期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
贝塞尔盒能量分析器规计量特性研究
1
作者 习振华 李菁桢 +3 位作者 成永军 冯焱 张虎忠 李得天 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期781-786,共6页
对贝塞尔盒能量分析器规灵敏度、稳定性、抽速、放气率及电子激励脱附（ESD）效应等计量特性进行研究。实验结果表明,N2、Ar、He对应的灵敏度分别为2.47×10-2,3.27×10-2,5.13×10-3Pa-1,且在10-9-10-3Pa范围内,表现出良... 对贝塞尔盒能量分析器规灵敏度、稳定性、抽速、放气率及电子激励脱附（ESD）效应等计量特性进行研究。实验结果表明,N2、Ar、He对应的灵敏度分别为2.47×10-2,3.27×10-2,5.13×10-3Pa-1,且在10-9-10-3Pa范围内,表现出良好的线性;其短期稳定性及长期稳定性测试中,灵敏度表现出较好的一致性;抽速为10-5~10-4m3/s量级;放气率为8.1×10-11Pa·m3/s,降低了电离规自身出气对测量结果的影响,能够满足极高、超高真空测量的需要;ESD效应的研究表明,贝塞尔盒能量分析器能够有效地实现气相离子与ESD离子的分离,两种离子经加速后能量差约为40 eV。贝塞尔盒能量分析器规可以实现极高真空的精确测量。 展开更多
关键词 极高真空 贝塞尔盒能量分析器 电子激励脱附 灵敏度 出气率
在线阅读 下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
关于我们 | 版权声明 | 联系我们 | 帮助中心| 意见反馈
主办单位：上海市教育委员会
技术支持：重庆维普资讯有限公司
渝公网安备 50019002500403号
使用帮助 返回顶部