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MEMS负电晕放电气体传感器被引量：2: 1; 作者张金英杨天辰 +3 位作者何秀丽高晓光贾建李建平《微纳电子技术》北大核心 2016年第8期508-514,共7页; 设计并制备了一种基于负电晕放电原理及微机电系统(MEMS)技术的多针-板型气体传感器。研究了电极间距对传感器放电特性的影响,综合考虑起晕电压、信号输出范围及稳定放电范围,优化电极间距为120μm。测试了传感器在体积分数均为6×1... 展开更多; 关键词微电子机械系统(MEMS) 气体传感器硅尖阵列负电晕放电多针-板结构; 在线阅读下载PDF 职称材料

ZnO修饰多针-板结构负电晕放电气体传感器被引量：1: 2; 作者杨天辰张金英 +3 位作者何秀丽高晓光贾建李建平《微纳电子技术》北大核心 2017年第7期458-464,共7页; 基于负电晕放电原理的气体传感器利用局部高压电场将目标气体电离,根据电离特性对气体进行识别。采用MEMS技术制备硅尖阵列电极,利用电喷ZnO纳米颗粒对电极表面进行修饰,结合金平板正电极构建了多针-板结构电晕放电气体传感器。研究了... 展开更多; 关键词负电晕放电微电子机械系统(MEMS) 硅尖阵列 ZnO修饰气体传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

单针–板结构负电晕放电器件特性研究被引量：3: 3; 作者陈硕张金英 +2 位作者杨天辰李璐郑天祥《智能电网》 2017年第8期812-816,共5页; 基于电晕放电原理的气体传感器利用局部高电场将样本气体电离,根据电离特性进行气体识别。宏观尺度下的电晕放电特性研究较多,但对于微尺度下的电晕放电特性研究尚未深入。以直径为20μm的镍铬丝作为放电电极,搭建了单针–板结构电晕放... 展开更多; 关键词单针–板结构负电晕放电电极间距气体传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于负电晕放电原理的MEMS SF_6气体传感器研究被引量：2: 4; 作者陈硕张金英 +1 位作者李璐郑天祥《智能电网》 2016年第6期618-622,共5页; 作为高压、特高压领域几乎唯一的绝缘和灭弧介质,SF6的泄漏对电力设备的安全运行和电力系统的稳定可靠造成威胁,而且还会造成人员伤害和大气污染的恶性后果。因此,电力设备对电气设备中SF6气体泄漏的监测必不可少。主要阐述基于负电晕... 展开更多; 关键词负电晕放电 SF6传感器微机电系统微电极阵列; 在线阅读下载PDF 职称材料

磁场对电晕放电极间区域的影响被引量：2: 5; 作者米俊锋詹小平 +1 位作者杜胜男董美《辽宁石油化工大学学报》 CAS 2013年第3期88-91,共4页; 通过用两种磁场形式影响负电晕放电,研究了磁场对负电晕放电不同区域的影响。研究表明:磁场的应用可改变电晕区的放电强度,增加放电电流;磁场对荷电区的影响并不能改变放电电流的大小,揭示了放电电流增加的原因;磁场的应用加强电晕区内... 展开更多; 关键词负电晕放电电晕区荷电区电离; 在线阅读下载PDF 职称材料

极雾化负电晕技术及其在厨房油烟净化中的应用被引量：2: 6; 作者孙炳海《暖通空调》北大核心 2005年第8期73-74,85,共3页; 介绍了极雾化负电晕放电的实验装置,分析了雾化机理、电晕的放电特性及电晕放电对粉尘的捕集原理。实际检测数据表明,该实验装置的净化结果各项指标均符合标准要求。; 关键词极雾化负电晕荷电液滴放电特性静电除尘负电晕放电雾化机理油烟净化应用厨房技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS负电晕放电气体传感器被引量：2: 1; 作者张金英杨天辰何秀丽高晓光贾建李建平; 机构中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室中国科学院大学; 出处《微纳电子技术》北大核心 2016年第8期508-514,共7页; 基金国家自然科学基金资助项目(61471341); 文摘设计并制备了一种基于负电晕放电原理及微机电系统(MEMS)技术的多针-板型气体传感器。研究了电极间距对传感器放电特性的影响,综合考虑起晕电压、信号输出范围及稳定放电范围,优化电极间距为120μm。测试了传感器在体积分数均为6×10^(-4)的乙酸、异丙醇、乙醇和丙酮四种有机气体中的放电特性,传感器对乙酸气体响应最灵敏。测试了传感器在-0.91 kV放电电压下对乙酸气体的敏感特性。结果表明,该传感器对不同体积分数的乙酸气体的响应具有较好的线性关系,对体积分数为10^(-6)的乙酸气体的响应约为0.61 mV,理论检测限(三倍噪声)约为1.2×10^(-5)。传感器对乙酸气体响应灵敏度高、重复性好。; 关键词微电子机械系统(MEMS) 气体传感器硅尖阵列负电晕放电多针-板结构; Keywords micro-electromechanical system（MEMS） gas sensor silicon tip array negative corona discharge multi-pin plate structure; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TH703 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名ZnO修饰多针-板结构负电晕放电气体传感器被引量：1: 2; 作者杨天辰张金英何秀丽高晓光贾建李建平; 机构中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室中国科学院大学; 出处《微纳电子技术》北大核心 2017年第7期458-464,共7页; 基金国家自然科学基金资助项目(61271148); 文摘基于负电晕放电原理的气体传感器利用局部高压电场将目标气体电离,根据电离特性对气体进行识别。采用MEMS技术制备硅尖阵列电极,利用电喷ZnO纳米颗粒对电极表面进行修饰,结合金平板正电极构建了多针-板结构电晕放电气体传感器。研究了电极间距对传感器负电晕放电特性的影响,综合考虑起晕电压、信号输出范围及稳定放电范围,优化电极间距为100μm。测试了在-0.70 kV放电电压下传感器对乙酸气体的敏感特性。该传感器对乙酸气体的响应灵敏度约为1.05 mV/10-6,理论检测限(三倍噪声)约为8.6×10-6,测试范围内传感器响应同乙酸气体体积分数近似呈线性关系。实验结果表明,ZnO纳米颗粒修饰减小了放电尖端曲率半径,增加了放电尖端个数,消除了硅尖阵列之间高度和顶端曲率半径的差异,从而有效降低了起晕电压,提高了传感器对乙酸气体响应灵敏度及电晕放电的稳定性。; 关键词负电晕放电微电子机械系统(MEMS) 硅尖阵列 ZnO修饰气体传感器; Keywords negative corona discharge micro-electromechanical system（MEMS） silicon tip array ZnO modification gas sensor; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TH703 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名单针–板结构负电晕放电器件特性研究被引量：3: 3; 作者陈硕张金英杨天辰李璐郑天祥; 机构全球能源互联网研究院中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室; 出处《智能电网》 2017年第8期812-816,共5页; 文摘基于电晕放电原理的气体传感器利用局部高电场将样本气体电离,根据电离特性进行气体识别。宏观尺度下的电晕放电特性研究较多,但对于微尺度下的电晕放电特性研究尚未深入。以直径为20μm的镍铬丝作为放电电极,搭建了单针–板结构电晕放电器件,研究其在不同间距下的放电过程。实验结果表明:当电极间距d≤0.2 mm时,放电直接发展为火花放电;当电极间距d≥0.5 mm时,初始阶段放电不稳定;随放电电压的增大,输出信号由低频率脉冲阶段逐渐转变为稳定电晕放电,且电极间距越大,起晕电压越高,不稳定电晕阶段越短,初始阶段脉冲幅值越小。以上结果为微尺度下负电晕放电气体传感器的研究提供了理论依据。; 关键词单针–板结构负电晕放电电极间距气体传感器; Keywords single needle-plate structure negative corona discharge electrode distance gas sensor; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于负电晕放电原理的MEMS SF_6气体传感器研究被引量：2: 4; 作者陈硕张金英李璐郑天祥; 机构国网智能电网研究院中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室; 出处《智能电网》 2016年第6期618-622,共5页; 文摘作为高压、特高压领域几乎唯一的绝缘和灭弧介质,SF6的泄漏对电力设备的安全运行和电力系统的稳定可靠造成威胁,而且还会造成人员伤害和大气污染的恶性后果。因此,电力设备对电气设备中SF6气体泄漏的监测必不可少。主要阐述基于负电晕放电原理的SF6传感器的基本原理、器件结构及性能;分析基于MEMS技术的微型SF6传感器的发展现状;设计制备MEMS SF6基本原理传感器的硅基微电极阵列,其中硅尖阵列间距为55μm,高度约为16μm,顶端曲率半径约为150 nm。基于以上微电极阵列组装负电晕放电器件并测试其伏安特性,验证其电晕放电趋势,可用于SF6气体检测。; 关键词负电晕放电 SF6传感器微机电系统微电极阵列; Keywords negative corona discharge SF6 sensor MEMS micro-electrode array; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名磁场对电晕放电极间区域的影响被引量：2: 5; 作者米俊锋詹小平杜胜男董美; 机构辽宁石油化工大学石油天然气工程学院成都理工大学工程技术学院; 出处《辽宁石油化工大学学报》 CAS 2013年第3期88-91,共4页; 文摘通过用两种磁场形式影响负电晕放电,研究了磁场对负电晕放电不同区域的影响。研究表明:磁场的应用可改变电晕区的放电强度,增加放电电流;磁场对荷电区的影响并不能改变放电电流的大小,揭示了放电电流增加的原因;磁场的应用加强电晕区内的电场强度,所以磁场的应用可使负电晕放电的起晕电压降低。; 关键词负电晕放电电晕区荷电区电离; Keywords Negative corona discharge Corona zone Charging region Ionization; 分类号 TE08 [石油与天然气工程] X513 [环境科学与工程—环境工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名极雾化负电晕技术及其在厨房油烟净化中的应用被引量：2: 6; 作者孙炳海; 机构平顶山工学院; 出处《暖通空调》北大核心 2005年第8期73-74,85,共3页; 文摘介绍了极雾化负电晕放电的实验装置,分析了雾化机理、电晕的放电特性及电晕放电对粉尘的捕集原理。实际检测数据表明,该实验装置的净化结果各项指标均符合标准要求。; 关键词极雾化负电晕荷电液滴放电特性静电除尘负电晕放电雾化机理油烟净化应用厨房技术; Keywords polar atomization corona, charged liquid drop, discharge characteristic, electrostatic dust removal; 分类号 TU834 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	MEMS负电晕放电气体传感器	张金英杨天辰何秀丽高晓光贾建李建平	《微纳电子技术》北大核心	2016	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	ZnO修饰多针-板结构负电晕放电气体传感器	杨天辰张金英何秀丽高晓光贾建李建平	《微纳电子技术》北大核心	2017	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	单针–板结构负电晕放电器件特性研究	陈硕张金英杨天辰李璐郑天祥	《智能电网》	2017	3	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于负电晕放电原理的MEMS SF_6气体传感器研究	陈硕张金英李璐郑天祥	《智能电网》	2016	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	磁场对电晕放电极间区域的影响	米俊锋詹小平杜胜男董美	《辽宁石油化工大学学报》 CAS	2013	2	在线阅读下载PDF 职称材料
6	极雾化负电晕技术及其在厨房油烟净化中的应用	孙炳海	《暖通空调》北大核心	2005	2	在线阅读下载PDF 职称材料