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题名谐振梁加速度计测频噪声分析与实验
被引量：1
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作者
徐文逸
王绍航
马宇琨
韩丰田
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机构
清华大学精密仪器系
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出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2023年第10期1053-1060,共8页
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基金
国家自然科学基金资助项目(62173196)。
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文摘
随着谐振梁加速度计的精度不断提升,对谐振频率的测量噪声提出了更高要求。针对高采样率下的测频噪声性能,分析了等精度测频法和连续时间标记法两种测频方法,分别以信号发生器和加速度计输出的频率信号作为输入,利用研制的FPGA测频电路开展了测频噪声实验研究。结果表明高采样率下通过串接低通滤波器能够有效抑制测频噪声,低通滤波后两种测频方法的噪声水平相近,且随着采样率的提升,测频噪声趋于常值。实验结果表明,在500 Hz更新率、串入200 Hz带宽4阶Butterworth低通滤波器的条件下,使用等精度测频法和连续时间标记法测量加速度计样机输出,室温下测得样机的零偏稳定性分别为1.03μg和1.24μg。
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关键词
谐振梁加速度计
频率测量
等精度测频法
连续时间标记法
低通滤波
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Keywords
micromechanical resonant accelerometer
frequency readout
equal-precision method
continuous time stamping
low-pass filter
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分类号
TN965.5
[电子电信—信号与信息处理]
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题名关于改善谐振梁加速度计振动特性的方法研究
被引量：2
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作者
胥梓夏
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机构
北京自动化控制设备研究所
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第9期1313-1317,共5页
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文摘
惯导系统应用环境往往十分恶劣,主要表现为高强度振动、快速温变等。该环境对加速度计的综合测试性能带来较大影响。针对改善振动性能的问题,对谐振梁加速度计力学模型和压膜阻尼模型进行仿真分析。仿真及试验结果表明减小阻尼间隙可增大压膜阻尼,且压膜阻尼是影响振动性能的主要因素。保持敏感质量与上下阻尼板之间阻尼间隙的一致或减小阻尼间隙可提高振动性能,对改善谐振梁加速度计的环境适应性起到了重要作用。
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关键词
谐振梁加速度计
振动性能
压膜阻尼
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Keywords
vibrating beam accelerometer
vibrating characteristic
squeeze film damping
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分类号
TP393
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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