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负偏压形核法增强金刚石薄膜附着力研究
被引量：
5
1
作者
王传新
汪建华
+4 位作者
满卫东
马志斌
王升高
康志成
王涛
《工具技术》
北大核心
2004年第1期35-37,共3页
在微波等离子体化学气相沉积装置中 ,研究了负偏压形核对金刚石薄膜与WC 6 %硬质合金刀具附着力的影响。结果表明 ,负偏压形核不仅能增加金刚石的核密度 ,还能改善金刚石核在WC晶粒上分布的均匀性 ,增加膜基有效结合面积 ,从而增加金刚...
在微波等离子体化学气相沉积装置中 ,研究了负偏压形核对金刚石薄膜与WC 6 %硬质合金刀具附着力的影响。结果表明 ,负偏压形核不仅能增加金刚石的核密度 ,还能改善金刚石核在WC晶粒上分布的均匀性 ,增加膜基有效结合面积 ,从而增加金刚石薄膜附着力。因负偏压形核时含碳离子被偏压电场加速 ,对刀具表面产生溅射作用 ,采用铜替代置换钴的刀具 ,使用负偏压形核反而降低薄膜附着力 ;而采用磁控溅射镀铜的刀具 ,使用负偏压形核则能进一步提高金刚石薄膜的附着力。
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关键词
负偏压形核
金刚石薄膜
附着力
微波等离子体化学气相沉积
硬质合金刀具
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职称材料
题名
负偏压形核法增强金刚石薄膜附着力研究
被引量：
5
1
作者
王传新
汪建华
满卫东
马志斌
王升高
康志成
王涛
机构
中国科学院等离子体物理研究所
武汉化工学院
出处
《工具技术》
北大核心
2004年第1期35-37,共3页
基金
湖北省科技攻关计划项目 (项目编号 :2 0 0 2AA10 5A0 2 )
文摘
在微波等离子体化学气相沉积装置中 ,研究了负偏压形核对金刚石薄膜与WC 6 %硬质合金刀具附着力的影响。结果表明 ,负偏压形核不仅能增加金刚石的核密度 ,还能改善金刚石核在WC晶粒上分布的均匀性 ,增加膜基有效结合面积 ,从而增加金刚石薄膜附着力。因负偏压形核时含碳离子被偏压电场加速 ,对刀具表面产生溅射作用 ,采用铜替代置换钴的刀具 ,使用负偏压形核反而降低薄膜附着力 ;而采用磁控溅射镀铜的刀具 ,使用负偏压形核则能进一步提高金刚石薄膜的附着力。
关键词
负偏压形核
金刚石薄膜
附着力
微波等离子体化学气相沉积
硬质合金刀具
Keywords
adhesion,WC 6%Co,bias enhanced nucleation
分类号
TG711 [金属学及工艺—刀具与模具]
TF125.3 [冶金工程—粉末冶金]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
负偏压形核法增强金刚石薄膜附着力研究
王传新
汪建华
满卫东
马志斌
王升高
康志成
王涛
《工具技术》
北大核心
2004
5
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