸枪法 航天器

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正压漏孔校准装置 被引量：22

7

作者 张涤新 李得天 +3 位作者 张建军 许珩 冯焱 龚月莉 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2001年第1期55-59,共5页

正压漏孔校准装置是校准气体漏率的计量标准 ,可采用定容法和定量气体动态比较法对正压漏孔进行校准 ,校准范围为 1× 10 2 ～ 5× 10 -5Pa·L/s。

关键词 真空计量学 漏率校准 正压漏孔 校准装置 质谱检漏仪 标定 正压检漏

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气体介质、压强及校准方法对真空漏孔漏率的影响 被引量：8

8

作者 王维 钟博扬 +3 位作者 叶小球 李芳芳 陈长安 高涛 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第12期1135-1140,共6页

真空标准漏孔作为标定检漏仪或被测量漏率的参考标准,在核工业、航天航空等领域得到了广泛应用。本文利用氦质谱检漏仪和定容法对标准漏孔(铭牌漏率:2.3×10-6Pa·m3/s,He,23℃)进行校准,以为快速地定量研究聚变材料中氘(D2)或... 真空标准漏孔作为标定检漏仪或被测量漏率的参考标准,在核工业、航天航空等领域得到了广泛应用。本文利用氦质谱检漏仪和定容法对标准漏孔(铭牌漏率:2.3×10-6Pa·m3/s,He,23℃)进行校准,以为快速地定量研究聚变材料中氘(D2)或氦(He)行为提供有用的参考。研究结果表明,漏孔漏率随入口端气体压强的增大而增大,并与漏孔两端气体介质压强的平方差呈线性递增关系。同一入口压强下,D2的漏率高于He,且漏率之间的差异随压强增加而变大。同一条件下,定容法和氦质谱检漏仪测得漏孔中示漏气体He的漏率值基本相等,但示漏气体为D2时,氦质谱检漏仪测得的漏率值高于定容法。研究还给出了氦质谱检漏仪测量示漏气体D2时漏孔漏率的修正关系式。 展开更多

关键词 漏率 校准 定容法 氦质谱检漏仪 气体介质 压强

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密封器件压氦和预充氦细检漏判定漏率合格的条件 被引量：7

9

作者 薛大同 肖祥正 王庚林 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期735-743,共9页

密封器件氦质谱细检漏包括压氦法（即背压法）和预充氦法。对于压氦法，通常靠粗检鉴别是否有大漏孔，但候检时间不可过长，以免可能存在的大漏孔处于分子流状态，不能靠粗检鉴别。本文给出了最长候检时间表达式，以便既避免漏检又做好... 密封器件氦质谱细检漏包括压氦法（即背压法）和预充氦法。对于压氦法，通常靠粗检鉴别是否有大漏孔，但候检时间不可过长，以免可能存在的大漏孔处于分子流状态，不能靠粗检鉴别。本文给出了最长候检时间表达式，以便既避免漏检又做好被检器件表面的净化工作。预充氦法的优点是可检测的最小等效标准漏率比压氦法低好几个量级。但用户复检时，候检时间往往已很长，如果仅靠通常的压氦法复检加粗检则发挥不出预充氦法的优点。本文改进了预充氦法：提出候检时间存在两个特征点，并给出了表达式；还对压氦法复检加粗检赋于新的重要功能，从而可以针对各种情况，用不同方法和判据，判断漏率是否合格。因此，即使候检时间已很长，仍有可能充分发挥预充氦法优点，并在漏率合格时给出被检器件的等效标准漏率。 展开更多

关键词 氦质谱检漏仪 检漏 密封器件 压氦 预充氦

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密封器件压氦和预充氦细检漏的等效标准漏率上限 被引量：6

10

作者 薛大同 肖祥正 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期721-729,共9页

利用经典的分子流、黏滞流、过渡流流导公式及圆管分子流流导几率的精确数值解,对21世纪数篇文献呈现的漏孔流导随上游压力变化关系曲线进行了分析,并将密封器件的漏孔简化为长圆管,得出了以下结论:从流量角度观察气流是否偏离分子流状... 利用经典的分子流、黏滞流、过渡流流导公式及圆管分子流流导几率的精确数值解,对21世纪数篇文献呈现的漏孔流导随上游压力变化关系曲线进行了分析,并将密封器件的漏孔简化为长圆管,得出了以下结论:从流量角度观察气流是否偏离分子流状态是非常不灵敏的,因此可以认为,如果上游压力不超过1×105Pa,对于等效标准漏率L<1.4 Pa.cm3/s的漏孔,气流大致处于分子流状态;当任务允许的L最大值Lmax 14 Pa.cm3/s时,不论L的值是大是小,均不必考虑气流是否偏离分子流状态;仅在压氦法的压氦阶段,当Lmax和L均接近1.4 Pa.cm3/s时,从流量角度气流会处于黏滞流状态,导致合格判据偏保守;而在压氦法的其他阶段和预充氦法各阶段,只要L<1.4 Pa.cm3/s,气流均处于分子流状态。从而证明对于密封器件氦质谱细检漏而言,Lmax取1.4 Pa.cm3/s可以满足气流处于分子流状态的要求,且该值大于粗检的下限。 展开更多

关键词 氦质谱检漏仪 检漏 密封器件 等效标准漏率

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密封器件压氦和预充氦细检漏过程中环境氦分压的影响 被引量：2

11

作者 薛大同 王庚林 肖祥正 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期730-734,共5页

分别推导和分析了环境大气氦分压对压氦法的影响,地球干洁大气氦分压对预充氦法和预充氦密封器件压氦法复检的影响。证明对于压氦法,不需要考虑地球干洁大气氦分压的影响。但是如果候检室环境大气氦分压显著升高,对于内腔有效容积大,且... 分别推导和分析了环境大气氦分压对压氦法的影响,地球干洁大气氦分压对预充氦法和预充氦密封器件压氦法复检的影响。证明对于压氦法,不需要考虑地球干洁大气氦分压的影响。但是如果候检室环境大气氦分压显著升高,对于内腔有效容积大,且等效标准漏率小的密封器件,会加大测量漏率值,所以压氦后,被检器件应尽快离开压氦设备所在的房间。对于预充氦法,地球干洁大气氦分压会使测量漏率通过极大值后出现极小值,且当候检时间与内腔有效容积之比大于100 h/cm3时,极小值点的气流仍处于分子流状态,不能靠粗检鉴别,所以需压氦法复检加粗检,才能防止漏检。另外,地球干洁大气氦分压会使预充氦法候检时间的第一特征点变大,从而扩大了需压氦法复检加粗检的范围,但第二特征点不变,也不影响压氦法复检加粗检的结果。 展开更多

关键词 氦质谱检漏仪 检漏 密封器件 压氦 预充氦 氦分压的影响

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5MeV直线感应加速器的真空检漏

12

作者 李凡 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1990年第6期373-378,共6页

本文详细地论述了直线感应加速器的检漏系统设计和检漏方法。

关键词 真空检漏 eV 漏率 标准漏孔 质谱检漏仪 辅助系统 真空度 探索气体 真空室 流导

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半导体设备真空与检漏 被引量：2

13

作者 申承志 郝晓亮 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第7期644-646,657,共4页

基于实际应用,介绍了半导体设备真空结构和真空室常用部件,讲述了He质谱检漏仪的使用方法。总结了真空检漏的经验,阐述了微漏难检的现状。分析了磁控溅射台和ICP真空故障,采用静压检漏法和He质谱检漏仪检漏法,给出了零部件微漏导致这些... 基于实际应用,介绍了半导体设备真空结构和真空室常用部件,讲述了He质谱检漏仪的使用方法。总结了真空检漏的经验,阐述了微漏难检的现状。分析了磁控溅射台和ICP真空故障,采用静压检漏法和He质谱检漏仪检漏法,给出了零部件微漏导致这些设备抽不上高真空的结论。指出今后的发展方向是真空部件小型化,以及根据设备特点来提高真空部件的可靠性。结果表明,先排除干扰因素,再细心检漏,可大大提高检漏效率,使设备尽快恢复正常。 展开更多

关键词 检漏 半导体设备 He质谱检漏仪 真空泵 真空

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真空技术在5G产业链的应用

14

作者 张子啸 余才林 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第12期1115-1118,共4页

随着中国5G商用大幕正式拉开,5G已成为数字经济转型的关键基础设施,并逐渐向社会各领域扩散与渗透。5G产业链非常广泛,包含零部件、主设备、运营商和下游应用。真空技术作为一门与应用科学紧密结合的现代基础科学,在5G产业链中有着广泛... 随着中国5G商用大幕正式拉开,5G已成为数字经济转型的关键基础设施,并逐渐向社会各领域扩散与渗透。5G产业链非常广泛,包含零部件、主设备、运营商和下游应用。真空技术作为一门与应用科学紧密结合的现代基础科学,在5G产业链中有着广泛的应用。从5G基站中材料和器件的制备过程、承接网中光通信器件的真空检漏到5G手机、VR/AR设备、无人驾驶汽车中核心零部件的制备等,真空技术都参与其中并广泛应用。 展开更多

关键词 5G 真空技术 真空镀膜 氦质谱检漏仪 分子泵

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