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高频声表面波材料及器件制备工艺的研究
被引量：
2
1
作者
李冬梅
陈菁菁
+1 位作者
李晖
潘峰
《材料工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第8期40-42,36,共4页
研究了磁控溅射和电子束蒸镀工艺对在LiNbO3基片上沉积铝膜的结构、表面形貌的影响。采用匀胶、曝光和反应离子刻蚀工艺,制备出中心频率在920MHz纵向谐振耦合换能器结构的声表面波滤波器。结果表明,电子束蒸镀的铝膜与LiNbO3单晶间具有...
研究了磁控溅射和电子束蒸镀工艺对在LiNbO3基片上沉积铝膜的结构、表面形貌的影响。采用匀胶、曝光和反应离子刻蚀工艺,制备出中心频率在920MHz纵向谐振耦合换能器结构的声表面波滤波器。结果表明,电子束蒸镀的铝膜与LiNbO3单晶间具有较好的结合力,具有适合SAWF器件制备所需的微观结构,在随后的叉指换能器制备过程中表现出良好的加工性能和声传播特性。
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关键词
铝薄膜
声表面波材料
LINBO3
谐振耦合换能器
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职称材料
题名
高频声表面波材料及器件制备工艺的研究
被引量：
2
1
作者
李冬梅
陈菁菁
李晖
潘峰
机构
清华大学材料系先进材料教育部重点实验室
出处
《材料工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第8期40-42,36,共4页
基金
国家高技术 (863 )计划课题 (2 0 0 2 AA3 2 5 0 40 )
北京市科技项目 (H0 115 10 10 0 111)
文摘
研究了磁控溅射和电子束蒸镀工艺对在LiNbO3基片上沉积铝膜的结构、表面形貌的影响。采用匀胶、曝光和反应离子刻蚀工艺,制备出中心频率在920MHz纵向谐振耦合换能器结构的声表面波滤波器。结果表明,电子束蒸镀的铝膜与LiNbO3单晶间具有较好的结合力,具有适合SAWF器件制备所需的微观结构,在随后的叉指换能器制备过程中表现出良好的加工性能和声传播特性。
关键词
铝薄膜
声表面波材料
LINBO3
谐振耦合换能器
Keywords
Al thin films
SAW filter materials
LiNbO_3
longitudinally coupled transducer
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高频声表面波材料及器件制备工艺的研究
李冬梅
陈菁菁
李晖
潘峰
《材料工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
2
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职称材料
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