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环境湿度对非晶铟镓锌氧薄膜晶体管负偏压光照稳定性的影响
被引量：
1
1
作者
冯国锋
章雯
董承远
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第5期649-655,共7页
为了探究环境湿度对非晶铟镓锌氧薄膜晶体管(a-IGZO TFT)的负偏压光照(NBIS)稳定性的影响,本文使用非密闭腔室进行不同波长光照射下以及不同相对湿度下的TFT负偏压测试。介绍了a-IGZO TFT的基本结构以及实验所用I-V测试系统。测试了不...
为了探究环境湿度对非晶铟镓锌氧薄膜晶体管(a-IGZO TFT)的负偏压光照(NBIS)稳定性的影响,本文使用非密闭腔室进行不同波长光照射下以及不同相对湿度下的TFT负偏压测试。介绍了a-IGZO TFT的基本结构以及实验所用I-V测试系统。测试了不同波长光照条件下a-IGZO TFT的转移特性曲线以及相同波长光照射下不同相对湿度的转移特性曲线。实验结果表明a-IGZO TFT的转移特性曲线随着电压偏置时间的增加而发生负偏;随着光照波长的减小,器件阈值电压负漂越明显。随着相对湿度增加,a-IGZO TFT的NBIS不稳定性逐渐降低,但其电学特性发生了严重的劣化。在相对湿度为50%,光照波长为400 nm时,a-IGZO TFT的NBIS电学特性最好,其在负偏压时间为1500 s时的阈值电压偏移为15 V。
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关键词
非晶铟镓锌
薄膜晶体管
负偏压光照稳定性
湿度
氧空位
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职称材料
题名
环境湿度对非晶铟镓锌氧薄膜晶体管负偏压光照稳定性的影响
被引量：
1
1
作者
冯国锋
章雯
董承远
机构
上海交通大学电子工程系
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第5期649-655,共7页
基金
国家自然科学基金(No.61474075)。
文摘
为了探究环境湿度对非晶铟镓锌氧薄膜晶体管(a-IGZO TFT)的负偏压光照(NBIS)稳定性的影响,本文使用非密闭腔室进行不同波长光照射下以及不同相对湿度下的TFT负偏压测试。介绍了a-IGZO TFT的基本结构以及实验所用I-V测试系统。测试了不同波长光照条件下a-IGZO TFT的转移特性曲线以及相同波长光照射下不同相对湿度的转移特性曲线。实验结果表明a-IGZO TFT的转移特性曲线随着电压偏置时间的增加而发生负偏;随着光照波长的减小,器件阈值电压负漂越明显。随着相对湿度增加,a-IGZO TFT的NBIS不稳定性逐渐降低,但其电学特性发生了严重的劣化。在相对湿度为50%,光照波长为400 nm时,a-IGZO TFT的NBIS电学特性最好,其在负偏压时间为1500 s时的阈值电压偏移为15 V。
关键词
非晶铟镓锌
薄膜晶体管
负偏压光照稳定性
湿度
氧空位
Keywords
amorphous InGaZnO
thin film transistors
negative bias illumination stress stability
humidity
oxygen vacancy
分类号
TN321.5 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
环境湿度对非晶铟镓锌氧薄膜晶体管负偏压光照稳定性的影响
冯国锋
章雯
董承远
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2021
1
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